锥形保护筒的加工方法技术

本发明专利技术公开了一种锥形保护筒的加工方法，包括以下步骤，a、按照需要加工出的锥形保护筒的形状，制作圆台型或圆锥形的焊接模具(1)，b、按照需要加工出的锥形保护筒的形状制作多片扇面形的石英坯板A，c、将石英坯板A加热至软化状态，按照需要加工出的锥形保护筒的形状，利用冲压模具将石英坯板A压制成具有圆锥面的石英坯板B，d、将多片石英坯板B依次贴合到焊接模具(1)的侧壁上，多片石英坯板B首尾相接形成锥形保护筒的毛坯，相邻石英坯板B之间焊接固定，e、毛坯的内外壁进行磨削加工、抛光，得到锥形保护筒的成品。本发明专利技术具有加工成本低和加工效率高的优点。率高的优点。率高的优点。

【技术实现步骤摘要】
锥形保护筒的加工方法


[0001]本专利技术属于半导体加工设备领域。

技术介绍

[0002]如图3所示，锥形保护筒是半导体加工设备中的零件，在晶圆刻蚀过程中用到，锥形保护筒的壁厚4mm、锥度93
°
，锥形保护筒的上端外径258mm、下端外径428mm，体积巨大，为薄壁结构。现有的锥形保护筒的加工方法，是将一大块实心的石英板通过磨削的方式加工而成，加工成本高、加工效率低。因此，现有锥形保护筒的加工方法存在加工成本高和加工效率低的缺陷。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于，提供一种锥形保护筒的加工方法。本专利技术具有加工成本低和加工效率高的优点。
[0004]本专利技术的技术方案：锥形保护筒的加工方法，包括以下步骤，
[0005]a、按照需要加工出的锥形保护筒的形状，制作圆台型或圆锥形的焊接模具，
[0006]b、按照需要加工出的锥形保护筒的形状制作多片扇面形的石英坯板A，
[0007]c、将石英坯板A加热至软化状态，按照需要加工出的锥形保护筒的形状，利用冲压模具将石英坯板A压制成具有圆锥面的石英坯板B，
[0008]d、将多片石英坯板B依次贴合到焊接模具的侧壁上，多片石英坯板B首尾相接形成锥形保护筒的毛坯，相邻石英坯板B之间焊接固定，
[0009]e、毛坯的内外壁进行磨削加工、抛光，得到锥形保护筒的成品。
[0010]前述的锥形保护筒的加工方法中，所述步骤b中，所述石英坯板A有六片。
[0011]前述的锥形保护筒的加工方法中，所述石英坯板A的厚度5mm。
[0012]前述的锥形保护筒的加工方法中，所示步骤e中，采用外壁研磨工具对毛坯的外壁进行研磨，采用内壁研磨工具对毛坯的内壁进行研磨；
[0013]所述外壁研磨工具包括外壁磨头和外壁底座，外壁磨头的顶部设有第一夹持杆，外壁磨头的底面上设有第一凹陷部，第一凹陷部的侧壁上设有与锥形保护筒的外侧壁配合的第一研磨面；所述外壁底座的侧壁与锥形保护筒的内侧壁配合，外壁底座的侧壁上设有1
‑
2mm厚的缓冲层；
[0014]所述内壁研磨工具包括内壁磨头和内壁底座，内壁磨头上设有第二夹持杆，内壁磨头的外侧壁上设有与锥形保护筒的内侧壁配合的第二研磨面；所述内壁底座的顶部设有第二凹陷部，第二凹陷部的侧壁与锥形保护筒的外侧壁配合，第二凹陷部的侧壁设有0.1
‑
0.3mm厚的阻尼层。
[0015]前述的锥形保护筒的加工方法中，所述外壁底座的下方设有底板，底板上设有轴套，轴套内设有导向轴，导向轴与底板之间留有空隙，导向轴的上端与外壁底座球铰接，导向轴上设有挡板，挡板与轴套之间设有弹簧，弹簧套在导向轴上。
[0016]前述的锥形保护筒的加工方法中，所述导向轴与外壁底座的球铰接点的位置满足以下条件，当所述毛坯放置在外壁底座上时，毛坯上下端面与球铰接点等距，球铰接点还位于第一研磨面的轴线上。
[0017]前述的锥形保护筒的加工方法中，所述外壁底座内设有通道，通道的一端位于外壁底座的顶部且位于外壁底座的轴线上，通道的另一端位于外壁底座的下部，通道的另一端设有管接头。
[0018]前述的锥形保护筒的加工方法中，所述第一研磨面上设有多个第一排污槽，相邻第一排污槽之间的相邻侧壁互为平行。
[0019]前述的锥形保护筒的加工方法中，所述第二研磨面上设有多个第二排污槽，相邻第二排污槽之间的相邻侧壁互为平行。
[0020]前述的锥形保护筒的加工方法中，所述第二凹陷部的外侧设有与内壁底座固定的环形挡板，所述内壁磨头伸入到第二凹陷部时，环形挡板与内壁磨头之间形成研磨液的进水口，所述第二凹陷部的底面上设有排水孔。
[0021]与现有技术相比，本专利技术先按照需要加工出的锥形保护筒的形状制作多片扇面形的坯板，将坯板软化后压制出锥面，再利用焊接模具进行定位，将多片坯板焊接出锥形保护筒的毛坯，对毛坯进行磨削加工，磨削量少，使得原材料的浪费少，使得加工成本低，并且加工效率显著提高。此外，本专利技术通过内壁研磨工具和外壁研磨工具分别对毛坯进行内外磨削加工，可使加工得到的锥形保护筒壁厚均匀，透光均匀，从而产品质量高，并且通过结构的优化，还避免毛坯在加工过程中开裂，提高了加工的成功率。因此，本专利技术具有加工成本低、加工效率高、产品质量高和加工成功率高的优点。
附图说明
[0022]图1是焊接模具的结构示意图。
[0023]图2是石英坯板B的结构示意图。
[0024]图3是锥形保护筒的正视图。
[0025]图4是外壁研磨工具的正视图。
[0026]图5是外壁磨头的仰视图。
[0027]图6是内壁研磨工具的正视图。
[0028]图7是内壁磨头的仰视图。
[0029]附图中的标记为：1
‑
焊接模具；200
‑
外壁磨头，201
‑
外壁底座，202
‑
第一夹持杆，203
‑
第一凹陷部，204
‑
第一研磨面，205
‑
缓冲层，206
‑
底板，207
‑
轴套，208
‑
导向轴，209
‑
挡板，210
‑
弹簧，211
‑
通道，212
‑
管接头，213
‑
第一排污槽；300
‑
内壁磨头，301
‑
内壁底座，302
‑
第二夹持杆，303
‑
第二研磨面，304
‑
第二凹陷部，305
‑
阻尼层，306
‑
第二排污槽，307
‑
排水孔。
具体实施方式
[0030]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的说明，但并不作为对本专利技术限制的依据。
[0031]实施例。锥形保护筒的加工方法，包括以下步骤，
[0032]a、按照需要加工出的锥形保护筒的形状，制作出如图1所示的圆台型的焊接模具，
[0033]1.锥形保护筒的加工方法，其特征在于：包括以下步骤，
[0034]a、按照需要加工出的锥形保护筒的形状，制作圆台型或圆锥形的焊接模具1，
[0035]b、按照需要加工出的锥形保护筒的形状制作六片扇面形的石英坯板A，所述石英坯板A的厚度5mm，
[0036]c、将石英坯板A加热至软化状态，按照需要加工出的锥形保护筒的形状，利用冲压模具将石英坯板A压制成具有圆锥面的石英坯板B，
[0037]d、将多片石英坯板B依次贴合到焊接模具1的侧壁上，多片石英坯板B首尾相接形成锥形保护筒的毛坯，相邻石英坯板B之间焊接固定，
[0038]e、毛坯的内外壁进行磨削加工、抛光，得到锥形保护筒的成品。
[0039]所示步骤e中，采用外壁研磨工具对毛坯的外壁进行研磨，采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.锥形保护筒的加工方法，其特征在于：包括以下步骤，a、按照需要加工出的锥形保护筒的形状，制作圆台型或圆锥形的焊接模具(1)，b、按照需要加工出的锥形保护筒的形状制作多片扇面形的石英坯板A，c、将石英坯板A加热至软化状态，按照需要加工出的锥形保护筒的形状，利用冲压模具将石英坯板A压制成具有圆锥面的石英坯板B，d、将多片石英坯板B依次贴合到焊接模具(1)的侧壁上，多片石英坯板B首尾相接形成锥形保护筒的毛坯，相邻石英坯板B之间焊接固定，e、毛坯的内外壁进行磨削加工、抛光，得到锥形保护筒的成品。2.根据权利要求1所述的锥形保护筒的加工方法，其特征在于：所述步骤b中，所述石英坯板A有六片。3.根据权利要求1所述的锥形保护筒的加工方法，其特征在于：所述石英坯板A的厚度5mm。4.根据权利要求1所述的锥形保护筒的加工方法，其特征在于：所示步骤e中，采用外壁研磨工具对毛坯的外壁进行研磨，采用内壁研磨工具对毛坯的内壁进行研磨；所述外壁研磨工具包括外壁磨头(200)和外壁底座(201)，外壁磨头(200)的顶部设有第一夹持杆(202)，外壁磨头(200)的底面上设有第一凹陷部(203)，第一凹陷部(203)的侧壁上设有与锥形保护筒的外侧壁配合的第一研磨面(204)；所述外壁底座(201)的侧壁与锥形保护筒的内侧壁配合，外壁底座(201)的侧壁上设有1
‑
2mm厚的缓冲层(205)；所述内壁研磨工具包括内壁磨头(300)和内壁底座(301)，内壁磨头(300)上设有第二夹持杆(302)，内壁磨头(300)的外侧壁上设有与锥形保护筒的内侧壁配合的第二研磨面(303)；所述内壁底座(301)的顶部设有第二凹陷部(304)，第二凹陷部(304)的侧壁与锥形保护筒的外侧壁配合，第二凹陷部(304)的侧壁设有0.1
‑
0.3mm厚的阻尼层(30...

【专利技术属性】
技术研发人员：张彩根，周长亚，卫令中，杨铭，何青松，
申请(专利权)人：湖州东科电子石英股份有限公司，
类型：发明
国别省市：