本发明专利技术涉及一种液体收集装置，尤其是一种可以把半导体生产线的湿式工作站所生成的流体分离成液体与气体后再排放的液体收集装置。本发明专利技术的液体收集装置包括：引入管，其一端安装在湿式工作站的气体管路上，另一端则安装在收集筒上；收集筒，用于收集经过上述引入管流入的气体中的收集飞溅液体成分；液体收集管，位于上述收集筒的下表面，用于将收集到的液体成分排放到外部；以及排气管，在上述引入管的相对方向，安装在上述收集筒上，上述收集筒还包括：上翼板，安装在上述引入管的上部并延伸到上述引入管的一定的直径区；以及下翼板，与上述上翼板间隔开。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种液体收集装置，尤其是这样一种液体收集装置，其不直接排放湿式工作站(wet station )所生成的流体，而是将 其分离成液体与气体，从而当包含飞溅液体的气体流过管^各时，防 止因腐蚀管3各以及生4秀而防石寻流动。一般来说，在半导体制造过程中，为了使薄膜在半导体晶片上 成长而进行蒸镀，然后为了在成长后的薄膜上形成所需要的图案， 进行下面的一系列的图案处理工序首先涂布感光物质，通过图案 掩膜使涂布后的感光物质曝光，之后使用化学药品进行蚀刻并清除 剩余的感光物质，从而形成所需要的图案。上述图案处理工序在蚀 刻后需要进行清除晶片上杂质的清洗等后处理作业，上述清洗工序 在湿式工作站进行，而且在上述过程中使用有害人体的气体与化学 物质等。清洗完毕后，湿式工作站内的液体通过液体管^各排;故，气 体则通过气体管路排放，此时，在晶片清洗过程中液体飞溅，上述 飞溅的液体则与气体混合，通过气体管路一起排放。当液相流体含 有水分时，尤其是强酸性的化学物质时，腐蚀主排气管的内墙以及 连接管和结合部等，或者使其生锈，从而不仅妨碍流体的流动，还 成为污染无尘室的污染源，且需要频繁地更换或修护管^各。如图l所示，现有排气系统是可以4巴化学物质等气体从湿式工 作站1排放到主排气管57的管状，在曲折的圓筒状挡板壳(damper housing) 53内部可变;也安装有只是用于4空制气体的流动的圓才反型 排气挡板51,上述挡板壳53的一端连接到湿式工作站1,另一端通过连接管55连接到主排气管57上，从而可以通过连接管55将 由湿式工作站1生成的气体向主排气管57排放；主排气管57延伸 到设置有半导体生产线的无尘室的外部，从而可以对巴湿式工作站1 排放出来的气体全部排放到无尘室外部。像湿式工作站一样对半导 体制造用晶片进行湿式处理的半导体生产设备中，只把适用于设备 内部的各种化学物质中的气体成分排放到外部，使用后的液相化学 物质等则在湿式工作站内部清除；然而，上述现有半导体生产线的 排;故系统在排;故气相化学物质时将同时排;改飞溅的液相化学物质， 因此，由于上述流体，在主排气管57、连接管55以及主排气管57 与连接管55的其他连接部等部位出现生锈现象，并腐蚀排气管内 部，从而不仅使管路的受损，而且还需要频繁地更换管路。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术的目的在于提供一种液体收集装 置，上述液体收集装置不直4妾排;改湿式工作站所生成的流体，而是 才巴包含在飞溅液体内的化学制品等化学物质分离出来，从而当包含 飞賊'液体的气体通过管^各时，防止因生4秀而阻石孚流动的iE见象，防止 -液体腐々虫管^各。为了实现前述目的，液体收集装置具有下列结构。根据本专利技术一实施例，才艮据本专利技术的液体收集装置包括引入 管，其一端安装在湿式工作站的气体管道上，另一端则安装在收集 筒上；收集筒，用于收集经过上述引入管流入的气体中的飞溅液体 成分；液体收集管，位于上述收集筒的下表面，用于将收集到的液 体成分排放(drain)到外部；以及排气管，在上述引入管的相对方 向安装于上述收集筒上，其中，上述收集筒还包括上翼板，安装 在上述引入管的上部，并延伸到上述引入管的一定的直径区；以及 下翼板，与上述上翼板间隔一^a距离。根据本专利技术另 一实施例，根据本专利技术的液体收集装置的上述收集筒具有立体形状，该立体形状包括正面，安装有上述引入管； 背面，安装有上述排气管；以及上表面、两侧面及下表面，分别围 绕上述正面与背面。根据本专利技术另 一实施例，涉及本专利技术的液体收集装置的上述下 表面包括倾斜面，从上述正面朝下倾斜延伸；连接面，在上述倾 杀+面的一端朝下突出；以及7jC平面，乂人上述连4姿面的一端水平延伸 并连接到上述背面的另 一端。才艮据本专利技术另 一实施例，才艮据本专利技术的液体收集装置的上述上 翼板形成波形形状，以增加其与流体之间的《|妄触面积。根据本专利技术另 一 实施例，根据本专利技术的液体收集装置的上述下 翼板形成波形形状，以增加其与流体之间的4妾触面积。才艮据本专利技术另 一实施例，才艮据本专利技术的液体收集装置的上述上 翼板还包括凝集部件，位于上述上翼板的尾端并含有多个空隙。根据本专利技术另 一实施例，4艮据本专利技术的液体收集装置的上述下 翼板的一端在左侧水平方向和下侧垂直方向上与上翼板的另一端 间隔一定3巨离；另 一端则与上述下表面间隔一定3巨离。根据本专利技术另一实施例，根据本专利技术的液体收集装置的上述液 体收集管还包括一个以上的截头圓锥状的漏斗。由于本专利技术具有上述的结构和结合关系，所以可以实现下列效果。针对由于在湿式工作站生成的流体含有化学制品等化学物质， 所以该流体沿着排气管流动时，佳:得管^各或连^妻部生4秀，不4又妨碍 流体流动，而且还需要频繁地更换管路，本专利技术的液体收集装置把湿式工作站生成的流体分离成飞'减液体与气体后排;改，不〗义防止了 管^各的腐蚀现象，还可以减少污染。附图说明图1是现有湿式工作站中用于排出排放物的排气管的立体图；图2是根据本专利技术的液体收集装置的立体图；图3是根据本专利技术的排放物的流动状态的液体收集装置的截面 图；以及图4是根据本专利技术的液体收集装置的液体收集管的立体图。具体实施方式下面，参照附图对4艮据本专利技术的液体收集装置的优选实施例进 行进一步说明。图2是根据本专利技术的液体收集装置的立体图；图3是示出涉及 本专利技术的排放物流动状态的液体收集装置的截面图。根据本专利技术的液体收集装置3包括引入管31,从湿式工作站 l引入流体；收集筒33，用于收集液体；液体收集管35,用于排放 已分离出来的飞溅液体；以及排气管37,用于排出已分离出来的气 体。上述引入管31流入在湿式工作站1中生成的流体并输出至上 述收集筒33,上述引入管31的一端固定在上述湿式工作站1的一 侧，另一端则固定在上述收集筒33的正面332。上述收集筒33是一个立体形状的筒，用于从引入管31流入的 流体中收集液体，包括正面332，安装有引入管；背面335，安 装有排气管37;以及上表面337、两侧面336及下表面334，分别围绕上述正面332与背面335。上述下表面334包括倾斜面334a, 乂人上述正面332朝下倾斜延伸；连4妄面334b,在上述倾4斗面334a 的一端朝下突出；以及水平面334c, /人上述连4姿面334b的一端水 平延伸并连接到上述背面335的另一端，上述收集筒的形状为上述 正面332面积小于背面335面积的4弟形，其内侧包含上翼纟反331与 下翼纟反333。上述上翼板331是一板状部件，其一端331a安装在上述正面 332的上侧边332a,其另一端331b往下表面334的方向延伸到安 装在上述正面332的引入管31的一定的直径区，从而4吏通过上述 引入管31流出来的流体的一部分(A方向流体)石並^童上述上翼才反 331, —部分则在没有石並撞上述上翼才反331的情形下通过，且为了 最好的保证上述上翼板331与从引入管31流入的流体之间的接触 面积并顺利流畅地把流体引向下表面334,优选上述上翼板331具 有波形形状。因此，从上述引入管31流入的流体撞到上述上翼板 331，从而转向下表面334方向，降低了其压力与速度，上述上翼 板331包括凝集部件331d。上述凝本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种液体收集装置，其特征在于包括： 引入管，其一端安装在湿式工作站的气体管路上，另一端则安装在收集筒上； 收集筒，用于收集通过所述引入管流入的气体中的收集飞溅液体成分； 液体收集管，设置在所述收集筒的下表面，用于将收集到的液体成分排放到外部；以及 排气管，在所述引入管的相对方向，安装在所述收集筒上， 其中，所述收集筒还包括：上翼板，安装在所述引入管的上部并延伸到所述引入管的一定的直径区；以及下翼板，与所述上翼板间隔开。
【技术特征摘要】
KR 2006-8-18 10-2006-00783731.一种液体收集装置，其特征在于包括引入管，其一端安装在湿式工作站的气体管路上，另一端则安装在收集筒上；收集筒，用于收集通过所述引入管流入的气体中的收集飞溅液体成分；液体收集管，设置在所述收集筒的下表面，用于将收集到的液体成分排放到外部；以及排气管，在所述引入管的相对方向，安装在所述收集筒上，其中，所述收集筒还包括上翼板，安装在所述引入管的上部并延伸到所述引入管的一定的直径区；以及下翼板，与所述上翼板间隔开。2. 根据权利要求1所述的液体收集装置，其特征在于，所述收集筒具有立体形状，包括正面，安装有所述引入管；背面，安装有所述排气管；以及上面、两侧面及下表面，围绕所述正面与背面。3. 根据权利要求2所述的液体收集装置，其特征在于，所述下表面包括倾斜面，...
【专利技术属性】
技术研发人员：申宗秀，
申请(专利权)人：申宗秀，
类型：发明
国别省市：KR[]
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