用于在目标上淀积无源结构的设备及方法技术

涉及在物理、电性、化学、光学特性中的一个或多个中具有５％或更小偏差的无源结构的直接写入的方法和装置。本装置可以延长淀积时间。本装置可以配置为独立操作，并使用传感器和反馈环检测系统的物理特性以确定并维持最佳工艺参数。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于在目标上淀积包括材料的无源结构的设备，该设备包括：用于形成包括材料和载气的悬浮物的喷雾器；用于排出多余载气的排气流控制器；用于在圆柱形套管气流中混入悬浮物的淀积头；压力传感转换器；连接所述喷雾器、所述淀积头、所述排气流控制器和所述转换器的十字管接头；其中该无源结构的理想特性的误差优于约５％。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：MJ雷恩，M埃辛，BH金，JA保尔森，
申请(专利权)人：奥普美克设计公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]