一种真空热蒸镀用匀气机制造技术

本实用新型专利技术适用于真空蒸镀领域，提供了一种真空热蒸镀用匀气机，包括进气管道和出气管道，进气管道与出气管道设置有预定间隙，所述进气管道上固定有第一气盘，第一其盘朝向进气管道的一侧设置有与自身贴合的第二气盘，第二气盘与进气管道通过软管相连接，所述第一气盘和第二气盘上均开有位置相对应的气孔，出气管道一侧设置有调节机构。其有益效果是：在气体进行输送时，通过调节机构带动第二气盘与第一气盘进行相对往复运动，使得二者上的气孔周期性的重叠或者错开，能够将气体在进气管道中积蓄，然后周期性的从重叠的气孔中排出，能够有效保证进入出气管道中的气体均匀度，从而保证镀膜的均匀化，实际使用效果好。实际使用效果好。实际使用效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种真空热蒸镀用匀气机


[0001]本技术属于真空蒸镀领域，尤其涉及一种真空热蒸镀用匀气机。

技术介绍

[0002]真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
[0003]镀膜的处理工艺最基本的要求就是镀膜的均匀性，蒸镀在这方面较为突出，但是如果只是简单地经过气流输送，因为管道内壁的附着性，使得气流也会存在一定地不均匀性，对于一些高精度要求的镀膜工艺来说，常规的蒸镀方式存在着不足之处，因此需要装置将气流进行均匀化，从而保证镀膜的效果。

技术实现思路

[0004]本技术实施例的目的在于提供一种真空热蒸镀用匀气机，旨在解决常规的蒸镀装置也会存在镀膜不均匀的问题。
[0005]本技术实施例是这样实现的，一种真空热蒸镀用匀气机，包括进气管道和出气管道，进气管道与出气管道设置有预定间隙，所述进气管道上固定有第一气盘，第一其盘朝向进气管道的一侧设置有与自身贴合的第二气盘，第二气盘与进气管道通过软管相连接；
[0006]所述第一气盘和第二气盘上均开有位置相对应的气孔，气孔位于软管和出气管道内；
[0007]出气管道一侧设置有调节机构，调节机构用于带动第二气盘移动，使第一气盘与第二气盘之间进行相对滑动。
[0008]优选地，所述软管的一端固定在第二气盘上，软管另一端通过连接件与进气管道一端相连接。
[0009]优选地，所述调节机构包括位于出气管道一侧的安装架，安装架内固定有驱动件，驱动件的输出端设置有旋转导向件，安装架上设置有限定板，限定板上滑动连接有执行件，执行件的一端与第二气盘相连接，执行件的另一端与旋转导向件相配合。
[0010]优选地，所述旋转导向件采用固定在驱动件输出端的圆板，圆板上开有导向槽，导向槽与执行件相配合。
[0011]优选地，所述导向槽包括圆弧槽和变曲率槽，圆弧槽与变曲率槽首尾以此相连通。
[0012]优选地，所述出气管道一侧固定有垫块，安装架通过垫块固定在出气管道的一侧。
[0013]本技术实施例提供的一种真空热蒸镀用匀气机，其有益效果是：在气体进行输送时，通过调节机构带动第二气盘与第一气盘进行相对往复运动，使得二者上的气孔周期性的重叠或者错开，能够将气体在进气管道中积蓄，然后周期性的从重叠的气孔中排出，
能够有效保证进入出气管道中的气体均匀度，从而保证镀膜的均匀化，实际使用效果好。
附图说明
[0014]图1为本技术实施例提供的一种真空热蒸镀用匀气机的立体结构图；
[0015]图2为本技术实施例提供的一种真空热蒸镀用匀气机的正视图；
[0016]图3为本技术实施例提供的第一气盘和第二气盘的结构示意图；
[0017]图4为图1中A处局部放大图；
[0018]附图中：1、进气管道；2、出气管道；3、第一气盘；4、第二气盘；5、软管；6、气孔；7、调节机构；701、安装架；702、驱动件；703、旋转导向件；704、限定板；705、执行件；706、导向槽；7061、圆弧槽；7062、变曲率槽；8、连接件；9、垫块。
具体实施方式
[0019]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0020]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0021]如图1所示，为本技术的一个实施例提供的一种真空热蒸镀用匀气机的结构图，包括：
[0022]进气管道1和出气管道2，进气管道1与出气管道2设置有预定间隙，所述进气管道1上固定有第一气盘3，第一其盘朝向进气管道1的一侧设置有与自身贴合的第二气盘4，第二气盘4与进气管道1通过软管5相连接。
[0023]所述第一气盘3和第二气盘4上均开有位置相对应的气孔6，气孔6位于软管5和出气管道2内。
[0024]出气管道2一侧设置有调节机构7，调节机构7用于带动第二气盘4移动，使第一气盘3与第二气盘4之间进行相对滑动。
[0025]在本技术的一个实施例中，在气体进行输送时，通过调节机构7带动第二气盘4与第一气盘3进行相对往复运动，使得二者上的气孔6周期性的重叠或者错开，能够将气体在进气管道1中积蓄，然后周期性的从重叠的气孔6中排出，能够有效保证进入出气管道2中的气体均匀度，从而保证镀膜的均匀化，实际使用效果好。
[0026]如图1和3所示，作为本技术的一种优选实施例，所述软管5的一端固定在第二气盘4上，软管5另一端通过连接件8与进气管道1一端相连接。
[0027]在本实施例的一种情况中，所述连接件8可以采用套环，套环螺纹套接在进气管道1的一端，通过套环能够将软管5拆下，特别对于蒸镀的方式，第二气盘4上容易粘有材料，方便对其进行清理。
[0028]如图1和2所示，作为本技术的另一种优选实施例，所述调节机构7包括位于出气管道2一侧的安装架701，安装架701内固定有驱动件702，驱动件702的输出端设置有旋转导向件703，安装架701上设置有限定板704，限定板704上滑动连接有执行件705，执行件705的一端与第二气盘4相连接，执行件705的另一端与旋转导向件703相配合。
[0029]如图1所示，所述旋转导向件703采用固定在驱动件702输出端的圆板，圆板上开有
导向槽706，导向槽706与执行件705相配合。
[0030]如图4所示，所述导向槽706包括圆弧槽7061和变曲率槽7062，圆弧槽7061与变曲率槽7062首尾以此相连通。
[0031]在本实施例的一种情况中，驱动件702可以采用电机，圆板固定在电机的输出端，所述执行件705包括滑动连接在限定板704上的横杆，横杆一端通过直杆与第二气盘4固定连接，横杆的另一端固定有插销，插销与导向槽706配合，当插销与圆弧槽7061、变曲率槽7062接触时，能够使横杆进行横移，从而实现第二气盘4进行往复运动，气孔6周期性重叠或者错开，使得进气管道1内的气体排送至出气管道2内。
[0032]如图1所示，作为本技术的另一种优选实施例，所述出气管道2一侧固定有垫块9，安装架701通过垫块9固定在出气管道2的一侧，垫块9用于对安装架701的位置进行补偿。
[0033]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空热蒸镀用匀气机，包括进气管道和出气管道，进气管道与出气管道设置有预定间隙，其特征在于，所述进气管道上固定有第一气盘，第一其盘朝向进气管道的一侧设置有与自身贴合的第二气盘，第二气盘与进气管道通过软管相连接；所述第一气盘和第二气盘上均开有位置相对应的气孔，气孔位于软管和出气管道内；出气管道一侧设置有调节机构，调节机构用于带动第二气盘移动，使第一气盘与第二气盘之间进行相对滑动。2.根据权利要求1所述的真空热蒸镀用匀气机，其特征在于，所述软管的一端固定在第二气盘上，软管另一端通过连接件与进气管道一端相连接。3.根据权利要求1所述的真空热蒸镀用匀气机，其特征在于，所述调节机构包...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘立帮，
申请(专利权)人：武汉鑫誉金天科技有限公司，
类型：新型
国别省市：