一种新型晶圆搬运用机械手制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型晶圆搬运用机械手，包括：固定支架；升降机构，所述升降机构固定安装在固定支架上；旋转机构，所述旋转机构与升降机构传动连接，并由升降机构驱动旋转机构做垂直升降运动；机械臂机构，所述机械臂机构与旋转机构传动连接，并由旋转机构驱动机械臂机构以连接处为支点做水平旋转活动；末端执行器，所述末端执行器固定安装在机械臂机构上远离旋转机构的一端；所述升降机构包括直线模组、升降电机和升降平台，所述直线模组固定安装在固定支架上，所述升降平台与直线模组活动连接，并由升降电机驱动其做垂直升降运动，所述旋转机构固定安装在升降平台上。本实用新型专利技术具有结构紧凑、加工精度高、加工效率高的优点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
一种新型晶圆搬运用机械手


[0001]本技术涉及机械手
，具体为一种新型晶圆搬运用机械手。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆是生产集成电路所用的载体，是最常用的半导体材料，按其直径分为6英寸、8英寸等规格，晶圆规格越大，同一晶圆上可生产的IC就越多，但对晶圆生产技术的要求也就越高。在生产晶圆的过程当中，将晶圆从一个工作平台转移至另一个工作平台，多采用人工手持晶圆进行搬运，效率低，稳定性差，极易因工作人员的操作不当使晶圆划破或断裂，影响晶圆品质，严重时导致晶圆报废。
[0003]但是，现有机械手往往结构复杂，并且运转不灵活，不能同时满足水平和竖直方向的移动，而且驱动部分到手臂的执行部分连接过于冗长，降低了机械手的灵活性和工作效率，也影响晶圆本身的加工精度。同时，传统机械手单对单工作，每个机械手对应一个工位，每个机械手动作需要时间基本一致，想提升效率需要加工位，占用大量空间。因此有必要针对以上问题进行改良。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种新型晶圆搬运用机械手，具备结构紧凑、加工精度高、加工效率高的优点，解决了以上
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种新型晶圆搬运用机械手，包括：固定支架；升降机构，所述升降机构固定安装在固定支架上；旋转机构，所述旋转机构与升降机构传动连接，并由升降机构驱动旋转机构做垂直升降运动；机械臂机构，所述机械臂机构与旋转机构传动连接，并由旋转机构驱动机械臂机构以连接处为支点做水平旋转活动；末端执行器，所述末端执行器固定安装在机械臂机构上远离旋转机构的一端；所述升降机构包括直线模组、升降电机和升降平台，所述直线模组固定安装在固定支架上，所述升降平台与直线模组活动连接，并由升降电机驱动其做垂直升降运动，所述旋转机构固定安装在升降平台上。
[0006]优选地，所述机械臂机构为两组，所述两组机械臂机构均与旋转机构传动连接，且两组机械臂机构远离旋转机构的一端均设置有末端执行器，所述两组末端执行器上下设置。
[0007]优选地，旋转机构包括旋转平台、旋转电机和机械臂驱动组件，所述旋转平台固定安装在升降平台上，所述旋转电机与旋转平台传动连接，并驱动旋转平台以连接处为支点做旋转活动，所述机械臂驱动组件固定安装在旋转平台内，且机械臂驱动组件与机械臂机构传动连接，并驱动机械臂机构以连接处为支点做旋转活动。
[0008]优选地，所述机械臂驱动组件包括机械臂驱动电机、机械臂驱动同步带和机械臂驱动同步轮，所述机械臂驱动电机固定安装在旋转平台内，且机械臂驱动电机通过机械臂
驱动同步带与机械臂驱动同步轮传动连接，所述机械臂驱动同步轮与机械臂机构传动连接。
[0009]优选地，所述机械臂机构包括一级机械臂、二级机械臂和三级机械臂，所述末端执行器固定安装在三级机械臂上，所述一级机械臂内设置有第一传动组件、所述二级机械臂内设置有第二传动组件，所述第一传动组件分别与旋转机构和第二传动组件传动连接，所述第二传动组件分别与第一传动组件和三级机械臂传动连接。
[0010]优选地，所述第一传动组件包括第一传动同步带和两个第一传动同步轮，所述第一传动同步带分别与两个第一传动同步轮传动连接，两个所述第一传动同步轮分别与旋转机构和第二传动组件传动连接。
[0011]优选地，所述第二传动组件包括第二传动同步带和两个第二传动同步轮，所述第二传动同步带分别与两个第二传动同步轮传动连接，两个所述第二传动同步轮分别与第一传动组件和三级机械臂传动连接。
[0012]优选地，所述末端执行器上开设有若干个气孔，且末端执行器内设置有气路，所述若干个气孔均与气路相连通，所述气路依次过机械臂机构、旋转机构、升降机构和固定支架。
[0013]优选地，所述升降机构还包括升降同步带和若干个升降同步轮，所述直线模组的数量为三个，所述三个直线模组均与升降平台传动连接，且三个直线模组分别与若干个升降同步轮传动连接，所述升降电机通过升降同步带分别与若干个升降同步轮传动连接。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0015]一、本技术通过设置升降机构和旋转机构，所述旋转机构与升降机构传动连接，并由升降机构驱动旋转机构做垂直升降运动，所述机械臂机构与旋转机构传动连接，并由旋转机构驱动机械臂机构以连接处为支点做水平旋转活动，两轴同时工作，并且两轴都位于同一个小范围内，减少占用空间，达到了结构紧凑的效果。
[0016]二、本技术通过设置升降机构，所述升降机构包括直线模组、升降电机、升降平台、升降同步带和若干个升降同步轮，所述直线模组的数量为三个，所述三个直线模组均与升降平台传动连接，且三个直线模组分别与若干个升降同步轮传动连接，所述升降电机通过升降同步带分别与若干个升降同步轮传动连接，由三个直线模组同步运动，使得升降更稳定、更精准，达到了加工精度高的效果。
[0017]三、本技术通过设置机械臂机构，所述机械臂机构为两组，所述两组机械臂机构均与旋转机构传动连接，且两组机械臂机构远离旋转机构的一端均设置有末端执行器，所述两组末端执行器上下设置，使得两组机械臂机构可同时工作，结构上互不干涉，不需要停留等待另外一个机械臂移开工作位置，达到了加工效率高的效果。
附图说明
[0018]图1为本技术中第一种实施例的结构示意图；
[0019]图2为本技术中升降机构的结构示意图；
[0020]图3为本技术中旋转机构、机械臂机构和末端执行器的结构示意图；
[0021]图4为本技术中第二种实施例的结构示意图之一；
[0022]图5为本技术中第二种实施例的结构示意图之二；
[0023]图6为本技术中第二种实施例的旋转机构和机械臂机构的结构示意图。
[0024]图中的附图标记及名称如下：
[0025]1、固定支架；
[0026]2、升降机构；21、直线模组；22、升降电机；23、升降平台；24、升降同步带；25、升降同步轮；
[0027]3、旋转机构；31、旋转平台；32、旋转电机；33、机械臂驱动组件；331、机械臂驱动电机；332、机械臂驱动同步带；333、机械臂驱动同步轮；
[0028]4、机械臂机构；41、一级机械臂；42、第一传动组件；421、第一传动同步带；422、第一传动同步轮；43、二级机械臂；44、第二传动组件；441、第二传动同步带；442、第二传动同步轮；45、三级机械臂；
[0029]5、末端执行器；51、气孔；52、气路。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于，包括：固定支架(1)；升降机构(2)，所述升降机构(2)固定安装在固定支架(1)上；旋转机构(3)，所述旋转机构(3)与升降机构(2)传动连接，并由升降机构(2)驱动旋转机构(3)做垂直升降运动；机械臂机构(4)，所述机械臂机构(4)与旋转机构(3)传动连接，并由旋转机构(3)驱动机械臂机构(4)以连接处为支点做水平旋转活动；末端执行器(5)，所述末端执行器(5)固定安装在机械臂机构(4)上远离旋转机构(3)的一端；所述升降机构(2)包括直线模组(21)、升降电机(22)和升降平台(23)，所述直线模组(21)固定安装在固定支架(1)上，所述升降平台(23)与直线模组(21)活动连接，并由升降电机(22)驱动其做垂直升降运动，所述旋转机构(3)固定安装在升降平台(23)上。2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：所述机械臂机构(4)为两组，所述两组机械臂机构(4)均与旋转机构(3)传动连接，且两组机械臂机构(4)远离旋转机构(3)的一端均设置有末端执行器(5)，所述两组末端执行器(5)上下设置。3.根据权利要求1至2任一项所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：旋转机构(3)包括旋转平台(31)、旋转电机(32)和机械臂驱动组件(33)，所述旋转平台(31)固定安装在升降平台(23)上，所述旋转电机(32)与旋转平台(31)传动连接，并驱动旋转平台(31)以连接处为支点做旋转活动，所述机械臂驱动组件(33)固定安装在旋转平台(31)内，且机械臂驱动组件(33)与机械臂机构(4)传动连接，并驱动机械臂机构(4)以连接处为支点做旋转活动。4.根据权利要求3所述的一种新型晶圆搬运用机械手，其特征在于：所述机械臂驱动组件(33)包括机械臂驱动电机(331)、机械臂驱动同步带(332)和机械臂驱动同步轮(333)，所述机械臂驱动电机(331)固定安装在旋转平台(31)内，且机械臂驱动电机(331)通过机械臂驱动同步带(332)与机械臂驱动同步轮(333)传动连接，所述机械臂驱动同步轮(333)与机械臂机...

【专利技术属性】
技术研发人员：张凯，
申请(专利权)人：韦森特东莞科技技术有限公司，
类型：新型
国别省市：