本实用新型专利技术公开了一种电场装置及管式PECVD设备，属于太阳能电池技术领域。本实用新型专利技术的电场装置包括射频电源装置和载片装置，载片装置包括真空腔体和多个电极板结构，多个电极板结构间隔设置在真空腔体的内部，每一电极板结构包括第一导体、第二导体和多个基材，第一导体连接射频电源装置的第一输出端，第二导体连接射频电源装置的第二输出端，第一导体和第二导体均用于放置基材；射频电源装置用于输出射频信号，并通过射频信号在第一导体和第二导体之间产生对称的电场。这种电场装置能够产生对称电场，从而保证不同电极板上的基材的成膜厚度具有一致性，提高了产能。提高了产能。提高了产能。
【技术实现步骤摘要】
电场装置及管式PECVD设备
[0001]本技术涉及但不限于太阳能电池
，尤其涉及一种电场装置及管式PECVD设备。
技术介绍
[0002]PECVD(等离子体增强化学气相沉积)广泛应用于太阳能电池的生产。目前用于太阳能电池的镀膜的PECVD设备主要有板式和管式两种。在以往的工艺中，为了追求更高的品质，通常会采用板式PECVD设备，这是因为板式PECVD设备能够采用射频等离子源，而射频等离子源具有频率高、等离子轰击小的优点。使用射频等离子源能够减少等离子体对太阳能电池片的基材(例如硅片)的轰击，提高太阳能电池的品质。
[0003]然而，由于射频等离子源的导入较困难，而且普遍存在接地端。射频等离子源在PECVD设备建立电场时，通用的方法是一端接地，一端连接电极板，只在接地端或者射频输出端放置衬底。因此，板式PECVD设备采用的是平板式载板，基材平摊在载板上。这导致板式PECVD设备不仅占地面积大、而且产能非常低。
[0004]此外，管式PECVD设备使用了石墨舟结构，虽然占地面积小、并且石墨舟单批次装片量大，能够容易地提高产能，但是，已知的管式PECVD设备石墨舟结构在接入射频电源时，射频电源在PECVD设备建立电场时产生的电场也是非对称的，会导致不同电极板上的基材的成膜厚度存在差异，影响产能，因此，如何提供一种能够产生对称电场的电场装置，将这一电场装置应用在管式PECVD设备中，保证不同电极板上的基材的成膜厚度具有一致性，提高产能，成为了亟待解决的问题。
技术实现思路
[0005]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种电场装置，能够产生对称电场，从而保证不同电极板上的基材的成膜厚度具有一致性，提高了产能。
[0006]本技术还提出一种具有上述电场装置的管式PECVD设备。
[0007]根据本技术的第一方面实施例的电场装置，包括：
[0008]射频电源装置；
[0009]载片装置，所述载片装置包括真空腔体和多个电极板结构，所述多个电极板结构间隔设置在所述真空腔体的内部，每一所述电极板结构包括第一导体、第二导体和多个基材，所述第一导体连接所述射频电源装置的第一输出端，所述第二导体连接所述射频电源装置的第二输出端，所述第一导体和所述第二导体均用于放置所述基材；
[0010]所述射频电源装置用于输出射频信号，并通过所述射频信号在所述第一导体和所述第二导体之间产生对称的电场。
[0011]根据本技术实施例的电场装置，至少具有如下有益效果：这种电场装置设置有射频电源装置，通过将多个电极板结构间隔设置在真空腔体的内部，将每一电极板结构
的第一导体连接射频电源装置的第一输出端，将第二导体连接射频电源装置的第二输出端，通过射频电源装置输出射频信号，并通过射频信号在第一导体和第二导体之间产生对称的电场，使得第一导体和第二导体均能够放置基材，同时，保证第一导体和第二导体上的基材的成膜厚度具有一致性，提高了产能。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述射频电源装置包括：
[0013]第一射频电源模块，所述第一射频电源模块的输出端连接所述第一导体；
[0014]第二射频电源模块，所述第二射频电源模块的输出端连接所述第二导体；
[0015]相位调制模块，所述相位调制模块分别连接所述第一射频电源模块和所述第二射频电源模块，所述相位调制模块用于调节所述第一射频电源模块和所述第二射频电源模块的射频信号相位差以使所述射频电源装置输出的射频信号在所述第一导体和所述第二导体之间产生对称的电场。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述第一射频电源模块包括：
[0017]第一射频电源，所述第一射频电源的输入端连接所述相位调制模块；
[0018]第一阻抗匹配网络，所述第一阻抗匹配网络的输入端连接所述第一射频电源的输出端，所述第一阻抗匹配网络的输出端连接所述第一导体。
[0019]根据本技术的一些实施例，所述第二射频电源模块包括：
[0020]第二射频电源，所述第二射频电源的输入端连接所述相位调制模块；
[0021]第二阻抗匹配网络，所述第二阻抗匹配网络的输入端连接所述第二射频电源的输出端，所述第二阻抗匹配网络的输出端连接所述第二导体。
[0022]根据本技术的一些实施例，所述相位调制模块包括：
[0023]相位调制器，所述相位调制器分别连接所述第一射频电源模块和所述第二射频电源模块
[0024]根据本技术的一些实施例，所述射频信号相位差的调节范围为0度至360度。
[0025]根据本技术的一些实施例，所述第一导体和所述第二导体分别呈板状。
[0026]根据本技术的一些实施例，所述第一导体和所述第二导体之间设置有间隙。
[0027]根据本技术的一些实施例，所述载片装置还包括：
[0028]第一导通部，所述第一导通部分别连接每一所述电极板结构的第一导体和所述第一射频电源模块的输出端；
[0029]第二导通部，所述第二导通部分别连接每一所述电极板结构的第二导体和所述第二射频电源模块的输出端。
[0030]根据本技术的第二方面实施例的管式PECVD设备，包括如第一方面所述的电场装置。
[0031]根据本技术实施例的管式PECVD设备，至少具有如下有益效果：这种管式PECVD设备包括电场装置，通过设置射频电源装置，通过将多个电极板结构间隔设置在真空腔体的内部，将每一电极板结构的第一导体连接射频电源装置的第一输出端，将第二导体连接射频电源装置的第二输出端，通过射频电源装置输出射频信号，并通过射频信号在第一导体和第二导体之间产生对称的电场，使得第一导体和第二导体均能够放置基材，同时，保证第一导体和第二导体上的基材的成膜厚度具有一致性，提高了产能。
[0032]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述
中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0033]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0034]图1为本技术实施例的电场装置的模块示意图；
[0035]图2为图1的射频电源装置的模块示意图；
[0036]图3为图1的电极板结构的结构示意图；
[0037]图4为图1的电极板结构的另一结构示意图；
[0038]图5为图1的载片装置的结构示意图。
[0039]附图标记：100、射频电源装置；200、载片装置；110、第一射频电源模块；120、第二射频电源模块；130、相位调制模块；111、第一射频电源；112、第一阻抗匹配网络；113、第一输出端；121、第二射频电源；122、第二阻抗匹配网络；123、第二输出端；131、相位调制器；210、真空腔体；220、电极板结构；221、第一导体；222、第二导体；223、基材本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.电场装置，其特征在于，包括：射频电源装置；载片装置，所述载片装置包括真空腔体和多个电极板结构，所述多个电极板结构间隔设置在所述真空腔体的内部，每一所述电极板结构包括第一导体、第二导体和多个基材，所述第一导体连接所述射频电源装置的第一输出端，所述第二导体连接所述射频电源装置的第二输出端，所述第一导体和所述第二导体均用于放置所述基材；所述射频电源装置用于输出射频信号，并通过所述射频信号在所述第一导体和所述第二导体之间产生对称的电场。2.根据权利要求1所述的电场装置，其特征在于，所述射频电源装置包括：第一射频电源模块，所述第一射频电源模块的输出端连接所述第一导体；第二射频电源模块，所述第二射频电源模块的输出端连接所述第二导体；相位调制模块，所述相位调制模块分别连接所述第一射频电源模块和所述第二射频电源模块，所述相位调制模块用于调节所述第一射频电源模块和所述第二射频电源模块的射频信号相位差以使所述射频电源装置输出的射频信号在所述第一导体和所述第二导体之间产生对称的电场。3.根据权利要求2所述的电场装置，其特征在于，所述第一射频电源模块包括：第一射频电源，所述第一射频电源连接所述相位调制模块；第一阻抗匹配网络，所述第一阻抗匹配网络的输入端连接所述第一射频电源...
【专利技术属性】
技术研发人员：李军阳，张勇，李学文，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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