基板载具和电化学沉积设备制造技术

本申请实施例提供了一种基板载具和电化学沉积设备。该基板载具，包括：承载板，至少一侧用于承载基板，且至少一侧具有导电结构；盖板，包括盖板本体和弹性连接电极；盖板本体与承载板可拆卸连接；弹性连接电极与盖板本体连接，弹性连接电极用于将基板限制于承载板的一侧，并连接基板的导电种子层和承载板的导电结构。本申请实施例提供的基板载具实现了盖板与承载板对基板的柔性夹持，有利于为施加于基板的夹持力提供一定的自适应调节空间，相对于刚性夹持而言，柔性夹持既能为基板提供充足的夹持力，实现对基板的稳定、有效夹持，又能避免夹持力过大而损坏基板。持力过大而损坏基板。持力过大而损坏基板。

【技术实现步骤摘要】
基板载具和电化学沉积设备


[0001]本申请涉及电化学沉积
，具体而言，本申请涉及一种基板载具和电化学沉积设备。

技术介绍

[0002]电化学沉积，是指在外电场作用下，电流通过电解质溶液中正负离子的迁移，并在电极上发生得失电子的氧化还原反应而形成镀层的技术。在阴极产生金属离子的还原而获得金属镀层，称为电镀。在阳极发生阳极金属的氧化而形成合用的氧化膜，称为金属的电化学氧化，简称金属的电氧化。
[0003]可见，电化学沉积工艺是一种低成本的化学性成膜方式，例如可以将基板夹持住并置于电解质溶液中，在电流作用下在基板上沉积一定厚度的金属。电化学沉积工艺适用于Mini LED相关产品的制备、纳米压印模版的制备、液晶天线的制备等。
[0004]但是，在现有的电化学沉积工艺中，存在对基板夹持不稳、或对基板造成损坏的缺陷。

技术实现思路

[0005]本申请针对现有方式的缺点，提出一种基板载具和电化学沉积设备，用以解决现有的电化学沉积工艺中存在对基板夹持不稳、或对基板造成损坏的技术问题。
[0006]第一个方面，本申请实施例提供了一种基板载具，包括：
[0007]承载板，至少一侧用于承载基板，且至少一侧具有导电结构；
[0008]盖板，包括盖板本体和弹性连接电极；盖板本体与承载板可拆卸连接；弹性连接电极与盖板本体连接，弹性连接电极用于将基板限制于承载板的一侧，并连接基板的导电种子层和承载板的导电结构。
[0009]在一个实施例中，弹性连接电极包括依次连接的：第一电连接部、第一弹性部、基桩部和第二电连接部；
[0010]第一电连接部用于将基板限制于承载板的一侧，并连接基板的导电种子层；
[0011]基桩部与盖板本体连接；
[0012]第二电连接部用于连接承载板的导电结构。
[0013]在一个实施例中，第一电连接部包括至少两个指状结构；
[0014]指状结构的一端与第一弹性部连接，另一端向远离第一弹性部的方向延伸。
[0015]在一个实施例中，至少部分指状结构相互平行；
[0016]和/或，至少部分指状结构的另一端到第一弹性部的距离相等。
[0017]在一个实施例中，弹性连接电极还包括：第二弹性部；
[0018]第二弹性部连接于基桩部与第二电连接部之间。
[0019]在一个实施例中，第一弹性部和第二弹性部中的至少一种是板状结构，板状结构所在的平面与基桩部所在的平面之间呈α夹角，0
°
＜α＜90
°
。
[0020]在一个实施例中，盖板包括至少两个弹性连接电极；
[0021]至少部分弹性连接电极在盖板本体的一侧等距间隔分布。
[0022]在一个实施例中，基板载具还包括：压合结构；
[0023]压合结构与至少部分弹性连接电极连接。
[0024]在一个实施例中，压合结构与弹性连接电极的基桩部连接。
[0025]在一个实施例中，压合结构为框体结构导电体。
[0026]在一个实施例中，基板载具还包括：密封结构；
[0027]密封结构位于盖板本体靠近弹性连接电极的一侧；
[0028]密封结构、盖板本体、承载板以及承载板所承载的基板之间形成密封空间，密封空间至少容纳弹性连接电极。
[0029]在一个实施例中，密封结构包括：第一密封圈和第二密封圈；
[0030]第一密封圈环绕盖板本体的沉积开口，用于与承载板所承载的基板接触；
[0031]第二密封圈环绕盖板本体的外边缘，用于与承载板接触。
[0032]第二个方面，本申请实施例提供了一种电化学沉积设备，包括：如第一个方面提供的基板载具。
[0033]本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果包括：基板载具采用盖板与承载板实现对基板的柔性夹持，有利于为施加于基板的夹持力提供一定的自适应调节空间，相对于刚性夹持而言，柔性夹持既能为基板提供充足的夹持力，实现对基板的稳定、有效夹持，又能避免夹持力过大而损坏基板。
[0034]具体地，在盖板的配合下，承载板的至少一侧能够承载基板；盖板中的弹性连接电极能够将基板限制于承载板的一侧，弹性连接电极与承载板配合实现对基板的柔性夹持，并且弹性连接电极还能够帮助实现承载板的导电结构与基板的导电种子层的电导通，为基板的电化学沉积提供必要条件；盖板中的盖板本体为弹性连接电极提供安装基础。
[0035]本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0036]本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0037]图1为本申请实施例提供的一种基板载具的局部截面示意图；
[0038]图2为本申请实施例提供的一种基板载具中盖板的主视结构示意图；
[0039]图3为本申请实施例提供的一种基板载具中盖板的局部剖面结构示意图；
[0040]图4为本申请实施例提供的一种盖板中弹性连接电极的主视结构示意图；
[0041]图5为本申请实施例提供的一种盖板中弹性连接电极的轴测结构示意图。
[0042]图中：
[0043]100
‑
盖板；110
‑
盖板本体；120
‑
弹性连接电极；
[0044]121
‑
第一电连接部；121a
‑
指状结构；
[0045]122
‑
第一弹性部；123
‑
基桩部；124
‑
第二电连接部；125
‑
第二弹性部；
[0046]130
‑
压合结构；140
‑
密封结构；141
‑
第一密封圈；142
‑
第二密封圈；
[0047]200
‑
承载板；210
‑
导电结构；
[0048]10
‑
基板载具；20
‑
基板；21
‑
导电种子层。
具体实施方式
[0049]下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
[0050]本
技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板载具，其特征在于，包括：承载板，至少一侧用于承载基板，且所述至少一侧具有导电结构；盖板，包括盖板本体和弹性连接电极；所述盖板本体与所述承载板可拆卸连接；所述弹性连接电极与所述盖板本体连接，所述弹性连接电极用于将所述基板限制于所述承载板的一侧，并连接所述基板的导电种子层和所述承载板的所述导电结构。2.根据权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述弹性连接电极包括依次连接的：第一电连接部、第一弹性部、基桩部和第二电连接部；所述第一电连接部用于将所述基板限制于所述承载板的一侧，并连接所述基板的导电种子层；所述基桩部与所述盖板本体连接；所述第二电连接部用于连接所述承载板的所述导电结构。3.根据权利要求2所述的基板载具，其特征在于，所述第一电连接部包括至少两个指状结构；所述指状结构的一端与所述第一弹性部连接，另一端向远离所述第一弹性部的方向延伸。4.根据权利要求3所述的基板载具，其特征在于，至少部分所述指状结构相互平行；和/或，至少部分所述指状结构的另一端到所述第一弹性部的距离相等。5.根据权利要求2
‑
4中任一项所述的基板载具，其特征在于，所述弹性连接电极还包括：第二弹性部；所述第二弹性部连接于所述基桩部与所述第二电连接部之间。6.根据权利要求5所述的基板载具，其特征在于，所述第一弹性部和所述第二弹性部中的至少一种是板状结构，所述板状结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫俊伟，袁广才，孙少东，王成飞，董士豪，张国才，曲燕，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：