本申请提供一种可伸缩的连接杆结构,包括:与电机连接的上固定件、与镀锅固定的下固定件和中间件,中间件套设在上固定件外,下固定件套设在中间件外,中间件能够相对于上固定件和下固定件旋转;所述上固定件的圆柱体部的下部具有一个横向的第一通孔并且第一通孔具有内螺纹、底部具有一个纵向的螺纹孔;中间件为中空圆柱体,中间件具有两个对称设置的纵向的第一通槽,中间件的下部具有一个横向的第二通孔并且第二通孔具有内螺纹;下固定件的中空圆柱体部具有两个对称设置的纵向的第二通槽;通过螺丝穿过第一通槽或/和第二通槽插入第一通孔或/和第二通孔调节所述连接杆结构的长度。度。度。
【技术实现步骤摘要】
一种可伸缩的连接杆结构
[0001]本技术涉及真空蒸镀机
,更具体地,涉及一种可伸缩的连接杆结构。
技术介绍
[0002]真空蒸镀机为在真空条件下,通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式,蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结,最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点,因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的加工工艺中,在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料,坩埚包括:蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源,加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化,以扇形的结构向上蒸发,坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅,镀锅上固定有被镀膜工件,因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。镀锅设置在主腔体的内部的上部,为了增加镀膜的均匀性,使用连接杆结构与电机连接,电机工作,连接杆结构带动镀锅旋转,连接杆结构穿过主腔体的上面板,连接杆结构的上端与电机连接、下端与镀锅固定。但是现有技术的连接杆结构的长度固定,不能够收缩,不方便调节镀锅的高度。
[0004]有鉴于此,本技术提供一种可伸缩的连接杆结构,能够收缩,能够调节连接杆结构的长度,方便调节镀锅的高度。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于,提供一种可伸缩的连接杆结构,能够收缩,能够调节连接杆结构的长度,方便调节镀锅的高度。
[0006]一种可伸缩的连接杆结构,包括:与电机连接的上固定件1、与镀锅固定的下固定件2和设置在上固定件1与下固定件2之间的中间件3,所述中间件3套设在上固定件1外,下固定件2套设在中间件3外,中间件3能够相对于上固定件1和下固定件2旋转;所述上固定件1由上部的电机固定部11和下部的圆柱体部12组成,圆柱体部12的下部具有一个横向的第一通孔13并且第一通孔13具有内螺纹,圆柱体部12的底部具有一个纵向的螺纹孔14;所述中间件3为中空圆柱体,中间件3具有两个对称设置的纵向的第一通槽31,中间件3的下部具有一个横向的第二通孔32并且第二通孔32具有内螺纹;所述下固定件2由上部的中空圆柱体部21和下部的镀锅固定部22组成,中空圆柱体部21具有两个对称设置的纵向的第二通槽23;通过螺丝穿过第一通槽31或/和第二通槽23插入第一通孔13或/和第二通孔32调节所述连接杆结构的长度。
[0007]在一些实施方式中,所述连接杆结构还包括垫片4,垫片4的中心处具有第三通孔41,第三通孔41具有内螺纹,上固定件1、下固定件2和中间件3的底面持平处于连接杆结构的完全收缩位置,旋转中间件3使得第一通槽31与第二通槽23对齐,此时第一通孔13与第二通孔32也对齐,螺丝穿过第一通槽31和第二通槽23插入第一通孔13和第二通孔32将连接杆
结构固定,同时将垫片4与下固定件2的下表面接触,通过螺丝插入第三通孔41和第一通孔13将连接杆结构进行双重固定,螺栓、螺丝钉或螺柱穿过镀锅固定部22和垫片4与镀锅固定,连接杆结构处于非完全收缩位置则拆除垫片4。
[0008]在一些实施方式中,连接杆结构处于非完全收缩位置,上固定件1与中间件3的底面持平则上固定件1与中间件3完全收缩,第一通孔13与第二通孔32的位置对齐并且第一通槽31与第二通槽23不对齐,螺丝穿过第二通槽23插入第一通孔13和第二通孔32调节及固定所述连接杆结构;中间件3与下固定件2的底面持平则中间件3与下固定件2完全收缩,第一通槽31与第二通槽23对齐,螺丝穿过第一通槽31和第二通槽23插入第一通孔13调节及固定所述连接杆结构;中间件3的底面不与上固定件1或下固定件2的底面持平,第一通槽31与第一通孔13对齐,第二通槽23与第二通孔32对齐,并且第一通槽31与第二通槽23不对齐,螺丝穿过第一通槽31插入第一通孔13并且螺丝穿过第二通槽23插入第二通孔32调节及固定所述连接杆结构。
[0009]在一些实施方式中,所述上固定件1的圆柱体部12的长度、中间件3的长度和下固定件2的长度相同,上固定件1的圆柱体部12的直径小于中间件3的内直径,中间件3的外直径小于下固定件2的内直径。
[0010]进一步的,所述第一通孔13与电机固定部11的下表面之间的间距和第二通孔32与中间件3的上表面之间的间距相同。
[0011]进一步的,所述第一通孔13与圆柱体部12底面之间的距离大于第一通槽31的底端与中间件3底面之间的距离。
[0012]进一步的,所述电机固定部11为圆柱体、正方体或长方体中的一种,所述螺纹孔14设置在圆柱体部12的底部的中间,螺纹孔14的深度为10
‑
30mm。
[0013]在一些实施方式中,所述中间件3的第一通槽31的长度小于中间件3的长度,第二通孔32与中间件3底面之间的距离大于第一通槽31的底端与中间件3底面之间的距离,第一通槽31的外表面具有一个切面,该切面用于增大螺纹与中间件3的外表面的摩擦系数。
[0014]进一步的,所述第二通孔32横向贯穿中间件3,由于中间件3为中空圆柱体,因此第二通孔32为两个对称设置的通孔。
[0015]进一步的,所述第二通孔32与中间件3底面之间的距离大于第二通槽23的底端与中空圆柱体部21底面之间的距离,所述第二通孔32与第一通槽31之间的夹角为90
°
。
[0016]在一些实施方式中,所述下固定件2的第二通槽23的长度小于中空圆柱体部21的长度,第二通槽23的外表面具有一个切面,该切面用于增大螺纹与下固定件2的中空圆柱体部21的外表面的摩擦系数。
[0017]进一步的,所述镀锅固定部22为中空圆柱体、正方体或长方体中的一种,镀锅固定部22中间的通孔的直径与中空圆柱体部21的内直径相同,通过螺栓、螺丝钉或螺柱穿过镀锅固定部22与镀锅固定。
附图说明
[0018]结合以下附图一起阅读时,将会更加充分地描述本申请内容的上述和其他特征。可以理解,这些附图仅描绘了本申请内容的若干实施方式,因此不应认为是对本申请内容范围的限定。通过采用附图,本申请内容将会得到更加明确和详细地说明。
[0019]图1为本申请的可伸缩的连接杆结构与镀锅的结构示意图。
[0020]图2为本申请的可伸缩的连接杆结构完全展开状态的结构示意图。
[0021]图3为本申请的可伸缩的连接杆结构完全收缩状态的结构示意图。
[0022]图4为本申请的可伸缩的连接杆结构的上固定件的结构示意图。
[0023]图5为本申请的可伸缩的连接杆结构的中间件的结构示意图。
[0024]图6为本申请的可伸缩的连接杆结构的下固定件的结构示意图。
[0025]主要元件符号说明:
[0026]上固定件1、下固定件2、中间件3、垫片4、电机固定部11、圆柱体部12、第一通孔13、螺纹孔14、第一通槽31、第二通孔32、中空圆柱体部21、镀锅固定部22、第二通槽23、第三通孔41。
具体实施方式
[0027]描本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可伸缩的连接杆结构,其特征在于,包括:与电机连接的上固定件(1)、与镀锅固定的下固定件(2)和设置在上固定件(1)与下固定件(2)之间的中间件(3),所述中间件(3)套设在上固定件(1)外,下固定件(2)套设在中间件(3)外,中间件(3)能够相对于上固定件(1)和下固定件(2)旋转;所述上固定件(1)由上部的电机固定部(11)和下部的圆柱体部(12)组成,圆柱体部(12)的下部具有一个横向的第一通孔(13)并且第一通孔(13)具有内螺纹,圆柱体部(12)的底部具有一个纵向的螺纹孔(14);所述中间件(3)为中空圆柱体,中间件(3)具有两个对称设置的纵向的第一通槽(31),中间件(3)的下部具有一个横向的第二通孔(32)并且第二通孔(32)具有内螺纹;所述下固定件(2)由上部的中空圆柱体部(21)和下部的镀锅固定部(22)组成,中空圆柱体部(21)具有两个对称设置的纵向的第二通槽(23);通过螺丝穿过第一通槽(31)或/和第二通槽(23)插入第一通孔(13)或/和第二通孔(32)调节所述连接杆结构的长度。2.如权利要求1所述的可伸缩的连接杆结构,其特征在于,所述连接杆结构还包括垫片(4),垫片(4)的中心处具有第三通孔(41),第三通孔(41)具有内螺纹,上固定件(1)、下固定件(2)和中间件(3)的底面持平处于连接杆结构的完全收缩位置,旋转中间件(3)使得第一通槽(31)与第二通槽(23)对齐,此时第一通孔(13)与第二通孔(32)也对齐,螺丝穿过第一通槽(31)和第二通槽(23)插入第一通孔(13)和第二通孔(32)将连接杆结构固定,同时将垫片(4)与下固定件(2)的下表面接触,通过螺丝插入第三通孔(41)和第一通孔(13)将连接杆结构进行双重固定,螺栓、螺丝钉或螺柱穿过镀锅固定部(22)和垫片(4)与镀锅固定,连接杆结构处于非完全收缩位置则拆除垫片(4)。3.如权利要求1所述的可伸缩的连接杆结构,其特征在于,连接杆结构处于非完全收缩位置,上固定件(1)与中间件(3)的底面持平则上固定件(1)与中间件(3)完全收缩,第一通孔(13)与第二通孔(32)的位置对齐并且第一通槽(31)与第二通槽(23)不对齐,螺丝穿过第二通槽(23)插入第一通孔(13)和第二通孔(32)调节及固定所述连接杆结构;中间件(3)与下固定件(2)的底面持平则中间件(3)与下固定件(2)完全收缩,第一通槽(31)与第二通槽(23)对齐,螺丝穿过第一通槽(31)和第二通槽(23)插入第一通孔(13)调节及固定所述连接杆结构;中间件(3)的底面不与上固定件(1)或下固定件(2)的底面...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛蒙晓,
申请(专利权)人:苏州佑伦真空设备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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