用于制造环境中的产品随机化和分析的方法和系统技术方案

本发明专利技术涉及一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的方法和系统。所述方法包括使用在多个批次中选择每个产品的随机化技术，在工艺设备处处理所述批次的产品。所述方法还包括为工艺配方中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个操作将与随机选择的产品关联的槽标识符映射到处理变量标识符、处理工具以及所述操作。所述方法还包括使用槽标识符为产品载体定义槽分组以及通过分析每个所述槽分组的历史成品率来确定产品成品率模式。所述方法还包括通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品率，来确定所述工艺配方中每个操作的一个或多个产品成品率模式的出现频率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般地涉及制造执行系统，更具体地说，涉及用于在制造环境 中使用处理顺序变量来实现产品随机化和分析的方法、系统和计算机程序产品。
技术介绍
在制造环境中，产品在通过工艺线时被分组成批次。例如，在半导体制造工厂中，载体将300毫米晶片传输到工艺线中的每个工艺设备。每个 批次可以被容纳在前开式晶片盒(front-opening unified pod， FOUP)中， 并且晶片在FOUP内具有固定的槽位。在处理过程中，出现导致位于特定 槽位的晶片成品率变化的情况是很常见的。 一个实例涉及两腔(chamber) 式工具。如果笫一腔出现故障，则奇数槽中的晶片的成品率往往低于偶数 槽中的晶片的成品率。如果不使用随机化工具，则从工艺线开始到结束的 槽位保持不变。因此，槽位与工具腔的自动相关使得很难(如果不是不可 能)区分工艺线中的许多多腔式工具以1更检测出现故障的腔。一种当前的随机化方法是使用映射器来物理地随机化或搅乱工艺线中 给定点处的FOUP中的晶片。通过此方式，可以将槽信号的原因确定为在 工艺线中的两个随机化步骤(取决于随机化的频率)之间。但是，此方法 并非没有缺点。例如，物理随机化技术增加了总体处理时间(即，搅乱晶 片所需的时间)，同时还增加了生产成本(例如，购买、安装和维护映射 器的额外成本)。此外，使用物理随机化很可能会导致难以区分晶片处理 事件。另 一种当前的随机化方法是通过在处理工具处以随机顺序处理晶片来 逻辑地随机化晶片。传统的逻辑随机化技术的缺点包括无法区分晶片位置与处理顺序对处理的影响，以及无法在执行槽模式分析中使用槽位。 因此，需要一种克服上述缺点的提供随机化和分析的方法。
技术实现思路
本专利技术的实施例包括一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的 方法。所述方法包括使用在多个批次中选择每个产品的随机化技术，在工艺设备处处理所述批次的产品。所述方法还包括为工艺配方(process recipe)中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个操作将 与随机选择的产品关联的槽标识符映射到处理变量标识符、处理工具以及 所述操作。所述方法还包括使用槽标识符为产品栽体定义槽分组以及通过 分析每个所述槽分组的历史成品率来确定产品成品率模式。所述方法还包 括通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品率，来确 定所述工艺配方中每个操作的 一个或多个产品成品率模式的出现频率。其他实施例包括一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的系 统。所述系统包括主机系统和在所述主机系统上执行的产品随机化应用。 所述产品随机化应用实现一种方法。所述方法包括使用在多个批次中选择 每个产品的随机化技术，在工艺设备处处理所述批次的产品。所述方法还 包括为工艺配方中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个 操作将与随机选择的产品关联的槽标识符映射到处理变量标识符、处理工 具以及所述操作。所述方法还包括使用槽标识符为产品载体定义槽分组以 及通过分析每个所述槽分组的历史成品率来确定产品成品率模式。所述方 法还包括通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品 率，来确定所述工艺配方中每个^Mt的一个或多个产品成品率模式的出现 频率。进一步的实施例包括一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的 计算机程序产品。所述计算机程序产品包括用于使计算机实现方法的指令。 所述方法包括使用在多个批次中选择每个产品的随机化技术，在工艺设备 处处理所述批次的产品。所述方法还包括为工艺配方中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个操作将与随机选择的产品关联的槽标 识符映射到处理变量标识符、处理工具以及所述操作。所述方法还包括4吏 用槽标识符为产品载体定义槽分组以及通过分析每个所述槽分组的历史成 品率来确定产品成品率模式。所述方法还包括通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品率，来确定所述工艺配方中每个操作的 一个或多个产品成品率模式的出现频率。当查看以下附图和详细描述时，才艮据所述实施例的其他系统、方法和/ 或计算机程序产品对本领域的技术人员将是或将变得显而易见。所有这些 其他系统、方法和/或计算机程序产品都旨在包括在此描述中、处于本专利技术 的范围之内，并由所附的权利要求来保护。附图说明在说明书结尾处的权利要求书中具体指出并明确要求保护了视为本专利技术的主题。从以下结合附图的详细i兌明，本专利技术的上述和其他目标、特性 和优点是显而易见的，这些附图是图1是根据示例性实施例的其中可以实现产品随机化和分析的系统的 一部分；图2是描述示例性实施例中的实现产品随机化和分析的过程的流程图；图3A-3C是示出了示例性实施例中定义以供产品随机化和分析功能使用的槽模式的示意图；图4示出了由示例性实施例中的产品随机化和分析功能创建和使用的 ^作标识记录；以及图5是示出了示例性实施例中的按操作的产品成品率模式的模式汇总图。详细说明通过参考附图以实例的方式说明了本专利技术的优选实施例以及 优点和特性。具体实施方式根据示例性实施例，提供了用于实现产品随机化和分析功能的方法、 系统和计算机程序产品。产品随机化和分析功能通过针对载体槽标识符 (id )定义槽模式以及使用这些定义实现处理变量槽标识符分析来实现。对于分析，纟艮据处理变量槽id将物理槽标识符分成组，而所述处理变量槽 id又根据产品的处理顺序(当使用逻辑随机化技术时)以及载体槽id (当 使用物理随机化技术时)指定。可以使用统计模型(例如，ANOVA)检 查各个组之间的4壬何统计上显著的差异。将与确定为明显不同于其他组的 组关联的批次标记为具有特定模式。可以图形地显示分析结果以便于确定 和解决影响工艺、工具、产品或栽体的问题。在此描述的产品随机化和分析功能涉及半导体制造环境，在所述环境 中，根据工艺计划或配方通过前开式晶片盒(FOUP)将产品晶片传输到 各种工艺设备(包括工具和工具腔)。但是，要理解的是，示例性实施例 中描述的原理可以通过少许修改或不进行任何修改而应用于其他制造环 境。现在转到图1，将描述根据示例性实施例的其中可以实现产品随机化 和分析功能的系统的一部分。图1的系统包括通过一个或多个网络108与 制造设备104、 106通信的主机系统102。在示例性实施例中，主机系统102 由采用企业标准(例如SEMI⑧，或美国半导体交易组织@，总部设在加利 福尼亚州的圣何塞)的制造企业实现。主机系统102执行企业用于促进图1的制造环境中发生的生产过程的 各种业务应用。主机系统102可以由用于处理图1的制造环境中发生的生 产活动量的具有高性能处理器的计算机实现。主机系统102执行的业务应 用类型可以包括制造执行系统(MES) 112、自动材料处理系统(AMHS) 以及类似类型的软件。AMHS管理图1的制造环境内的材料传输，并与 MES 112连接以接收有关在制造区域的设备上处理材料以及其他功能的操 作和调度信息。主机系统102还执行一个或多个用于实现产品随机化和分析的应用。这些一个或多个应用统称为产品随机化应用114。此外，主机系统102可 以实现一个或多个用于按操作示出模式分析和产品成品率分析结果的图形 工具(未示出)，如在此进一步描述的那样。要理解的是，随机化(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的方法，所述方法包括：　　　　使用在多个批次中选择每个产品的随机化技术，在工艺设备处处理所述批次的产品，所述处理根据工艺配方来执行；　　　　为所述工艺配方中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个操作将与随机选择的产品关联的槽标识符映射到处理变量标识符、处理工具以及所述操作；　　　　使用槽标识符为所述多个批次中的每个批次的产品载体定义槽分组；　　　　通过分析每个所述槽分组的历史成品率来确定产品成品率模式；以及　　　　通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品率，来确定所述工艺配方中每个操作的一个或多个产品成品率模式的出现频率。

【技术特征摘要】
US 2007-1-30 11/668,7311.一种用于在制造环境中实现产品随机化和分析的方法，所述方法包括使用在多个批次中选择每个产品的随机化技术，在工艺设备处处理所述批次的产品，所述处理根据工艺配方来执行；为所述工艺配方中的每个操作生成操作标识记录，所述生成包括针对每个操作将与随机选择的产品关联的槽标识符映射到处理变量标识符、处理工具以及所述操作；使用槽标识符为所述多个批次中的每个批次的产品载体定义槽分组；通过分析每个所述槽分组的历史成品率来确定产品成品率模式；以及通过从与所述多个批次对应的所述操作标识记录分析产品成品率，来确定所述工艺配方中每个操作的一个或多个产品成品率模式的出现频率。2. 根据权利要求l的方法，其中使用槽标识符的连续有序列表来定义 所述槽分组，其中所定义的槽分组包括以下项中的至少一项对应于所述产品载体中的第 一个物理槽的槽标识符；对应于所述产品载体中的最后一个物理槽的槽标识符；前分组和后分组，其中所述前分组表示与位于所述产品载体的上半部分的槽对应的槽标识符，而所述后分组表示与位于所述产品载体的下半部分的槽对应的槽标识符；奇数分组和偶数分组，其中所述奇数分组表示所述产品载体的奇数编号的槽标识符，而所述偶数分组表示所述产品载体的偶数编号的槽标识符; 与所述连续有序列表中的每个第三个槽标识符对应的每个第三个槽；以及与所述连续有序列表中的每个第四个槽标识符对应的每个第四个槽。3. 根据权利要求l的方法，还包括图形地显示所述产品成品率模式，所述产品成品率模式反映了与操作、 工具、产品载体以及产品中的至少一项相关的潜在问题；其中确定模式的出现频率包括将针对每个操作的产品成品率分析的结 果与每个所述成品率模式相比较。4. 根据权利要求l的方法，其中所述随机化技术是逻辑的。5. 根据权利要求l的方法，其中所述随机化技术是物理的；其中进一 步地，每个随机选择的产品的处理顺序变量等于所述槽标识符。6. 根据权利要求l的方法，其中所述随机化技术是逻辑和物理的组合； 其中当4吏用逻辑的随机化技术时，所述处理顺序变量指定了产品的处理顺 序；以及当使用物理的随机化技术时，所述产品的处理顺序变量等于所述槽标 识符。7. 根据权利要求l的方法，其中所述处理顺序变量指定了产品的处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋云升，CW隆，BJ劳林斯，J赖斯，SM西安弗拉尼，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]