一种可变光及低成本视窗制造技术

本申请提供一种可变光及低成本视窗，观察窗结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，延伸件位于主腔体内并与安装架连接，安装架具有第一通孔，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能，真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件反射后穿过第一通孔到达外层玻璃进入人眼，延伸件阻挡坩埚内蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔；可变光及低成本视窗还包括支架和偏振镜，支架设置在外层玻璃的外侧，支架从里到外包括圆环部和圆弧部，圆环部与腔体门固定，圆环部的外表面上固定有圆弧部，圆弧部设置在圆环部的中下部，圆弧部的内侧具有圆弧状的凹陷部，偏振镜放置在支架的凹陷部内。偏振镜放置在支架的凹陷部内。偏振镜放置在支架的凹陷部内。

【技术实现步骤摘要】
一种可变光及低成本视窗


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种可变光及低成本视窗。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。
[0003]在镀膜的过程中，可以通过视窗目视观察真空蒸镀机的主腔体内的运行状况，坩埚内蒸镀材料的情况、镀锅的回转情况、加热灯的状态等。目前的真空蒸镀机的视窗从外向内包括把手、回转轴、外层玻璃、回转玻璃，回转玻璃跟着回转轴同步旋转，然后通过防着板上的观察孔观察真空蒸镀机的腔体内的情况。由于回转玻璃对着观察孔的地方会被镀膜，下一次观察的时候将回转玻璃没有被镀膜的地方对着观察孔进行观察，应用几次之后回转玻璃被全部镀膜没法再进行观察，就需要经常更换腔体门内的回转玻璃。本申请人提供了一种与现有技术完全不同的视窗，没有因镀膜而需要更换的部件，成本低，针对真空蒸镀机的主腔体内大部分时候光强比较强，人眼通过现有技术的视窗直接观察容易引起眼部的不适，还有一部分时候主腔体内的光强比较弱，人眼通过现有技术的视窗观察看不清楚主腔体内的情况，本申请人进一步优化了视窗结构，使得该视窗结构还能够对真空蒸镀机的主腔体内发出的光线进入人眼时进行调光。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于，提供一种可变光及低成本视窗，能够对真空蒸镀机的主腔体内发出的光线进入人眼时进行调光，并且成本低。
[0005]本申请的可变光及低成本视窗，在外层玻璃的外侧增加了支架和偏振镜，圆环部与腔体门固定，圆环部的外表面上固定有圆弧部，圆弧部设置在圆环部的中下部，圆弧部的内侧具有圆弧状的凹陷部，偏振镜放置在支架的凹陷部内，并且两个圆弧部之间优选具有间隙，通过间隙能够用人手向上托起偏振镜从而取出偏振镜，偏振镜包括两个平行设置的偏振镜片，旋转其中的一个偏振镜片从而调节该偏振镜片的角度，达到消除眩光、增强饱和度的目的；旋转另一个偏振镜片，可以调整进光量，获得强弱不同的减光效果，具有调光、减光的双重效果，能够在主腔室内的亮度高时减弱进入人眼的光强，在主腔室内的亮度低时增强进入人眼的光强。本申请人在此基础上完成了本申请。
[0006]一种可变光及低成本视窗，所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述视窗从外向内包括：外层玻璃1、安装架2和延伸件3，所述外层玻璃1和安装架2固定在腔体门上，延
伸件3位于主腔体内并与安装架2连接，延伸件3与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架2具有第一通孔21，延伸件3有两个，两个延伸件3上下设置在第一通孔21的上下两边，延伸件 3中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件3反射后穿过第一通孔21到达外层玻璃1进入人眼，延伸件3阻挡坩埚内蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔21；其特征在于，所述可变光及低成本视窗还包括支架4和偏振镜5，支架4设置在外层玻璃1的外侧，支架4从里到外包括圆环部41和圆弧部42，圆环部41与腔体门固定，圆环部41的外表面上固定有圆弧部42，圆弧部42设置在圆环部41的中下部，圆弧部42的内侧具有圆弧状的凹陷部421，偏振镜5放置在支架4的凹陷部421内。
[0007]在一些实施方式中，所述外层玻璃1固定在腔体门通孔相对应的位置，外层玻璃1固定在腔体门通孔外侧的腔体门外壁上、或者固定在腔体门通孔内侧的腔体门内壁上、或者固定在腔体门通孔的内部；可变光及低成本视窗还包括中空固定件6，中空固定件6用于将外层玻璃1与腔体门固定，中空固定件6通过与腔体门固定，中空固定件6的中空部分的形状与外层玻璃1 的形状相同。
[0008]进一步的，所述支架4设置在腔体门外壁的外侧，圆环部41的内直径小于等于外层玻璃1的直径，所述圆环部41上具有多个螺丝孔，通过螺丝将圆环部41与腔体门外壁或者中空固定件6固定。
[0009]在一些实施方式中，所述圆弧部42为一个整体，或者为两个圆弧部42 组成，两个圆弧部42之间具有或者不具有间隙。优选的，圆弧部42为两个圆弧部42组成，两个圆弧部42之间具有。
[0010]进一步的，所述凹陷部421的厚度大于偏振镜5的厚度并小于圆弧部42 的厚度，所述圆弧部42的内直径和外直径与圆环部41的内直径和外直径相同。
[0011]进一步的，所述圆弧部42的圆弧角度为45
‑
80度，两个圆弧部42之间具有间隙并且间隙的长度小于偏振镜5的直径，所述间隙的设置方便用手向上托起偏振镜5从而取出偏振镜5，所述凹陷部421的深度为2
‑
5mm。
[0012]在一些实施方式中，偏振镜5为圆形，真空蒸镀机的主腔室内的亮度高时通过偏振镜5减弱进入人眼的光强，所述主腔室内的亮度低时通过偏振镜 5增强进入人眼的光强。所述偏振镜5是根据光线的偏振原理制造的镜片，用来排除和滤除光束中的散射光线，能够减少外层玻璃1和延伸件3的偏振光，达到99％的偏光消除效果。
[0013]进一步的，所述偏振镜5包括两个平行设置的偏振镜片，旋转其中的一个偏振镜片从而调节该偏振镜片的角度，达到消除眩光、增强饱和度的目的；旋转另一个偏振镜片，可以调整进光量，获得强弱不同的减光效果，具有调光、减光的双重效果。
[0014]在一些实施方式中，所述安装架2还包括腔体门固定部22和延伸件固定部23，第一通孔21设置在腔体门固定部22上，腔体门固定部22与腔体门固定，延伸件固定部23位于主腔体内并且与延伸件3连接。
[0015]进一步的，所述延伸件固定部23与延伸件3通过螺丝或螺钉连接固定，通过调整螺丝或螺钉的松紧，使得能够通过外力调整延伸件3的倾斜角。
附图说明
[0016]结合以下附图一起阅读时，将会更加充分地描述本申请内容的上述和其他特征。
可以理解，这些附图仅描绘了本申请内容的若干实施方式，因此不应认为是对本申请内容范围的限定。通过采用附图，本申请内容将会得到更加明确和详细地说明。
[0017]图1为本申请的可变光及低成本视窗与腔体门的结构示意图。
[0018]图2为本申请的可变光及低成本视窗与腔体门的另一结构示意图。
[0019]图3为本申请的可变光及低成本视窗的爆炸图。
[0020]图4为本申请实施例1的可变光及低成本视窗的支架的结构示意图。
[0021]图5为本申请实施例1的可变光及低成本视窗的偏振镜的结构示意图。
[0022]主要元件符号说明：
[0023]外层玻璃1、安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可变光及低成本视窗，所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述视窗从外向内包括：外层玻璃(1)、安装架(2)和延伸件(3)，所述外层玻璃(1)和安装架(2)固定在腔体门上，延伸件(3)位于主腔体内并与安装架(2)连接，延伸件(3)与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架(2)具有第一通孔(21)，延伸件(3)有两个，两个延伸件(3)上下设置在第一通孔(21)的上下两边，延伸件(3)中的一个或者两个具有反射功能，真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件(3)反射后穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)进入人眼，延伸件(3)阻挡坩埚内蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔(21)；其特征在于，所述可变光及低成本视窗还包括支架(4)和偏振镜(5)，支架(4)设置在外层玻璃(1)的外侧，支架(4)从里到外包括圆环部(41)和圆弧部(42)，圆环部(41)与腔体门固定，圆环部(41)的外表面上固定有圆弧部(42)，圆弧部(42)设置在圆环部(41)的中下部，圆弧部(42)的内侧具有圆弧状的凹陷部(421)，偏振镜(5)放置在支架(4)的凹陷部(421)内。2.如权利要求1所述的可变光及低成本视窗，其特征在于，所述外层玻璃(1)固定在腔体门通孔相对应的位置，外层玻璃(1)固定在腔体门通孔外侧的腔体门外壁上、或者固定在腔体门通孔内侧的腔体门内壁上、或者固定在腔体门通孔的内部；可变光及低成本视窗还包括中空固定件(6)，中空固定件(6)用于将外层玻璃(1)与腔体门固定，中空固定件(6)通过与腔体门固定，中空固定件(6)的中空部分的形状与外层玻璃(1)的形状相同。3.如权利要求2所述的可变光及低成本视窗，其特征在于，所述支架(4)设置在腔体门外壁的外侧，圆环部(41)的内...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：