修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法技术

本发明专利技术公开了一种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法，其包括以下步骤：在该半导体的电压输入引脚上加测试工作电压Ｖ↓［ＣＣ］，信号输入引脚输入测试控制信号；测量信号输出引脚实际输出电流Ｉ↓［ｏｕｔ］；测量该外接电阻引脚到地的电压Ｖ↓［ｒｅｆ］及该接地引脚到地的电压Ｖ↓［ＧＮＤ］；用所测电压Ｖ↓［ｒｅｆ］或其平均值和Ｖ↓［ＧＮＤ］对实际输出电流Ｉ↓［ｏｕｔ］进行修正，从而得到测试修正后电流Ｉ↓［修正］的值。因此，在不需测出接触电阻的阻值的情况下，可有效解决因接触电阻而导致的信号输出引脚输出测试电流偏离实际值的问题，提高测试的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种半导体测试的方法，尤其涉及一种测试半导体引脚输出 电流的方法。
技术介绍
在半导体制程中，通常会使用测试仪器对每个被测半导体的参数进行测 试，以确定是否合格。现有测试中，测试夹具将^l测半导体待测量的引脚直 接固定在测试仪器上，将电流或电压及控制信号等用于测试的信号输入到该 半导体，然后测量该半导体对于此输入信号的响应。这种测_〖式的弊端在于，测试时没有考虑到接触电阻的存在，因此容易导 致测量的值偏离真实值，从而容易导致测量的失真。具体来讲，在半导体的 中测或成测时，该半导体的引脚一般是通过夹具与测量仪器连接，从而直接 导致接触电阻的产生。而且该接触电阻随接触压力的不同而不同，此外，该 接触电阻还与连接的$ j脚接触面、夹具的压持面以及与该引脚接触面对接的 接触面的粗糙程度有关，因此，接触电阻通常不能给出具体的指标。另外，由于半导体一般在弱电条件下工作，输入、输出的电流、电压的 值比较小，以上所述的微小接触电阻可能会大大影响测试的准确性，从而让本来合格的半导体因不准确的测试最终成为废品；而让不合格的半导体成为 合格产品。如果是后者，将给后续使用该半导体的产品带来不良影响，甚至 直接毁坏使用该半导体的产品。于2004年3月17日公开的中国专利技术专利第02136968.2号，名称为检 测探针接触电阻的测试结构与方法中，提供了 一种中测时测量探针接触电阻 的结构和方法。该探针接触电阻的检测结构包括第一焊垫、第二焊垫、第 三焊垫、第一金属导线和第二金属导线。该第一金属导线连接该第一焊垫与 该第二焊垫，其阻值为Rbl;该第二金属导线连接该第二焊垫与该第三焊垫, 其阻值为Rb2。该探针接触电阻检测方法包括步骤测量该第一焊垫与该第 三焊垫间的第一电阻值Rl;测量该第一焊垫与该第二焊垫间的第二电阻值 R2;测量该第二焊垫与该第三焊垫间的第三电阻值R3;由该第一电阻值R1、第二电阻值R2 、第三电阻值R3与该探针接触电阻值Ra的 一特定关系式 Rbl+Rb2+2Ra=Rl; Rbl+2Ra=R2; Rb2+2Ha-R3;可求得探针接触电阻Ra的值 Ra= ( R2 + R3陽Rl ) /2 。可藉由得到的该接触电阻值来选择可接受的被测参数的合格范围，以减 小才笨针接触电阻对测试准确性的影响。但是，该方法需要增加较多元件才能 实现，从而加大了测试的复杂度；在检测的接触电阻的过程中，由于较多元 件的引入可能会《1入新的测量误差；而且该方法只能用于中测。有鉴于此，提供一种克服以上缺陷的修正半导体引脚测试电压来校正输 出电流的方法成为目前有待解决的技术课题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的 方法，不需测出接触电阻的阻值，即可有效解决因接触电阻而导致的信号输 出《1脚输出测试电流偏离实际值的问题，提高测试的准确性。为了达到上述目的，提供修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方 法，该半导体包括电压输入引脚、信号输入引脚、外接电阻引脚、信号输出 引脚和接地引脚，该外接电阻引脚通过参考电阻R加接地。该方法包括以下 步骤在该半导体的电压输入引脚上加测试工作电压Vc(.,信号输入引脚输入 测试控制信号；测量信号输出引脚实际输出电流I福；测量该外接电阻引脚到地的电压V' ref及该接地引脚到地的电压VGND ;用所测电压V ' ,.ef和V〔;ND对 实际输出电流I' 。ut进行修正，修正公式为<formula>formula see original document page 5</formula>通过该修正公式得到测试修正后输出电流I修m的值。与现有技术相比，本专利技术提供的修正半导体引脚测试电压来校正输出电 流的方法，用外接电阻引脚到地的电压V ref及接地引脚到地的电压VGND对 实际输出的电流I'out进行修正，从而在无须测出接触电阻的阻值的情况下， 对每个被测器件的测试结果进行修正，进而有效解决闺接触电阻而导致的测 试准确性下降的问题，从而提高测试的准确性。7说明书第3/9页此外，还提供另 一种修正半导体S j脚测试电压来校正输出电流的方法， 该半导体包括电压输入引脚、信号输入引脚、外接电阻引脚、信号输出引脚 和接地引脚，该外接电阻引脚通过参考电阻Rext接地。该方法包括以下步骤在该半导体的电压杀命入引脚上加测试工作电压vcc,信号输入引脚输入测试 控制信号；测量信号输出引脚实际输出电流I。ut ;测量该外接电阻引脚到地 的电压V'ref(n);计算出该测量电压V'ref(n)经过n次测量的平均值v' f (AVQ) = vref(i)+vref(2)+A +v:ef(n).测量该接地引脚到地的电压VGND ;用测得的电压VGND及计算出的电压 V'ref (n)的平均值Vref (AVG)对实际输出电流I'。ut进行修正，根据公式<formula>formula see original document page 6</formula>通过该修正公式得出测试修正后输出电流I修正的值。与现有4支术相比，这种，其通过测量前n次外接电阻引脚到地的电压V'ref (n),计算出的电压V ret'(n)的 平均值V:ef(AVG),对于之后的测试，不在测量Vw(n),而是用该平均值V:ef(AVG)及测得的电压V^。对实际输出电流I。ut进行修正。因此，也可以在无须测出接触电阻的阻值的情况下，对每个被测器件的测试结果进行修正，进而有效解决因接触电阻而导致的测试准确性下降的问题；并且这种方法可大大简化测试搡作，提高测试效率，同时也确保测试的准确性。附图说明图1是本专利技术第一实施例中芯片成测时理想状态下测试电路原理图。图2是本专利技术第 一实施例中芯片成测时考虑到接触电阻的影响时测试电路原理图。图3是本专利技术第一实施例和第二实施例中输入测试控制信号及输出信号的时序图。图4是本专利技术第 一 实施例中修正芯片成测时引脚测;试电压方法的流程图。 图5、图6、图7是本专利技术第一实施例中芯片成测时分别在接触电阻为0.5 欧姆、l欧姆、2欧姆的情况下实验结果的数据图表。图8是本专利技术第二实施例中修正芯片成测时引脚测试电压方法的流程图。 图9是本专利技术第一实施例和第二实施例成测时两种不同修正方法实验数据。图10是本专利技术第三实施例和第四实施例中测时两种不同修正方法实验数据。具体实施方式以下结合附图对本专利技术进行详细说明。一般而言，半导体，特别是芯片产品在制造过程中，为了提前避免废品的 发生，需要对用于该产品的晶圆以及将该晶圆封装后的成品进行两次测试， 也即中测和成测，从而提前将不合格的晶圓或封装后的产品剔除，以避免其 用于系统或其他元件时带来更大损失。本专利技术第 一 实施例中提供一种第 一修正半导体引脚测试电压来校正输出 电流的方法，目的是为了解决在成测中因接触电阻而导致的测试准确性下降 的问题。用于成测的测试系统一般包括测试装置、适配装置和分选机，其中该测试装置通过该适配装置与该分选机连接；被测半导体一般为芯片。在本实施例中，该测试装置为北京新润泰思特测控技术有限公司生产的 型号BC3196D的测试机台；该适配装置为北京中庆微公司生产的型号TB9729 的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法，该半导体包括电压输入引脚、信号输入引脚、外接电阻引脚、信号输出引脚和接地引脚，该外接电阻引脚通过参考电阻Ｒ↓［ｅｘｔ］接地，该方法包括以下步骤：在该半导体的电压输入引脚上加测试工作电压 Ｖ↓［ＣＣ］，信号输入引脚输入测试控制信号；测量信号输出引脚实际输出电流Ｉ′↓［ｏｕｔ］；其特征在于：该方法还包括测量该外接电阻引脚到地的电压Ｖ′↓［ｒｅｆ］及该接地引脚到地的电压Ｖ↓［ＧＮＤ］；用所测电压Ｖ′↓［ｒ ｅｆ］和Ｖ↓［ＧＮＤ］对实际输出电流Ｉ′↓［ｏｕｔ］进行修正，修正公式为：Ｉ↓［修正］＝Ｉ′↓［ｏｕｔ］×（１－Ｖ↓［ＧＮＤ］／Ｖ′↓［ｒｅｆ］）；根据该修正公式得到测试修正后电流Ｉ↓［修正］的值。

【技术特征摘要】
1. 一种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法，该半导体包括电压输入引脚、信号输入引脚、外接电阻引脚、信号输出引脚和接地引脚，该外接电阻引脚通过参考电阻Rext接地，该方法包括以下步骤在该半导体的电压输入引脚上加测试工作电压VCC，信号输入引脚输入测试控制信号；测量信号输出引脚实际输出电流I′out；其特征在于该方法还包括测量该外接电阻引脚到地的电压V′ref及该接地引脚到地的电压VGND；用所测电压V′ref和VGND对实际输出电流I′out进行修正，修正公式为id=icf0001 file=A2007100639610002C1.gif wi=47 he=11 top= 107 left = 38 img-content=drawing img-format=tif orientation=portrait inline=no/>根据该修正公式得到测试修正后电流I修正的值。2. —种修正半导体引脚测试电压来校正输出电流的方法，该半导体包括电 压输入引脚、信号输入引脚、外接电阻引脚、信号输出引脚和接地引脚，该外接电阻引脚通过参考电阻R ext接地，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵寅亮，
申请(专利权)人：北京巨数数字技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]