本实用新型专利技术的课题在于在狭缝喷嘴及包括所述狭缝喷嘴的基板处理装置中，能够在吐出口的中央部与端部之间有效率地进行用于使吐出量均匀化的作业。本实用新型专利技术的狭缝喷嘴包括：喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙地相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整吐出口的开口宽度，在一对唇部中的至少一个中，在与和另一个唇部相向的相向面为相反侧的面上与吐出口的长边方向平行地设置有槽，调整机构通过以增减喷嘴本体中的隔着槽而相向的部位的间隔的方式使喷嘴本体变形来调整开口宽度。槽在与吐出口在长边方向上的端部对应的位置处，比在与吐出口在长边方向上的中央部对应的位置处深。对应的位置处深。对应的位置处深。
Slit nozzle and substrate processing device
【技术实现步骤摘要】
狭缝喷嘴以及基板处理装置
[0001]本技术涉及一种具有狭缝状的吐出口的狭缝喷嘴、以及使用所述狭缝喷嘴将处理液涂布在基板上的基板处理装置。再者，所述基板包括：半导体基板、光掩模用基板、液晶显示用基板、有机电致发光(Electroluminescence，EL)显示用基板、等离子体显示用基板、场发射显示器(Field Emission Display，FED)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、磁光盘用基板等。
技术介绍
[0002]在半导体装置或液晶显示装置等电子元件等的制造步骤中，使用对基板的表面供给处理液，并将所述处理液涂布在基板上的基板处理装置。某基板处理装置一面在使基板浮起的状态下搬送所述基板，一面将处理液输送至狭缝喷嘴并自狭缝喷嘴的吐出口朝基板的表面吐出，而将处理液涂布在大致整个基板上。另外，另一种基板处理装置一面在平台上吸附保持基板，一面在自狭缝喷嘴的吐出口朝基板的表面吐出处理液的状态下，使狭缝喷嘴相对于基板进行相对移动来将处理液涂布在大致整个基板上。
[0003]近年来，伴随对制品的高品质化的要求，提高通过基板处理装置来涂布的处理液的膜厚的均匀性变得重要。为了所述目的，提出有一种用于可在沿着狭缝的长边方向上的各位置处，个别地调整狭缝状的吐出口的开口尺寸的结构。
[0004]例如，在日本专利特开2008
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246280号公报(专利文献1)中，作为将两个构件组合并将它们之间的间隙设为吐出口的结构中的调整机构，公开有将差动螺丝在长边方向上排列多个的现有的结构(图8)、以及与将其中一个构件在长边方向上分割，并能够在吐出口的中央部与端部进行独立的间隙调整的技术相关的结构(图2)。
[0005]另外，例如，在日本专利特开2015
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066537号公报(专利文献2)、日本专利第4522726 号公报(专利文献3)中，两个喷嘴本体以彼此相向的方式组合，由此在两者的间隙中形成流体的流路及吐出口。在两者之间夹入有薄板状的垫片板(有时也简称为“垫片”)。两个喷嘴本体通过贯通垫片板地插通的螺丝(螺栓)而相互结合。螺栓沿着吐出口的长边方向呈列状配置，通过增减这些螺栓的紧固量，能够在长边方向上的各位置处各别地调整吐出口的开口宽度。
技术实现思路
[0006][技术所要解决的问题][0007]就电子元件的微细化或材料的有效利用等观点而言，关于涂布的均匀性，要求比目前为止更高的水平。因此，在吐出口的横跨长边方向的整个区域中，需要极细致地调整吐出量。因此，对于所述现有技术，期望进一步改善。特别是，在吐出口在长边方向上的中央部附近与端部附近，即便使吐出口的开口宽度以相同的方式变化，吐出量的变化也未必相同。即，吐出量相对于开口宽度的调整的响应灵敏度在吐出口的中央部与端部不同。因此，使吐出量自吐出口的中央部到端部均匀地一致的微调整的作业容易变得繁杂。
[0008][解决问题的技术手段][0009]本技术是鉴于所述问题而成，其目的在于提供一种在具有狭缝状的吐出口的狭缝喷嘴及包括所述狭缝喷嘴并将处理液涂布在基板上的基板处理装置中，可在吐出口的中央部与端部之间有效率地进行用于使吐出量均匀化的作业的技术。
[0010]为了实现所述目的，本技术的狭缝喷嘴的一实施例包括：喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使所述一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整所述吐出口的开口宽度，且在所述一对唇部中的至少一个，在与和另一个所述唇部相向的相向面为相反侧的面上，设置有沿着与所述吐出口的长边方向平行的方向上的槽，所述调整机构通过以增减所述喷嘴本体中的隔着所述槽而相向的部位的间隔的方式使所述喷嘴本体变形来调整所述开口宽度，所述槽在与所述吐出口在所述长边方向上的端部对应的位置处，比在与所述吐出口在所述长边方向上的中央部对应的位置处深。
[0011]为了实现所述目的，本技术的狭缝喷嘴的另一实施例包括：喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使所述一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整所述吐出口的开口宽度，且在所述一对唇部中的至少一个，在与和另一个所述唇部相向的相向面为相反侧的面上，设置有沿着与所述吐出口的长边方向平行的方向上的槽，所述调整机构通过以增减所述喷嘴本体中的隔着所述槽而相向的部位的间隔的方式使所述喷嘴本体变形来调整所述开口宽度，所述槽的底部与所述相向面之间的所述唇部的壁厚在与所述吐出口在所述长边方向上的端部对应的位置处，比在与所述吐出口在所述长边方向上的中央部对应的位置处小。
[0012]在如此构成的技术中，唇部相对于为了使唇部变形而施加的力的变形量在端部比在长边方向上的中央部大。其理由如下那样，在第一实施例中，槽在端部比中央部深。另外，在第二实施例中，唇部的壁厚在端部比中央部小。因此，在任一实施例中，喷嘴本体相对于要变形的力的挠曲量均在端部比中央部大。因此，为了增减吐出口的开口宽度，在调整机构使用于使喷嘴本体变形的力作用于喷嘴本体时，与相同大小的力对应的吐出口的开口宽度的变形量在端部比中央部大。
[0013]另一方面，在自狭缝喷嘴吐出液体时，难以在吐出口的长边方向的整个区域实现均匀的吐出量，特别是在吐出口的中央部附近与端部附近，有时吐出量会产生差别。更具体而言，在吐出口的端部附近，因与吐出口周围的喷嘴内壁的摩擦的影响等，对流体流通的阻力变大，以此为原因之一，比中央部吐出量容易变小。换句话说，与吐出口的开口宽度的调整量对应的吐出量的变化量在端部附近比吐出口的中央部灵敏度低。因此，用于在吐出口在长边方向上的整个区域均匀地调整吐出量的作业容易变得繁杂。
[0014]因此，为了在吐出口的中央部与端部使吐出量相对于用于调整其开口宽度的机械输入的变动量同等，可以说优选使开口宽度相对于机械输入的变化量在端部比中央部大。本技术的结构可使开口宽度的变化相对于相同机械输入的灵敏度在端部比中央部高，从而适合于所述目的。
[0015]另外，本技术的狭缝喷嘴的另一实施例是具有呈狭缝状开口的吐出口及与所述吐出口连通的流体的流路，为了实现所述目的，所述狭缝喷嘴包括：第一本体部及第二本体部，分别具有隔着间隙而相互相向的平坦面，在所述间隙中形成所述流路及所述吐出口；
薄板状的间隔件构件，通过夹入于所述第一本体部与所述第二本体部之间，规定所述间隙的大小并且堵塞所述吐出口以外的所述流路的周围的所述间隙；以及结合部，隔着所述间隔件构件而将所述第一本体部与所述第二本体部加以结合。此处，所述间隔件构件具有沿着所述吐出口的长边方向自与所述吐出口的其中一个端部对应的位置连续地延伸到与另一个端部对应的位置为止的带状部位，所述带状部位的主表面中与所述平坦面抵接的抵接面的宽度在与所述吐出口在所述长边方向上的两端部对应的端部区域，小于比所述端部区域更靠内侧的中央区域。
[0016]在如此构成的技术中，间隔件构件介隔于第一本体与第二本体部之间并与各自的平坦面抵接，由此规定两本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种狭缝喷嘴，其特征在于，包括：喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使所述一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整所述吐出口的开口宽度，且在所述一对唇部中的至少一个，在与和另一个所述唇部相向的相向面为相反侧的面上，设置有沿着与所述吐出口的长边方向平行的方向上的槽，所述调整机构通过以增减所述喷嘴本体中的隔着所述槽而相向的部位的间隔的方式使所述喷嘴本体变形来调整所述开口宽度，所述槽在与所述吐出口在所述长边方向上的端部对应的位置处，比在与所述吐出口在所述长边方向上的中央部对应的位置处深。2.一种狭缝喷嘴，其特征在于，包括：喷嘴本体，通过一对唇部隔开间隙相互相向，形成呈狭缝状开口的吐出口；以及调整机构，使所述一对唇部相对地向接近方向及分离方向位移来调整所述吐出口的开口宽度，且在所述一对唇部中的至少一个，在与和另一个所述唇部相向的相向面为相反侧的面上，设置有沿着与所述吐出口的长边方向平行的方向上的槽，所述调整机构通过以增减所述喷嘴本体中的隔着所述槽而相向的部位的间隔的方式使所述喷嘴本体变形来调整所述开口宽度，所述槽的底部与所述相向面之间的所述唇部的壁厚在与所述吐出口在所述长边方向上的端部对应的位置处，比在与所述吐出口在所述长边方向上的中央部对应的位置处小。3.根据权利要求1或2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，在自与所述吐出口在所述长边方向上的其中一个端部对应的位置到与另一个端部对应的位置之间，所述槽的深度呈多阶段地变化。4.根据权利要求1或2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，在自与所述吐出口在所述长边方向上的其中一个端部对应的位置到与另一个端部对应的位置之间，所述槽的深度连续地变化。5.根据权利要求1或2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述调整机构包括调整螺丝，所述调整螺丝跨越所述槽而设置于所述喷嘴本体，通过拧入量的增减来使所述槽的宽度变化，多个所述调整螺丝沿着所述长边方向排列。6.根据权利要求5所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述多个调整螺丝的排列间距在与所述吐出口在所述长边方向上的端部对应的位置处，比在与所述吐出口在所述长边方向上的中央部对应的位置处小。7.根据权利要求5所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述槽及所述调整螺丝与所述一对唇部分别对应地设置，在设置于所述一对唇部中的其中一个所述唇部的所述调整螺丝与设置于另一个所述唇部的所述调整螺丝之间，所述长边方向上的配设位置互不相同。8.根据权利要求6所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述槽及所述调整螺丝与所述一对唇部分别对应地设置，在设置于所述一对唇部中的其中一个所述唇部的所述调整螺丝与设置于另一个所述唇部的所述调整螺丝之间，所述长边方向上的配设位置互不相同。9.根据权利要求1或2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述槽及所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：安陪裕滋，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：新型
国别省市：
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