多层膜反射镜及制法、光学系统、曝光装置及元件的制法制造方法及图纸

本发明专利技术的多层膜反射镜（２）包括基板（４）及多层膜（６），多层膜（６）具有第１材料层（６ａ）及第２材料层（６ｂ）交替地成膜在上述基板表面上的构造。上述多层膜表面附近的上述第１材料层在面内具有厚度的分布，其中，上述多层膜反射镜（２）含有：中间层（７），其是成膜在上述多层膜表面上的Ｓｉ层或含有Ｓｉ之层，上述中间层表面所处的位置与上述多层膜的上述第２材料层表面所处的位置大致相同；及覆盖层（８），其均匀地成膜在上述中间层的表面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种多层膜反射镜，其包括基板、及构造上是第１材料层及第２材料层交替成膜在上述基板表面上的多层膜，上述多层膜表面附近的上述第１材料层在面内具有厚度上的分布，其特征为，此多层膜反射镜包括：中间层，其形成在上述多层膜表面上且为Ｓｉ层或含有 Ｓｉ之层，上述中间层的表面所处的位置与上述多层膜的上述第２材料层的表面所处的位置大致相同；以及覆盖层，其均匀地成膜在上述中间层的表面上。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：白石雅之，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：JP[日本]