有机电致发光显示器件及其制造方法技术

一种有机电致发光显示器件包括：基板；基板上的栅线、数据线、和电源线，栅线和数据线彼此交叉以限定像素区域，电源线与数据线平行并分离；连接到栅线和数据线的开关元件，开关元件包括开关栅极、开关有源层、开关源极和开关漏极；连接到开关元件的驱动元件，驱动元件包括驱动栅极、驱动有源层、驱动源极和驱动漏极；在开关元件和驱动元件上的第一钝化层，第一钝化层具有暴露驱动漏极的第一接触孔；在第一接触孔下的第一屏蔽图案，第一屏蔽图案包括与栅线相同的材料和相同的层；在第一钝化层上的第一电极，第一电极通过第一接触孔连接到驱动漏极；在第一电极上的有机电致发光层；以及在有机电致发光层上的第二电极。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种有机电致发光显示(ELD)器件，尤其是，涉及一种用于 有机电致发光显示器件的阵列基板，及其制造方法。
技术介绍
作为平板显示器的一个类型的有机电致发光显示(ELD)器件，是自发光 型显示器。通常，有机ELD器件通过从阴极注入电子进入发射层和从阳极注 入空穴进入发射层，结合电子与空穴，产生电子空穴对，并将电子空穴对从激 发态转变为基态而发光。因此，有机ELD器件不需要附加光源并具有轻重量， 薄外形，以及紧凑的尺寸。有两种类型的有机ELD器件无源矩阵型和有源矩阵型。虽然无源矩阵 有机ELD器件和有源矩阵有机ELD器件都具有简单结构并通过简单制造过程 形成，无源矩阵有机ELD器件需要相对高的功率驱动。此外，无源矩阵有机 ELD器件的显示器尺寸被其结构限制。而且，随着导电线的数目增加，无源 矩阵有机ELD器件的孔径比减小。与此相反，有源矩阵有机ELD器件是高效 率的，并可以相对小的功率对于大显示器产生高质量图像。图1是根据现有技术的底部发射型有机电致发光显示器件的截面图。在图 1中，有机ELD器件1包括通过密封剂15彼此粘接并间隔开的第一和第二基 板10和5。包括薄膜晶体管(TFT) T的阵列元件层14形成在第一基板10上。 此外，第一电极70，有机电致发光(EL)层85和第二电极90被顺序形成在 阵列元件层14上。第一电极70形成在每个像素区域P中，并且有机EL层85 分别在每个像素区域P中显示红色，绿色，和蓝色。用于不同颜色的有机EL 层85可以由与颜色对应的不同材料形成。有机ELD器件1通过用密封剂15粘接第一基板10和第二基板5而封装。 第二基板5包括湿气吸收剂材料9以除去可能渗入有机EL层85的湿气和氧 气。在蚀刻部分第二基板5之后，被蚀刻部分用吸收剂材料9填充，并且被填 充的吸收剂材料9用带7固定。因为第一电极70由透明导电材料形成，来自 有机EL层85的光通过第一电极70在有机ELD器件1的底部出射。图2是用于根据现有技术的有机电致发光显示器件的阵列基板的平面图。 在图2中，栅线20，数据线30和电源线31被形成在基板10上。栅线20与 数据线30交叉，以限定像素区域P，并且电源线31与数据线30平行并分离。 开关元件Ts连接到栅线20和数据线30，并且驱动元件Td连接到开关元件 Ts。开关元件Ts包括第一栅极25，第一有源层40a，第一欧姆接触层(未示 出)，第一源极32a和第一漏极34a。此外，驱动元件Td包括第二栅极26， 第二有源层40b，第二欧姆接触层(未示出)，第二源极32b和第二漏极34b。 部分数据线30和电源线31可分别用作第一和第二源极32a和32b。在像素区 域P中的透明第一电极70通过第一接触孔CH1连接到第二漏极34b。进一步， 透明连接线75通过第二接触孔CH2连接到第一漏极34a,并通过第三接触孔 CH3连接到第二栅极26，由此连接第一漏极34a和第二栅极26。图3是沿图2的III- III线提取的截面图。在图3中，栅绝缘层45形成在 第二栅极26上。第二有源层40b和第二欧姆接触层41b顺序形成在栅绝缘层 45上，并且第二源极和漏极32b和34b被形成在第二欧姆接触层41b上。第 二源极和漏极32b和34b彼此分离，并且通过第二源极和漏极32b和34b之间 的间隔暴露第二有源层40b。具有第一接触孔CH1的第一钝化层65形成在第二源极和漏极32b和34b 上，并且滤色片层78形成在第一钝化层65上。虽然未在图3中示出，滤色片 层78包括分别与(图2的)像素区域P对应的红色，绿色和蓝色滤色片。连 接到第二漏极34b的透明第一电极70形成在滤色片层78上，并且第二钝化层 66形成在第一电极70上。第二钝化层66具有第四接触孔CH4，其暴露与第 一接触孔CH1相应的第一电极70。有机EL层85形成在第一电极70上，并 且第二电极90形成在有机EL层85上。第二源极和漏极32b和34b和数据线30由金属材料形成，例如，钼(Mo)。 当第一钝化层65被构图以形成第一接触孔CH1，对应于第一接触孔CH1的第二漏极34b也被去除。因此，第一电极70接触第二漏极34b和对应于第一接 触孔CH1的基板10的侧面。因此，来自对应于第一接触孔CH1的有机EL层 85的光通过第一电极70出射。因为对应于第一接触孔CH1的光不通过滤色 片层78，对应于第一接触孔CH1的光引起漏光。此外，第二漏极34b可以被 过度蚀刻，以形成悬突结构(overhang structure),在那里第二漏极34b不通 过第一接触孔CH1暴露，或栅绝缘层可以被蚀刻以在第一接触孔CH1的侧表 面产生阶梯差。因此，当第一电极70形成在第一钝化层65上时，因为悬突结 构第一电极70不能接触第二漏极34b，或第一电极70可能被破坏以导致在开 关元件Ts和驱动元件Td之间的电气开口 。
技术实现思路
因此，本专利技术涉及一种，其基本上 避免了由于现有技术的局限性和缺点导致的一个或多个问题。本专利技术的一个目的在于提供一种有机电致发光显示器件，其通过在接触 孔防止漏光而具有改进的显示质量。本专利技术的另一目的在于提供一种有机电致发光显示器件，其由于屏蔽图 案而具有可靠的接触特性。本专利技术的其他特点和优点将在以下说明中阐明，并且一部分将从以下说 明中明了，或从本专利技术的实践了解。本专利技术的目的和其他优点可以通过此处所 写说明和权利要求及其附图中特别指出的结构实现和获得。为实现这些和其他优点，根据本专利技术的目的，如此处具体化和宽泛地说 明， 一种有机电致发光显示器件包括基板；基板上的栅线、数据线、和电源 线，栅线和数据线彼此交叉以限定像素区域，电源线与数据线平行并分离；连 接到栅线和数据线的开关元件，开关元件包括开关栅极、开关有源层、开关源 极和开关漏极；连接到开关元件的驱动元件，驱动元件包括驱动栅极、驱动有 源层、驱动源极和驱动漏极；在开关元件和驱动元件上的第一钝化层，第一钝 化层具有暴露驱动漏极的第一接触孔；在第一接触孔下的第一屏蔽图案，第一 屏蔽图案包括和栅线相同的材料和相同的层；在第一钝化层上的第一电极，第 一电极通过第一接触孔连接到驱动漏极；在第一电极上的有机电致发光层；以 及在有机电致发光层上的第二电极。在另一方面， 一种制造有机电致发光显示器件的方法，包括在基板上 形成栅线、开关栅极、驱动栅极和第一屏蔽图案，开关栅极连接到栅线；在栅 线、开关栅极、驱动栅极和第一屏蔽图案上形成栅绝缘层；在栅绝缘层上形成开关有源层和驱动有源层，开关有源层和驱动有源层分别对应于开关栅极和驱动栅极；在开关有源层上形成开关源极和开关漏极，在驱动有源层上形成驱动 源极和驱动漏极，以及在栅绝缘层上形成数据线，数据线与栅线交叉以限定像 素区域；在开关源极、开关漏极、驱动源极、驱动漏极和数据线上形成第一钝 化层，第一钝化层具有暴露驱动漏极的第一接触孔，第一接触孔设置在第一屏 蔽图案上；在第一钝化层上形成第一电极，第一电极通过第一接触孔连接到驱 动漏极；在第一电极上形成有机电致发光层；以及在有机电致发光层上形成第 二电极。需要理解的是本专利技术的上述一般说明和下面详细描述都是示例性和解释 性的，并且意图对所要求的本专利技术提供进一步解释。附图说明附图本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机电致发光显示器件，包括：基板；基板上的栅线、数据线、和电源线，其中栅线和数据线彼此交叉以限定像素区域，电源线与数据线平行并分离；连接到栅线和数据线的开关元件，其中开关元件包括开关栅极、开关有源层、开关源极和开关漏极；连接到开关元件的驱动元件，其中驱动元件包括驱动栅极、驱动有源层、驱动源极和驱动漏极；在开关元件和驱动元件上的第一钝化层，其中第一钝化层具有暴露驱动漏极的第一接触孔；在第一接触孔下的第一屏蔽图案，其中第一屏蔽图案包括和栅线相同的材料和相同的层；在第一钝化层上的第一电极，其中第一电极通过第一接触孔连接到驱动漏极；在第一电极上的有机电致发光层；以及在有机电致发光层上的第二电极。

【技术特征摘要】
KR 2007-3-26 10-2007-00290921.一种有机电致发光显示器件，包括基板；基板上的栅线、数据线、和电源线，其中栅线和数据线彼此交叉以限定像素区域，电源线与数据线平行并分离；连接到栅线和数据线的开关元件，其中开关元件包括开关栅极、开关有源层、开关源极和开关漏极；连接到开关元件的驱动元件，其中驱动元件包括驱动栅极、驱动有源层、驱动源极和驱动漏极；在开关元件和驱动元件上的第一钝化层，其中第一钝化层具有暴露驱动漏极的第一接触孔；在第一接触孔下的第一屏蔽图案，其中第一屏蔽图案包括和栅线相同的材料和相同的层；在第一钝化层上的第一电极，其中第一电极通过第一接触孔连接到驱动漏极；在第一电极上的有机电致发光层；以及在有机电致发光层上的第二电极。2. 根据权利要求1所述的器件，其特征在于，第一钝化层具有暴露开关 漏极的第二接触 L，所述器件进一步包括在第二接触孔下的第二屏蔽图案，第 二屏蔽图案包括与栅线相同的材料和相同的层。3. 根据权利要求2所述的器件，其特征在于，第一和第二屏蔽图案具有 岛形和从驱动栅极延伸的形状之一。4. 根据权利要求2所述的器件，其特征在于，进一步包括在第一屏蔽图 案和驱动漏极之间的第一缓冲图案，以及在第二屏蔽图案和开关漏极之间的第 二缓冲图案。5. 根据权利要求4所述的器件，其特征在于，第一和第二缓冲图案具有 与开关和驱动有源层相同的材料和相同的层。6. 根据权利要求2所述的器件，其特征在于，第一钝化层具有暴露驱动 栅极的第三接触孔，所述器件进一步包括在第一钝化层上的连接线，所述连接线通过第二接触孔连接到开关漏极并通过第三接触孔连接到驱动栅极。7. 根据权利要求1所述的器件，其特征在于，进一步包括 与数据线平行并分离的检测线；以及连接到检测线的检测元件，其中检测元件包括检测栅极、检测有源层、 检测源极和检测漏极。8. 根据权利要求7所述的器件，其特征在于，检测栅极、检测源极和检 测漏极被分别连接到栅线、电源线和检测线。9. 根据权利要求7所述的器件，其特征在于，检测元件输出反映驱动元 件的电气状态的电流。10. 根据权利要求7所述的器件，其特征在于，进一步包括从驱动栅极延伸的栅延伸线，其中第一接触孔被设置在栅延伸线上并且第一屏蔽图案包括 一部分栅延伸线。11. 根据权利要求1所述的器件，其特征在于，驱动源极和驱动漏极具 有指形。12. 根据权利要求1所述的器件，其特征在于，开关源极和开关漏极分别连接到数据线和驱动栅极，并且驱动源极连接到电源线。13. 根据权利要求1所述的器件，其特征在于，第一电极包括氧化铟锡 (ITO)和氧化铟锌(IZO)之一，并且第二电极包括铝(Al)，钙(Ca)和镁(Mg)之一。14. 根据权利要求1所述的器件，其特征在于，有机电致发光层包括 在第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴载映，申东秀，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]