【技术实现步骤摘要】
一种移动式坩埚组件
[0001]本技术专利技术涉及坩埚组件，主要应用于真空腔室。
技术介绍
[0002]在真空腔室中常采用坩埚作为蒸发器皿，以将待沉积材料蒸发；常规坩埚组件为固定位置进行加热；但常规的真空腔室，在对坩埚加热时，需同时启动真空泵以维持腔室真空，真空泵抽真空时产生的气流会影响坩埚蒸发材料的分布，使其不密度不均匀。另外，在材料蒸发过程中，也常需要实现多种材料的同时或依次蒸发以及在特定位置进行蒸发，以满足实际需要。现有的坩埚常为固定式，或者不易控制移动，局限其应用场景。
技术实现思路
[0003]一种移动坩埚组件，其设置于真空腔室中；其特征在于：移动坩埚组件包括坩埚、供电导轨，上支架，下支架，移动导轨；上支架、下支架分别将供电导轨、移动导轨固定于真空腔室壁上；坩埚包括本体，耳部，驱动装置，底槽，以及设置于本体中的加热构件；其中本体具有容纳腔，用于容纳样品；在本体的两侧设置有对称的两耳部，在本体底部设置有底槽，底槽上方设置有驱动装置；两耳部放置于供电导轨上，为坩埚的加热构件供电；移动导轨，其承载坩埚的底槽，以利用驱动装置驱动坩埚进行移动；供电导轨为双导轨，移动导轨为单导轨。
[0004]驱动装置为步进电机。
[0005]真空腔室底部设置有真空泵。
[0006]真空泵为分子真空泵。
[0007]真空腔室中，还包括支撑台，升降装置；升降装置用于驱动支撑台升降。
[0008]有益效果：提供一种移动式坩埚组件，其坩埚可根据实际需要进行移动，实现坩埚在真空腔室中移动...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种移动坩埚组件，其设置于真空腔室中；其特征在于：移动坩埚组件包括坩埚、供电导轨，上支架，下支架，移动导轨；上支架、下支架分别将供电导轨、移动导轨固定于真空腔室壁上；坩埚包括本体，耳部，驱动装置，底槽，以及设置于本体中的加热构件；其中本体具有容纳腔，用于容纳样品；在本体的两侧设置有对称的两耳部，在本体底部设置有底槽，底槽上方设置有驱动装置；两耳部放置于供电导轨上，为坩埚的加热构件供电；移动导轨，其承载坩埚的底槽，以利用...
【专利技术属性】
技术研发人员：李烨，崔华威，呼增，闫大顺，杨程程，邓文静，
申请(专利权)人：仲恺农业工程学院，
类型：新型
国别省市：
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