用于巨量转移的对位装置及方法、显示面板的背板制造方法及图纸

技术编号:31708725 阅读:11 留言:0更新日期:2022-01-01 11:11
本发明专利技术实施例公开一种用于巨量转移的对位装置及方法、显示面板的背板。该对位装置包括:控制器、阵列排布在背板上的第一压电结构和阵列排布在背板上的第二压电结构,其中,所述背板包括阵列排布的背板电极;所述控制器,用于向在第一方向上相邻的两个第一压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第一压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第一压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第一方向对位;所述控制器,还用于向在第二方向上相邻的两个第二压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第二压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第二压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第二方向对位,其中,所述第一方向与所述第二方向正交。与所述第二方向正交。与所述第二方向正交。

【技术实现步骤摘要】
用于巨量转移的对位装置及方法、显示面板的背板


[0001]本专利技术涉及显示
更具体地,涉及一种用于巨量转移的对位装置及方法、显示面板的背板。

技术介绍

[0002]对于例如MicroLed等显示面板,显示面板上包括若干个像素区域,每个像素区域包括若干个例如垂直结构的LED(发光二极管),在现有技术中,LED通常的制作方法是在生长衬底上进行外延生长,通过激光剥离使外延结构与生长衬底分离,并分割所述外延结构以形成单颗的LED,最后,将单颗的LED巨量转移到显示面板的背板上。专利技术人发现,现有的巨量转移方式容易出现位置偏差,LED电极与背板电极的对位精度较低,从而产生过多残次品,导致成本增高、产品合格率降低等问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种用于巨量转移的对位装置及方法、显示面板的背板,以解决现有技术存在的问题中的至少一个。
[0004]为达到上述目的,本专利技术采用下述技术方案:
[0005]本专利技术第一方面提供了一种用于巨量转移的对位装置,包括:控制器、阵列排布在背板上的第一压电结构和阵列排布在背板上的第二压电结构,其中,所述背板包括阵列排布的背板电极;
[0006]所述控制器,用于向在第一方向上相邻的两个第一压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第一压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第一压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第一方向对位;
[0007]所述控制器,还用于向在第二方向上相邻的两个第二压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第二压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第二压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第二方向对位,其中,所述第一方向与所述第二方向正交。
[0008]可选地,在第一方向上相邻的两个第一压电结构与所述相邻的两个第一压电结构之间的背板电极的距离相等;和/或,
[0009]在第二方向上相邻的两个第二压电结构与所述相邻的两个第二压电结构之间的背板电极的距离相等。
[0010]可选地,所述第一压电结构包括第一压电层及位于所述第一压电层的沿第一方向的两侧的第一电极和第二电极,所述控制器通过所述第一电极和所述第二电极向所述第一压电结构施加电压;和/或,
[0011]所述第二压电结构包括第二压电层及位于所述第二压电层的沿第二方向的两侧的第三电极和第四电极,所述控制器通过所述第三电极和所述第四电极向所述第二压电结构施加电压;
[0012]所述第一压电结构还包括形成在其外侧的第一弹性绝缘层;和/或,
[0013]所述第二压电结构还包括形成在其外侧的第二弹性绝缘层。
[0014]可选地,所述背板上设置有牺牲层,所述第一压电结构和所述第二压电结构设置在所述牺牲层上;
[0015]所述牺牲层的厚度大于所述背板电极的厚度;
[0016]所述牺牲层为低表面能牺牲层。
[0017]本专利技术第二方面提供了一种显示面板的背板,包括本专利技术第一方面提供的一种用于巨量转移的对位装置。
[0018]本专利技术第三方面提供了一种用于巨量转移的对位方法,包括:
[0019]向在第一方向上相邻的两个第一压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第一压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第一压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第一方向对位;
[0020]向在第二方向上相邻的两个第二压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第二压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第二压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第二方向对位,其中,所述第一方向与所述第二方向正交。
[0021]可选地,在第一方向上相邻的两个第一压电结构与所述相邻的两个第一压电结构之间的背板电极的距离相等,所述向在第一方向上相邻的两个第一压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第一压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第一压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第一方向对位包括:
[0022]向在第一方向上相邻的第n个和第n+1个第一压电结构施加第一电压以使得所述相邻的第n个和第n+1个第一压电结构通过形变对置于所述相邻的第n个和第n+1个第一压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第一方向对位,n为奇数;
[0023]向在第一方向上相邻的第n+1个和第n+2个第一压电结构施加第二电压以使得所述相邻的第n+1个和第n+2个第一压电结构通过形变对置于所述相邻的第n+1个和第n+2个第一压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第一方向对位,其中,所述第二电压为所述第一电压的相反极性电压;
[0024]和/或,
[0025]在第二方向上相邻的两个第二压电结构与所述相邻的两个第二压电结构之间的背板电极的距离相等,所述向在第二方向上相邻的两个第二压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第二压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第二压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第二方向对位包括:
[0026]向在第二方向上相邻的第m个和第m+1个第一压电结构施加第三电压以使得所述相邻的第m个和第m+1个第二压电结构通过形变对置于所述相邻的第m个和第m+1个第二压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第二方向对位,m为奇数;
[0027]向在第二方向上相邻的第m+1个和第m+2个第二压电结构施加第四电压以使得所述相邻的第m+1个和第m+2个第二压电结构通过形变对置于所述相邻的第m+1个和第m+2个第二压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第二方向对位,其中,所述第四电压为所述第三电压的相反极性电压。
[0028]本专利技术的有益效果如下:
[0029]本专利技术所提供的技术方案,通过控制阵列排布在在背板上的第一压电结构和第二
压电结构的形变来精确对位发光二极管与背板电极,,可有效提高Micro LED等显示面板的巨量转移精准度,提高了产品良率。
附图说明
[0030]下面结合附图对本专利技术的具体实施方式作进一步详细的说明。
[0031]图1示出本专利技术的一个实施例提供的一种用于巨量转移的对位装置的俯视图;
[0032]图2示出本专利技术的一个实施例提供的一种用于巨量转移的对位装置的剖面图;
[0033]图3示出本专利技术的一个实施例提供的一种用于巨量转移的对位方法的步骤图;
[0034]图4示出本专利技术的一个实施例的对位装置的剖面图;
[0035]图5示出本专利技术的一个实施例的对位方法的示意图;
[0036]图6示出本专利技术的一个实施例的对位方法的示意图;
[0037]图7示出本专利技术的一个实施例的剥离牺牲层后背板的示意图。
具体实施方式
[0038]为了更清楚地说明本专利技术,下面结合实施例和附图对本专利技术做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解,下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的,不应以此限制本专利技术的保护范围。
[0039]本专利技术一个实施例提供了一种用于巨量转移的对位装置,如图1所示,包括:...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于巨量转移的对位装置,其特征在于,包括:控制器、阵列排布在背板上的第一压电结构和阵列排布在背板上的第二压电结构,其中,所述背板包括阵列排布的背板电极;所述控制器,用于向在第一方向上相邻的两个第一压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第一压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第一压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第一方向对位;所述控制器,还用于向在第二方向上相邻的两个第二压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第二压电结构通过形变对置于所述相邻的两个第二压电结构之间的发光二极管进行与背板电极的第二方向对位,其中,所述第一方向与所述第二方向正交。2.根据权利要求1所述的对位装置,其特征在于,在第一方向上相邻的两个第一压电结构与所述相邻的两个第一压电结构之间的背板电极的距离相等;和/或,在第二方向上相邻的两个第二压电结构与所述相邻的两个第二压电结构之间的背板电极的距离相等。3.根据权利要求1所述的对位装置,其特征在于,所述第一压电结构包括第一压电层及位于所述第一压电层的沿第一方向的两侧的第一电极和第二电极,所述控制器通过所述第一电极和所述第二电极向所述第一压电结构施加电压;和/或,所述第二压电结构包括第二压电层及位于所述第二压电层的沿第二方向的两侧的第三电极和第四电极,所述控制器通过所述第三电极和所述第四电极向所述第二压电结构施加电压。4.根据权利要求3所述的对位装置,其特征在于,所述第一压电结构还包括形成在其外侧的第一弹性绝缘层;和/或,所述第二压电结构还包括形成在其外侧的第二弹性绝缘层。5.根据权利要求1所述的对位装置,其特征在于,所述背板上设置有牺牲层,所述第一压电结构和所述第二压电结构设置在所述牺牲层上。6.根据权利要求5所述的对位装置,其特征在于,所述牺牲层的厚度大于所述背板电极的厚度。7.根据权利要求5所述的对位装置,其特征在于,所述牺牲层为低表面能牺牲层。8.一种显示面板的背板,其特征在于,包括如权利要求1

7中任一项所述的对位装置。9.一种基于如权利要求1所述的对位装置的对位方法,其特征在于,包括:向在第一方向上相邻的两个第一压电结构施加电压以使得所述相邻的两个第一压电结构通过...

【专利技术属性】
技术研发人员:张有为
申请(专利权)人:南京京东方显示技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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