显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能以简单的结构来廉价制造的显示装置的制造方法。提供一种可使用现有生产线来进行制造的显示装置的制造方法。该制造方法包括：在玻璃基板的主表面上通过使涂敷的树脂固化来形成树脂材料层的步骤；在上述树脂材料层的主表面侧形成构成显示电路的多个层叠材料层的步骤；以及从上述玻璃基板的与形成有上述层叠材料层的面相反的一侧的面照射光，使上述树脂材料层和上述玻璃基板的界面处产生剥离的步骤，将除去了上述玻璃基板的上述树脂材料层用作形成有上述显示电路的基板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，尤其涉及具有由树脂材料构成 的挠性材料基板的。
技术介绍
近年来，作为显示装置已知代替以往的玻璃基板而使用由树脂材 料构成的挠性材料基板(以下有时称为塑料薄片)的显示装置。在这样以塑料薄片为基板的情况下，与使用玻璃基板的情况相 比，能够构成极为轻薄的显示装置。但是，这样的显示装置在其制造中，在成为临时基板的玻璃基板 的上表面，由例如以光刻技术按预定图形形成的导体层、半导体层或 绝缘层构成的层叠体形成了由被微细化了的薄膜晶体管构成的像素 驱动元件，进而形成驱动电路(显示电路)的全部或一部分之后，辨 上述层叠体从上述玻璃基板剥离，转印到重新准备的塑料薄片上，因 此不得不经过除去上述玻璃基板的步骤。其原因在于为了通过高精度的位置对准来分别高可靠性地形成 导体层、半导体层和绝缘层等，优选在具有刚性的耐热性玻璃基板的 上表面上形成。换而言之，其原因由于因为塑料薄片的刚性较弱， 热变形温度较低，所以在伴随着热处理的制造步骤中，容易发生弯曲、 膨胀收缩这样的热变形，难以在该塑料薄片的上表面上高可靠性地形 成由预定图形构成的导电层、半导体层和绝缘膜等的层叠体。使在玻璃基板上形成的导电层、半导体层或绝缘层等的层叠体转 印到塑料薄片上来制造显示装置的技术例如公开在下述专利文献1 中。专利文献1:日本特开平10- 125929号7>寺艮
技术实现思路
但是，发现上述的不得不经过多次转印步 骤，因此，制造成本增大且带来成品率的降低。因此，希望能够以简单的结构来廉价制造，并且，能够进行直接 使用现有生产线的制造。本专利技术的目的在于提供一种能够以简单的结构来廉价进行制造 的。本专利技术的其他目的在于提供一种能够直接使用现有的生产线而 进行制造的。简单说明在本申请公开的专利技术中具有代表性的技术方案的概要 如下。(1 )本专利技术的的特征在于，包括例如， 在玻璃基板的主表面上通过使涂敷的树脂固化来形成树脂材料层的 步骤；在上述树脂材料层的主表面侧形成构成显示电路的多个层叠材 料层的步骤；以及从上述玻璃基板的与形成有上述层叠材料层的面相 反的 一侧的面照射光，使上述树脂材料层和上述玻璃基板的界面处产 生剥离的步骤，将除去了上述玻璃基板的上述树脂材料层用作形成有 上述显示电路的基板。(2) 本专利技术的的特征在于例如以上述(1 ) 为前提，上述树脂材料层由在主链中具有酰亚胺环结构的材料构成。(3) 本专利技术的的特征在于例如以上述(1) 为前提，在上述树脂材料层的主表面侧形成的上述显示电路隔着用于 避免来自上述树脂材料层侧的水或氧的侵入的阻挡层而形成。(4) 本专利技术的的特征在于例如以上述(3) 为前提，上述阻挡层由氮氧化硅膜、氧化硅膜、氮化硅膜、聚硅氮烷 膜、有机材料膜中的任一种或若干种的层叠体构成。(5) 本专利技术的的特征在于例如以上述(1) 为前提，上述显示电路是具有薄膜晶体管的电路。(6 )本专利技术的的特征在于例如以上述(1 ) 为前提，作为构成上述显示电路的各层叠材料层之一而具有偏振片。(7)本专利技术的的特征在于，包括例如， 在玻璃基板的主表面上通过使涂敷的树脂固化来依次形成第一树脂 材料层和光透射率大于该第 一树脂材料层的第二树脂材料层的步骤； 在上述第二树脂材料层的主表面侧形成由多个层叠材料层构成的显 示电路的步骤；以及从上述玻璃基板的与形成有上述显示电路的面相 反的 一侧的面照射光，使上述第 一树脂材料层和上述第二树脂材料层 的界面或上述第一树脂材料层中产生剥离的步骤，将除去了覆盖着上 述第一树脂材料层的上述玻璃基板的上述第二树脂材料层用作形成 有上述显示电路的基板。(8 )本专利技术的的特征在于例如以上述(6 ) 为前提，上述第 一树脂材料层和上述第二树脂材料层中的至少 一者由 在主链中具有酰亚胺环结构的材料构成。(9) 本专利技术的的特征在于，包括例如， 在玻璃基板的主表面上依次形成导电膜和通过使涂敷的树脂固化而 形成的树脂材料层的步骤；在上述树脂材料层的主表面侧形成由多个 层叠材料层构成的显示电路的步骤；以及从上述玻璃基板的与形成有 上述显示电路的面相反的 一侧的面照射光或激光，使上述树脂材料层 和上述导电膜的界面处产生剥离的步骤，将除去了覆盖着上述导电膜 的上述玻璃基板的上述树脂材料层用作形成有上述显示电路的基板。(10) 本专利技术的的特征在于例如以上述(9) 为前提，上述导电膜由ZnO、 SnO、 WOx 、 MoOx、 GeOx、 Ge、 SiGe 中的任一种或若干种的层叠体构成。本专利技术不限于以上的技术特征，在不脱离本专利技术的技术思想的范 围内可以进行各种变更。这样构成的能以简单的结构来廉价进行制 造。另外，这样构成的能够进行直接使用现有的 生产线的制造。附图说明图1是表示本专利技术的的一个实施例的工序图。图2是表示本专利技术的制造方法的作为对象的液晶显示装置的一个 实施例的结构图。图3是表示本专利技术的制造方法的作为对象的液晶显示装置的一个 实施例的剖视图。图4是表示本专利技术的制造方法的作为对象的液晶显示装置的其他 实施例的结构图。图5是表示本专利技术的制造方法的作为对象的液晶显示装置的其他 实施例的结构图。图6是表示本专利技术的的其他实施例的工序图。图7是表示本专利技术的的其他实施例的工序图。图8是表示本专利技术的制造方法的可作为对象的有机EL显示装置的一个实施例的剖-观图。图9是表示本专利技术的制造方法的对象的显示装置的用途例的说明图。图10是表示本专利技术的制造方法的对象的显示装置的用途例的说 明图。具体实施例方式以下使用附图说明本专利技术的的实施例。 [实施例1]图1是表示本专利技术的的一个实施例的工序 图。该实施例中的显示装置以有源矩阵型液晶显示装置为对象，图1 示出隔着液晶而相对配置的一对基板SUB1、 SUB2中在各像素具有薄膜晶体管一侧的基板SUB1的制造方法。在此，在说明图1所示的制造方法之前，首先使用图2简单说明 上述显示装置的结构。图2的(a)示出液晶显示装置的配置成矩阵状的各像素中的 一个 像素的俯视图。另外，图2的(b)示出图2的(a)的b-b线处的 剖视图，在示出基板SUB1的同时还示出基板SUB2。首先，隔着液晶LC而相对配置透明的基板SUB1、 SUB2。上述 基板SUB1由树脂材料RSL构成，上述基板SUB2由玻璃材料或树脂 材料构成。作为构成上述基板SUB1的树脂材料RSL，使用如例如聚亚胺等 那样，在主链中具有热、化学性稳定的酰亚胺环(多个环)、芳香环 等分子结构的高分子材料。首先在上述基板SUB1的液晶LC侧的面上依次形成阻挡层BL、 基底层FL。上述阻挡层BL是为了避免来自上述基板SUB1的水或氧 的侵入，由氮氧化硅(SiON )、氧化硅膜(Si02)、氮化硅膜(SiNx)、 多晶硅膜、有机材料膜、SOG中的任一种或若干种的层叠体构成。这 些材料通过溅射法、CVD法、离子电镀法、涂敷法等以300。C进行成 膜。并且，在例如由氧化硅膜(Si02)、氮化硅膜(SiNx)等形成的 基底层FL的表面上形成例如由多晶硅构成的半导体层PS。在阻挡层 BL发挥其作用的情况下也可以没有基底层FL。该半导体层PS成为 后述的薄膜晶体管TFT的半导体层，因此，在像素和像素外围的一部 分形成为岛状。多晶硅通过对无定形硅照射激光来进行结晶化。在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置的制造方法，其特征在于，包括：在玻璃基板的主表面上通过使涂敷的树脂固化来形成树脂材料层的步骤；在上述树脂材料层的主表面侧形成构成显示电路的多个层叠材料层的步骤；以及从上述玻璃基板的与形成有上述层叠材料层的面相反的一侧的面照射光，使上述树脂材料层和上述玻璃基板的界面处产生剥离的步骤，将除去了上述玻璃基板的上述树脂材料层用作形成有上述显示电路的基板。

【技术特征摘要】
JP 2007-5-23 2007-1361391. 一种显示装置的制造方法，其特征在于，包括在玻璃基板的主表面上通过使涂敷的树脂固化来形成树脂材料 层的步骤；在上述树脂材料层的主表面侧形成构成显示电路的多个层叠材 料层的步骤；以及从上述玻璃基板的与形成有上述层叠材料层的面相反的 一侧的 面照射光，使上述树脂材料层和上述玻璃基板的界面处产生剥离的步 骤，将除去了上述玻璃基板的上述树脂材料层用作形成有上述显示 电路的基板。2. 根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于 上述树脂材料层由在主链中具有酰亚胺环结构的材料构成。3. 根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于 在上述树脂材料层的主表面侧形成的上述显示电路隔着用于避免来自上述树脂材料层侧的水或氧的侵入的阻挡层而形成。4. 根据权利要求3所述的显示装置的制造方法，其特征在于 上述阻挡层由氮氧化硅膜、氧化硅膜、氮化硅膜、聚硅氮烷膜、有机材料膜中的任一种或若干种的层叠体构成。5. 根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于 上述显示电路是具有薄膜晶体管的电路。6. 根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其特征在于 作为构成上述显示电路的各层叠材料层之一而具有偏振片。7. —种显示装置的制造方法，其特征在于， 包括在玻璃基板的主表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：波多野睦子，服部孝司，
申请(专利权)人：株式会社日立显示器，
类型：发明
国别省市：JP[日本]