变动主要原因确定方法以及激光加工装置制造方法及图纸

使控制部执行电流控制执行步骤，进行驱动电流的反馈控制，以使激光振荡器的激光的激光输出接近目标值，确定在电流控制执行步骤的执行中激光输出和目标值的差超过给定的阈值的输出变动发生的变动发生定时，根据在电流控制执行步骤的执行中测定出的多个第一物理量，确定根据在变动发生定时而确定的第一监视时间内成为异常值的异常物理量，根据成为异常物理量的变动的主要原因的多个第二物理量，将根据异常物理量成为异常值的异常开始定时而确定的第二监视时间内成为异常值的物理量确定为变动主要原因，将表示确定出的变动主要原因的信息输出到输出装置。信息输出到输出装置。信息输出到输出装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】变动主要原因确定方法以及激光加工装置


[0001]本公开涉及确定激光振荡器的激光输出的变动主要原因的变动主要原因确定方法以及激光加工装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中公开了一种激光加工装置，其具备：激光振荡器；输出测定部，测定由所述激光振荡器出射的激光的激光输出；以及控制部，为了使所述激光输出接近目标值，基于所述输出测定部的测定值来控制激光振荡器的操作信号。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2003
‑
53564号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的课题
[0007]然而，在使激光加工装置进行如专利文献1那样的反馈控制的情况下，从基于输出测定部的测定到其测定值反映于激光输出为止的期间，有时会产生激光输出与目标值之差变大的输出变动。这样的输出变动会导致加工精度的降低，因此存在以下要求：装置或者用户为了防止这样的输出变动而容易实施对策。
[0008]本公开是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，装置或者用户为了防止激光振荡器的输出变动而容易实施对策。
[0009]用于解决课题的手段
[0010]为了实现上述的目的，本公开是在激光加工装置中，通过控制部执行的变动主要原因确定方法，
[0011]所述激光加工装置具备：
[0012]激光振荡器；
[0013]输出测定部，对由所述激光振荡器出射的激光的光量进行测定；以及
[0014]所述控制部，基于所述输出测定部的测定值，进行向所述激光振荡器供给的驱动电流的反馈控制，以使所述激光的激光输出接近目标值，
[0015]所述变动主要原因确定方法的特征在于，执行如下处理：
[0016]电流控制执行处理，进行所述反馈控制；
[0017]定时确定处理，基于所述输出测定部的测定值，确定在所述电流控制执行处理的执行中所述激光输出和所述目标值的差超过给定的阈值的输出变动发生的变动发生定时；
[0018]异常物理量确定处理，根据在所述电流控制执行处理的执行中在所述激光加工装置中测定出的多个第一物理量，确定根据在所述定时确定处理中确定出的变动发生定时而确定的第一监视时间内成为异常值的异常物理量；
[0019]变动主要原因确定处理，根据在所述异常物理量确定处理中确定出的成为异常物
理量的变动的主要原因的多个第二物理量，将根据所述异常物理量成为异常值的异常开始定时而确定的第二监视时间内成为异常值的物理量确定为变动主要原因；以及
[0020]变动主要原因输出处理，将表示在所述变动主要原因确定处理中确定出的变动主要原因的信息输出到输出装置。
[0021]由此，在变动主要原因成为异常值而引起异常物理量成为异常值，由该异常物理量成为异常值而引起发生了输出变动的情况下，装置或者用户能够通过参照由输出装置输出的信息来识别变动主要原因。因此，装置或者用户为了防止输出变动而容易实施对策。
[0022]专利技术效果
[0023]根据本公开，装置或者用户为了防止输出变动而容易实施对策。
附图说明
[0024]图1是表示本公开的实施方式1所涉及的激光加工装置的结构的示意图。
[0025]图2是表示本公开的实施方式1所涉及的激光装置的结构的示意图。
[0026]图3是表示多个激光模块的结构的示意图。
[0027]图4是激光模块的侧面图。
[0028]图5是激光模块的主视图。
[0029]图6是表示控制部的动作的流程图。
[0030]图7A是表示加工程序的执行中的激光输出的目标值、测定值、修正前输出以及修正量的图表。
[0031]图7B是表示加工程序的执行中的激光装置的温度的测定值的图表。
[0032]图7C是表示加工程序的执行中的激光装置的湿度的测定值的图表。
[0033]图7D是表示加工程序的执行中的循环液的压力的图表。
具体实施方式
[0034]以下，基于附图，对本公开的实施方式进行详细地说明。以下的优选实施方式的说明本质上仅为例示，完全不意图对本公开、其应用物或者其用途进行限制。
[0035]如图1所示，本实施方式所涉及的激光加工装置100具备激光振荡器10、激光出射头40、传输光纤50、控制部60、电源70、作为输出装置的显示装置80、控制器90、冷却装置14以及除湿装置15。激光振荡器10和传输光纤50的聚光单元13侧的端部(入射端)收纳于壳体11。
[0036]激光振荡器10具有多个激光装置20、光束耦合器12以及聚光单元13。
[0037]如图2所示，激光装置20具有：发出互不相同的波长的激光LB1的例如10个激光模块30；使分别从10个激光模块30出射的激光LB1耦合并出射的衍射光栅22；一方面，使由衍射光栅22出射的激光的一部分作为激光LB2透过，另一方面，使剩余部分作为反射光LB3反射的部分透过镜23；接收来自部分透过镜23的反射光LB3，测定反射光LB3的光量的光电二极管24；测定激光装置20内部的温度的温度测定部20a；以及测定激光装置20内部的湿度的湿度测定部20b。
[0038]如图3～5所示，各激光模块30具有激光二极管条(LD条)31，激光二极管条31是具有并列配置的多个发射器31b的半导体激光器阵列。换言之，激光二极管条31是由具有发射
器31b的并列配置的多个激光二极管构成的半导体激光器阵列。激光二极管条31形成为俯视矩形状的平板形状，在其一个面配置有板状的正电极32，安装有正电极32的一个面。此外，在激光二极管条31的另一个面配置有比正电极32宽的板状的负电极33，安装有负电极33的一个面的一部分。激光二极管条31的一个侧面构成出射激光LB1的激光出射面31a。布线35与各电极(正电极32、负电极33)连接，经由该布线35从后述的电源70供给电流(电力)。另外，一个激光二极管条31所包括的发射器31b的个数例如被设定为50个。10个激光模块30的激光二极管条31相互串联连接。
[0039]在负电极33的激光二极管条31的安装面上的未安装激光二极管条31的区域，安装有对激光二极管条31的附近的温度进行测定的热电偶36。作为测定激光二极管条31的附近的温度的单元，也可以代替热电偶36而使用RTD(Resistance Temperature Detector，测温电阻体)、热敏电阻、IC(Integrated Circuit，集成电路)传感器等其他单元。此外，也可以将热敏电阻、IC传感器等半导体器件与激光二极管条31一体地形成，由此，能够间接或者直接地测定激光二极管条31的内部温度，能够使测定的温度更接近激光二极管条31的内部温度。
[0040]光束耦合器12将从多个激光装置20分别出射的激光LB2(参照图2)与一个激光LB4耦合而向聚光单元13出射。在光束耦合器12设置有：光电二极管12a，对激光LB4的占有一定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种变动主要原因确定方法，是在激光加工装置中，通过控制部执行的变动主要原因确定方法，所述激光加工装置具备：激光振荡器；输出测定部，对由所述激光振荡器出射的激光的光量进行测定；以及所述控制部，基于所述输出测定部的测定值，进行向所述激光振荡器供给的驱动电流的反馈控制，以使所述激光的激光输出接近目标值，所述变动主要原因确定方法的特征在于，执行如下步骤：电流控制执行步骤，进行所述反馈控制；定时确定步骤，基于所述输出测定部的测定值，确定在所述电流控制执行步骤的执行中所述激光输出和所述目标值的差超过给定的阈值的输出变动发生的变动发生定时；异常物理量确定步骤，根据在所述电流控制执行步骤的执行中在所述激光加工装置中测定出的多个第一物理量，确定根据在所述定时确定步骤中确定出的变动发生定时而确定的第一监视时间内成为异常值的异常物理量；变动主要原因确定步骤，根据在所述异常物理量确定步骤中确定出的成为异常物理量的变动的主要原因的多个第二物理量，将根据所述异常物理量成为异常值的异常开始定时而确定的第二监视时间内成为异常值的物理量确定为变动主要原因；以及变动主要原因输出步骤，将表示在所述变动主要原因确定步骤中确定出的变动主要原因的信息输出到输出装置。2.根据权利要求1所述的变动主要原因确定方法，其中，所述激光加工装置还具备：冷却装置，通过使循环液在所述激光振荡器中循环，从而控制所述激光振荡器的温度，所述多个第一物理量包括所述激光振荡器的温度，成为所述激光振荡器的温度的变动的主要原因的多个第二物理量包括所述循环液的压力、流量以及温度中的至少一个。3.根据权利要求1或者2所述的变动主要原因确定方法，其中，所述激光加工装置还具备向所述激光振荡器供给干燥空气并进行除湿的除湿装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：西原学，柴田宪三，王静波，西尾正敏，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：