定位机构及运用此定位机构的基板载台制造技术

本发明专利技术公开了一种定位机构及运用此定位机构的基板载台。该定位机构，适用于一基板载台。基板载台包括本体以及承载件。承载件具有限位部，并适于沿着第一方向相对于本体由第一位置移动至第二位置。定位机构包括基座、多个限位件以及驱动单元。基座固定于本体。这些限位件分别枢接于基座，并环绕承载件配置。驱动单元连接于这些限位件其中之一。当承载件位于第二位置时，驱动单元带动这些限位件相对于基座转动。当承载件沿着第一方向的相反方向移动至第三位置时，这些限位件与限位部产生干涉，以限制承载件沿着第一方向的相反方向移动。第三位置位于第一位置与第二位置之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种定位机构(POSITIONINGMECHANISM),且特别 是有关于一种运用于基板载台(SUBSTRATE STAGE )的定位机构。
技术介绍
等离子体工艺(plasma process )是半导体工艺中最重要工艺之一，其可用以执行包括沉积(deposition),蚀刻(etching)与清洁(cleaning)等工艺。随着科技的发展，目前已有部分运用于等离子体工艺的基板载台只需通过调 整其操作参数(如改变电极板与承载件的间距与操作功率)即可用以执行不同的工艺，或者是用以沉积不同的材料层。其中，为了改变电极板与承载件 之间距，上述的基板载台通常会组装有定位机构。图IA与图IB为已知一种运用于等离子体工艺的基板载台的结构示意 图，而图2A为已知一种定位机构的结构示意图，且图2B为图2A沿I-I线 的剖面图。请先参考图1A、图2A与图2B,基板载台100包括本体110、 电极板120、承载件130以及定位机构140。电极板120固定于本体110上， 而承载件130组装于本体110的贯孔112中，并可沿着贯孔112相对于本体 110移动，以带动承载于承载件130上的基板200移动。定位机构140包括 马达142、连接件144以及夹头146,且连接件144连接于马达142与夹头 146之间。马达142转动时会通过连接件144带动夹头146转动，以使夹头 146与承载件130的限位部132产生干涉，进而改变电极板120与承载件130 的间距。更详细而言，当夹头146位于限位部132的移动路径之外时，承载件130 可向上移动至第一位置(如图1A所示)。此时，限位部132的上缘接触本体 110的下缘，且电极板120与承载件130的间距为Dl。当基板载台IOO要对 基板200执行不同的工艺或沉积不同的材料层时，承载件130可先向下移动 至第二位置，以使夹头146可由本体110与限位部132之间进入限位部132 的移动路径上。然后，当承载件nO再度向上移动时，夹头146会与限位部132产生干涉，以使承载件130只能向上移动至第三位置(如图1B与图2A 所示)。此时，限位部132的上缘接触定位机构140的下缘，且电极板120 与承载件130的间距为D2。值得注意的是，由于夹头146转动至限位部132的移动路径上时，其内 缘会敲击到承载件130的外缘而使锁固于马达142的轴心上的螺丝148松脱 或位移。因此，已知定位机构140容易产生连接件144与夹头146脱落或夹 头146无法转动至定位的问题，进而并使承载件130无法被定位于第三位置。 此时，由于电极板120与承载件130的间距可能会小于间距D2而使埋设于 承载件130中的螺帽134所承受的磁力增加，进而造成螺帽134凸出或掉落 于承载件130的上表面。因此，下一片基板200的成品率容易因为承载件130 的上表面不平整而降低。另外，由于承载件130沿着贯孔112上下移动时，其外缘会与夹头146 的内缘摩擦，进而带动夹头146上下移动。因此，已知定位机构140容易产 生连接件144断裂或变形的问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种定位机构，其在操作时可具有较高的稳定度。 本专利技术提供一种基板载台，其所使用的定位机构的结构强度较高。 本专利技术提出一种定位机构，适用于基板载台。基板载台包括本体以及承 载件。承载件具有限位部，并适于沿着第一方向相对于本体由第一位置移动 至第二位置。定位机构包括基座、多个限位件以及驱动单元。基座固定于本 体，而这些限位件分别枢接于基座，并环绕承载件配置。驱动单元连接于这 些限位件其中之一。当承载件位于第二位置时，驱动单元带动这些限位件相 对于基座转动。当承载件沿着第一方向的相反方向移动至第三位置时，这些 限位件与限位部产生干涉，以限制承载件沿着第一方向的相反方向移动。其 中，第三位置位于第一位置与第二位置之间。在本专利技术的一实施例中，上述的各限位件包括夹头(chuck)以及滑块。 这些夹头枢接于基座，且驱动单元适于带动这些夹头相对于基座转动，而这 些滑块滑设于这些夹头。当承载件由第二位置朝向第三位置移动时，承载件 通过限位部带动这些滑块沿着第一方向的相反方向相对于这些夹头滑动，而 当承载件移动至第三位置时，这些滑块与限位部产生干涉。在本专利技术的一实施例中，上述的各限位件还包括多个插销。这些插销的 一端固定于这些夹头，而这些滑块通过这些插销连接至这些夹头，并适于沿 着这些插销相对于这些夹头滑动。在本专利技术的一实施例中，上述的定位机构还包括多个轴心与多个第一轴 承。这些限位件的一端通过这些轴心与这些第一轴承枢接于基座，而驱动单 元连接于这些限位件其中之一的另 一端，以带动这些限位件沿着对应的这些 轴心相对于基座转动。在本专利技术的一实施例中，上述的定位机构还包括多个第一连杆。这些限 位件的一端通过这些第一连杆相互连接，以使驱动单元带动这些限位件其中 之一沿着对应的轴心转动时，限位件会通过这些第 一连杆带动其他的限位件 沿着对应的这些轴心转动。在本专利技术的一实施例中，上述的定位机构还包括多个轴承。这些限位件 的一端通过部分的这些轴承连接于这些轴心，且这些第一连杆通过另一部分 的这些轴承枢接于这些限位件的 一端。在本专利技术的一实施例中，上述的驱动单元包括马达、套筒、螺栓以及第 二连杆。马达具有转轴，而套筒套设于转轴，且套筒通过螺栓锁固于转轴上。 第二连杆的 一端枢接于套筒，而第二连杆的另 一端枢接于这些限位件其中之 一的另一端。在本专利技术的一实施例中，上述的套筒还具有第一凸出部，而这些限位件 其中之一还具有第二凸出部。第二连杆的一端枢接于第一凸出部，而第二连 杆的另 一 端枢接于第二凸出部。在本专利技术的一实施例中，上述的基座包括第一连接板、第二连接板以及 多个连接件。第一连接板固定于本体，而这些连接件配置于第一连接板与第 二连接板之间，且这些限位件分别枢接于第 一连接板与第二连接板之间。在本专利技术的一实施例中，上述的基座还包括多个锁固构件。第一连接板 通过部分的这些锁固构件固定于本体，且第 一连接板与第二连接板通过另一 部分的这些锁固构件连接至这些连接件。本专利技术还提出一种基板载台，包括本体、承载件以及定位机构。承载件 具有限位部，并适于沿着第一方向相对于本体由第一位置移动至第二位置。 定位机构包括基座、多个限位件以及驱动单元。基座固定于本体，而这些限位件分别枢接于基座，并环绕承载件配置。驱动单元连接于这些限位件其中之一。当承载件位于第二位置时，驱动单元带动这些限位件相对于基座转动。 当承载件沿着第一方向的相反方向移动至第三位置时，限位件与限位部产生 干涉，以限制承载件沿着第一方向的相反方向移动。其中，第三位置位于第 一位置与第二位置之间。在本专利技术的一实施例中，上述的各限位件包括夹头以及滑块。这些夹头 枢接于基座，且驱动单元适于带动这些夹头相对于基座转动，而这些滑块滑 设于这些夹头。当承载件由第二位置朝向第三位置移动时，承载件通过限位 部带动这些滑块沿着第一方向的相反方向相对于这些夹头滑动，而当承载件 移动至第三位置时，这些滑块与限位部产生干涉。在本专利技术的一实施例中，上述的各限位件还包括多个插销。这些插销的 一端固定于这些夹头，而这些滑块通过这些插本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种定位机构，适用于基板载台，其中该基板载台包括本体以及承载件，该承载件具有限位部，且该承载件适于沿着第一方向相对于该本体由第一位置移动至第二位置，该定位机构包括：　基座，固定于该本体；　多个限位件，分别枢接于该基座，并环绕该承载件配置；以及　驱动单元，连接于这些限位件其中之一，其中当该承载件位于该第二位置时，该驱动单元带动这些限位件相对于该基座转动，当该承载件沿着第二方向移动至第三位置时，这些限位件与该限位部产生干涉，以限制该承载件沿着该第二方向移动，其中该第二方向与该第一方向相反，该第三位置位于该第一位置与该第二位置之间。

【技术特征摘要】
1、一种定位机构，适用于基板载台，其中该基板载台包括本体以及承载件，该承载件具有限位部，且该承载件适于沿着第一方向相对于该本体由第一位置移动至第二位置，该定位机构包括基座，固定于该本体；多个限位件，分别枢接于该基座，并环绕该承载件配置；以及驱动单元，连接于这些限位件其中之一，其中当该承载件位于该第二位置时，该驱动单元带动这些限位件相对于该基座转动，当该承载件沿着第二方向移动至第三位置时，这些限位件与该限位部产生干涉，以限制该承载件沿着该第二方向移动，其中该第二方向与该第一方向相反，该第三位置位于该第一位置与该第二位置之间。2、 如权利要求1所述的定位机构，其中各该限位件包括夹头，枢接于该基座，且该驱动单元适于带动这些夹头相对于该基座转 动；以及滑块，滑设于该夹头，其中当该承载件由该第二位置朝向该第三位置移 动时，该承载件通过该限位部带动这些滑块沿着该第二方向相对于这些夹头 滑动，而当该承载件移动至该第三位置时，这些滑块与该限位部产生干涉。3、 如权利要求2所述的定位机构，其中各该限位件还包括多个插销， 这些插销的一端固定于这些夹头，而这些滑块通过这些插销滑设于这些夹 头，并适于沿着这些插销相对于这些夹头滑动。4、 如权利要求1所述的定位机构，还包括多个轴心，其中这些限位件 的一端通过这些轴心枢接于该基座，而该驱动单元连接于这些限位件其中之 一的另 一端，以带动这些限位件沿着对应的这些轴心相对于该基座转动。5、 如权利要求4所述的定位机构，还包括多个第一连杆，其中这些限 位件的一端通过这些第一连杆相互连接，以^使该驱动单元带动这些限位件其 中之一沿着对应的该轴心转动时，该限位件会通过这些第一连杆带动其他的 限位件沿着对应的这些轴心转动。6、 如权利要求5所述的定位机构，还包括多个轴承，其中这些限位件 的一端通过部分的这些轴承连接于这些轴心，且这些第一连杆通过另一部分 的这些轴承枢接于这些限位件的 一端。7、 如权利要求4所述的定位机构，其中该驱动单元包括 马达，具有转轴；套筒，套设于该转轴；螺栓，该套筒通过该螺栓锁固于该转轴上；以及 第二连杆，其中该第二连杆的一端枢接于该套筒，而该第二连杆的另一 端枢接于这些限位件其中之一 的另 一端。8、 如权利要求7所述的定位机构，其中该套筒还具有第一凸出部，而 这些限位件其中之一还具有第二凸出部，该第二连杆的一端枢接于该第一凸 出部，而该第二连杆的另一端枢接于该第二凸出部。9、 如权利要求1所述的定位机构，其中该基座包括 第一连接板，固定于该本体；第二连接板；以及多个连接件，配置于该第一连接板与该第二连接板之间，其中这些限位 件分别枢接于该第 一连接板与该第二连接板之间。10、 如权利要求9所述的定位机构，其中该基座还包括多个锁固构件， 该第 一连接板通过部分的这些锁固构件固定于该本体，且该第 一连接板与该 第二连接板通过另 一部分的这些锁固构件连接至这些连接件。11、 一种基板载台...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄焕哲，徐弘振，刘志远，黄忠政，林锡熙，陈冠廷，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]