本实用新型专利技术涉及真空蒸镀技术领域,具体涉及一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统,包括加热系统和镀膜辊,所述镀膜辊间隔一定距离设置在所述加热系统的上方,用于传送镀膜,所述加热系统包括加热舟和电极柱组,所述电极柱组包括相对设置的正电极柱和负电极柱,所述加热舟的一端可拆卸地安装在所述正电极柱上,所述加热舟的另一端可拆卸地安装在所述负电极柱上,所述加热舟包括镀铝用蒸发舟和镀介质用钼舟,所述蒸发舟和所述钼舟择其一安装在所述电极柱组上。由于加热舟可拆卸地安装在电极柱组上,可根据镀铝或者镀介质的需求而相应地更换蒸发舟或钼舟,实现了同一蒸镀设备可进行镀铝或者镀介质两种需求,明显降低蒸镀成本,且操作简单。作简单。作简单。
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统
[0001]本技术涉及真空蒸镀
,具体涉及一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统。
技术介绍
[0002]真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜的技术,其原理是真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体表面,真空镀膜包括蒸发镀膜、溅射镀膜以及离子镀三种形式,其中,最常见的为蒸发镀膜,其通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面。
[0003]目前,蒸发镀膜主要用于镀铝或镀介质,但是现有的蒸镀设备只能实现镀铝、镀介质(硫化锌)其中一种,即一个蒸镀设备只能镀铝或者镀介质,若想更换蒸镀物质只能更换设备,亦即是需要两个蒸镀设备备用,蒸镀成本高。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于针对现有技术的不足,提供一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统,能够在同一蒸镀设备内镀铝、镀介质,明显降低蒸镀成本,且操作简单。
[0005]为实现上述目的,本技术采用如下技术方案:
[0006]提供一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统,包括加热系统和镀膜辊,所述镀膜辊间隔一定距离设置在所述加热系统的上方,用于传送镀膜,所述加热系统包括加热舟和电极柱组,所述电极柱组包括相对设置的正电极柱和负电极柱,所述加热舟的一端可拆卸地安装在所述正电极柱上,所述加热舟的另一端可拆卸地安装在所述负电极柱上,所述加热舟包括镀铝用蒸发舟和镀介质用钼舟,所述蒸发舟和所述钼舟择其一安装在所述电极柱组上。
[0007]上述技术方案中,所述加热系统还包括蒸镀槽,所述电极柱组安装在所述蒸镀槽内。
[0008]上述技术方案中,所述蒸镀槽的一侧壁上方设置有铝丝传送辊,所述铝丝传送辊用于传送铝丝至所述蒸发舟。
[0009]上述技术方案中,所述钼舟上放置有硫化锌介质。
[0010]上述技术方案中,所述蒸镀槽的正上方可拆卸安装有挡板,所述挡板上在沿着所述镀膜宽度的方向间隔设置有矩形孔,相邻矩形孔之间形成遮挡部。
[0011]上述技术方案中,所述蒸发舟为导电氧化硼蒸发舟,所述蒸发舟的两端和所述钼舟的两端均包覆有石墨纸。
[0012]本技术的有益效果:
[0013]本技术的真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统,由于加热舟可拆卸地安装在电极柱组上,可根据镀铝或者镀介质的需求而相应地更换蒸发舟或钼舟,实现了同一蒸镀设备可进行镀铝或者镀介质两种需求,明显降低蒸镀成本,且操作简单。
附图说明
[0014]附图仅用于示出优选实施方式的目的,而并不认为是对本技术的限制,而且在整个附图中,用相同的附图标记表示相同的部件。
[0015]图1为本技术的蒸镀系统的结构示意图。
[0016]图2为镀铝时加热系统的俯视图。
[0017]图3为镀介质时加热系统的俯视图。
[0018]图4为挡板的结构示意图。
[0019]附图标记:加热舟1,蒸发舟11,钼舟12,正电极柱2,负电极柱3,蒸镀槽4,铝丝传送辊5,镀膜辊6,镀膜7,挡板8,矩形孔81,遮挡部82。
具体实施方式
[0020]下面将参照附图更详细地描述本技术的示例性实施例。虽然附图中显示了本技术的示例性实施例,然而应当理解,可以以各种形式实现本技术而不应被这里阐述的实施例所限制。相反,提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本技术,并且能够将本技术的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0021]本实施例的真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统,如图1所示,包括加热系统和镀膜辊6,加热系统包括加热舟1、蒸镀槽4以及平行设置的若干电极柱组,电极柱组安装在蒸镀槽4 内,每个电极柱组包括相对设置的正电极柱2和负电极柱3,加热舟1的一端可拆卸地安装在正电极柱2上,加热舟1的另一端可拆卸地安装在负电极柱3上,正电极柱2和负电极柱3均连接外接电源,真空蒸镀时,打开外接电源通过正电极柱2和负电极柱3对加热舟1进行加热;镀膜辊6间隔一定距离设置在蒸镀槽4的上方,用于传送镀膜7。
[0022]如图1、图2和图3所示,加热舟1包括镀铝用蒸发舟11和镀介质用钼舟12,蒸镀槽 4的一侧壁的上方设置有铝丝传送辊5,真空镀铝时,铝丝经铝丝传送辊5传送至已被加热的蒸发舟11上端面,铝丝受热融化并蒸发形成铝蒸汽蒸镀到镀膜7上,形成镀铝层;钼舟 12上放置有硫化锌介质,真空镀介质时,将蒸发舟11取下并安装上钼舟12,加热的钼舟 12使硫化锌介质受热融化并形成硫化锌蒸汽蒸镀到镀膜7上,形成镀介质层。
[0023]本实施例中,蒸发舟11为导电氧化硼蒸发舟11。
[0024]本实施例中,蒸发舟11的两端和钼舟12的两端均包覆有石墨纸,能够保证蒸发舟11 的两端与正电极柱2和负电极柱3接触良好,以及钼舟12的两端与正电极柱2和负电极柱 3接触良好,使得蒸发舟11和钼舟12均匀加热。
[0025]如图1和/4所示,蒸镀槽4的正上方可拆卸安装有挡板8,挡板8上沿着镀膜7宽度的方向间隔设置有矩形孔81,相邻矩形孔81之间形成遮挡部82,真空镀膜时,随着镀膜辊6的运转,镀膜7上与矩形孔81相对应的位置形成连续的镀层条纹,镀膜7上与遮挡部 82相对应的位置因遮挡不能形成镀层,由此可加工出满足客户需求的镀膜7,挡板8上的孔形状、相邻两孔之间的间距可根据实际需求进行设置,挡板8也可拆除用于加工普通镀膜。
[0026]最后应当说明的是,以上实施例仅用以说明本技术的技术方案,而非对本技术保护范围的限制,尽管参照较佳实施例对本技术作了详细地说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本技术的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本技术技术方案的实质和范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀铝、镀硫化锌双用蒸镀系统,包括加热系统和镀膜辊,所述镀膜辊间隔一定距离设置在所述加热系统的上方,用于传送镀膜,其特征在于:所述加热系统包括加热舟和电极柱组,所述电极柱组包括相对设置的正电极柱和负电极柱,所述加热舟的一端可拆卸地安装在所述正电极柱上,所述加热舟的另一端可拆卸地安装在所述负电极柱上,所述加热舟包括镀铝用蒸发舟和镀硫化锌用钼舟,所述蒸发舟和所述钼舟择其一安装在所述电极柱组上。2.根据权利要求1所述的一种真空镀铝、镀硫化锌双用蒸镀系统,其特征在于:所述加热系统还包括蒸镀槽,所述电极柱组安装在所述蒸镀槽内。3.根据权利要求2所述的一种真空...
【专利技术属性】
技术研发人员:李永涛,
申请(专利权)人:东莞光群雷射科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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