单体进料装置，其包括至少一储能单元、一工艺气体单元以及至少一单体存储单元，其中所述储能单元、所述工艺气体单元以及所述单体存储单元通过至少一第一三通接头分别连通，且所述工艺气体单元、所述储能单元和所述单体存储单元能够全部或部分连通。本实用新型专利技术所述的单体进料装置通过设置多条管路和支路分别将储能单元、工艺气体单元和单体存储单元通过不同的管路进行连通，从而保证单体在进料过程中能够隔绝空气，以避免单体与空气中的成分发生反应而产生质变，因此能够提高单体进料后的纯度。度。度。
【技术实现步骤摘要】
单体进料装置
[0001]本技术涉及进料领域，具体而言，本技术涉及一种能够避免目标液体在进料过程中与空气成分发生反应的液体进料装置。
技术介绍
[0002]随着欧盟RoHS指令的实施以及各国针对环保问题进行相继立法，真空镀膜行业应运而生。传统的高污染之电镀行业已不符合环保要求，必将被新兴环保工艺取代。真空镀膜没有废水、废气等污染，在环保上拥有绝对优势，因此被越来越多地应用于各行各业。
[0003]现有技术中，镀膜方法包括气相生成法、氧化法、离子注入法、扩散法、电镀法、涂布法、液相生成法等。而气相生成法又可分为物理气相沉积法、化学气相沉积法和放电聚合法等，其中物理气相沉积法是处于真空环境下进行的，通过将待形成薄膜的原材料成型于待镀膜产品的表面，从而使待镀膜产品的表面形成镀膜涂层。
[0004]而单体作为形成薄膜的原材料，在镀膜过程中已经成为必不可少的部分了。但现有技术中，在进行镀膜过程中，单体的进料装置都与空气直接接触，这对于易于与空气中的成分发生反应的单体材料而言，若在进料过程中与空气中的成分发生了反应而产生变质现象，势必会影响单体进料后的纯度，进而直接影响对待镀膜产品的镀膜效果。
技术实现思路
[0005]本技术的一个优势在于提供一种单体进料装置，所述单体进料装置能够使单体材料在进料过程中隔绝空气而不会和空气中的成分发生反应，从而保证单体材料在进料后的纯度。
[0006]本技术的一个优势在于提供一种单体进料装置，所述单体进料装置结构简单，不仅能够同时满足对不同的单体进行进料，还能保证多种不同单体在进料过程中不发生与空气反应的情况，从而提高本技术所述的单体进料装置的工作效率。
[0007]本技术的一个优势在于提供一种单体进料装置，所述单体进料装置通过在进料前排除进料装置所含的气体，从而避免单体材料在进料后与进料装置中的空气成分发生反应，从而提高单体材料的纯度。
[0008]本技术的一个优势在于提供一种单体进料装置，所述单体进料装置能够根据需求确定进料单体的种类和数量，以使所述单体进料装置满足不同情况下的工作需求。
[0009]本技术的一个优势在于提供一种单体进料装置，所述单体进料装置通过设置多级开关阀，即可使不同种类和数量的单体能够被同时或先后进料，结构简单，性能稳定。
[0010]本技术的一个优势在于提供一种单体进料装置，所述单体进料装置不仅能够避免单体材料在进料过程中与空气中的成分发生反应，而且还能对单体进料的量进行控制，从而确保所述单体进料装置在工作过程中的用量可控性。
[0011]本技术的一个优势在于提供一种单体进料装置，所述单体进料装置能够在单体材料进料后对单体进料装置进行检查是否有漏气现象，从而确保所述单体进料装置在工
作过程中的安全性。
[0012]本技术的一个优势在于提供一种单体进料装置，所述单体进料装置能够通过检测内部压力而得知存储于其内的单体和气体的含量是否充足，从而进一步提高所述单体进料装置在工作过程中的可靠性。
[0013]为了实现上述至少一优势，本技术主要提供一种单体进料装置，所述单体进料装置包括至少一储能单元、一工艺气体单元以及至少一单体存储单元，其中所述储能单元、所述工艺气体单元以及所述单体存储单元通过至少一第一三通接头分别连通。
[0014]在其中一些实施例中，进一步包括至少一管路单元，用于连通所述单体存储单元、所述工艺气体单元以及所述储能单元，所述管路单元包括一第一管路、一第二管路以及一第三管路，其中所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路的一端分别连接于所述第一三通接头，所述第一管路的另一端连通所述单体存储单元，所述第二管路的另一端连通所述工艺气体单元，所述第三管路的另一端连通所述储能单元。
[0015]在其中一些实施例中，进一步包括至少一开闭阀单元，以用于对所述工艺气体单元和所述单体存储单元进行开启或关闭，所述开闭阀单元包括至少一第一开闭阀，其中所述第一开闭阀被设置于所述第一管路并位于所述第一三通接头和所述单体存储单元之间，从而使所述单体存储单元能够通过所述第一开闭阀实现与所述储能单元之间的连通或关闭。
[0016]在其中一些实施例中，所述开闭阀单元进一步包括至少一第二开闭阀，所述第二开闭阀被连接于所述第二管路并位于所述第一三通接头和所述工艺气体单元之间，从而使所述工艺气体单元能够通过所述第二开闭阀实现与所述储能单元之间的连通或关闭。
[0017]在其中一些实施例中，进一步包括至少一流量控制单元，以对所述第一管路和所述第二管路中的流量进行控制，其中所述流量控制单元包括至少一第一流量控制阀，所述第一流量控制阀被固定设置于所述第一三通接头的出口并位于所述第一管路，以控制从所述第一三通接头流向所述第一管路的气体流量。
[0018]在其中一些实施例中，所述流量控制单元进一步包括至少一第二流量控制阀，所述第二流量控制阀被固定设置于所述第一三通接头的出口并位于所述第二管路，以控制从所述第一三通接头流向所述第二管路的气体流量。
[0019]在其中一些实施例中，进一步包括至少一调压阀，其中所述调压阀被固定设置于所述第二管路并位于所述第二开闭阀和所述工艺气体单元之间，以控制所述工艺气体单元至所述第二开闭阀之间的所述第二管路的压力。
[0020]在其中一些实施例中，所述调压阀被设置为二级调压阀。
[0021]在其中一些实施例中，进一步包括至少一储能单元压力显示表，所述储能单元压力显示表连接于所述储能单元并靠近所述第一三通接头处以用于对所述储能单元的压力进行检测。
[0022]在其中一些实施例中，进一步包括至少一调压阀压力显示表，所述调压阀压力显示表连接于所述调压阀，以对所述调压阀的压力进行显示。
[0023]在其中一些实施例中，所述单体存储单元包括至少一第一单体进料设备、一第二单体进料设备和一第三单体进料设备，所述第一单体进料设备、所述第二单体进料设备以及所述第三单体进料设备分别被连通于所述第一管路，且所述第一单体进料设备、所述第
二单体进料设备以及所述第三单体进料设备能够通过所述第一管路实现单独或同时进料。
[0024]在其中一些实施例中，进一步包括至少一第一支路、一第二支路以及一第三支路，所述第一支路、所述第二支路以及所述第三支路分别通过一第二三通接头、一第三三通接头以及一第四三通接头并联于所述第一管路，且所述第一单体进料设备被连通于所述第一支路，所述第二单体进料设备被连通于所述第二支路，所述第三进料设备被连通于所述第三支路，以使所述第一单体进料设备、所述第二单体进料设备以及所述第三单体进料设备分别单独连接所述第一管路。
[0025]在其中一些实施例中，所述开闭阀单元进一步包括至少一第三开闭阀和一第四开闭阀，其中所述第一开闭阀被设置于所述第一支路并位于所述第一单体进料设备之前，所述第三开闭阀被设置于所述第二支路并位于所述第二单体进料设备之前，所述第四开闭阀被设置于所述第三本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单体进料装置，其特征在于，所述单体进料装置包括至少一储能单元、一工艺气体单元以及至少一单体存储单元，其中所述储能单元、所述工艺气体单元以及所述单体存储单元通过至少一第一三通接头分别连通。2.根据权利要求1所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一管路单元，用于连通所述单体存储单元、所述工艺气体单元以及所述储能单元，所述管路单元包括一第一管路、一第二管路以及一第三管路，其中所述第一管路、所述第二管路和所述第三管路的一端分别连接于所述第一三通接头，所述第一管路的另一端连通所述单体存储单元，所述第二管路的另一端连通所述工艺气体单元，所述第三管路的另一端连通所述储能单元。3.根据权利要求2所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一开闭阀单元，以用于对所述工艺气体单元和所述单体存储单元进行开启或关闭，所述开闭阀单元包括至少一第一开闭阀，其中所述第一开闭阀被设置于所述第一管路并位于所述第一三通接头和所述单体存储单元之间，从而使所述单体存储单元能够通过所述第一开闭阀实现与所述储能单元之间的连通或关闭。4.根据权利要求3所述的单体进料装置，其特征在于，所述开闭阀单元进一步包括至少一第二开闭阀，所述第二开闭阀被连接于所述第二管路并位于所述第一三通接头和所述工艺气体单元之间，从而使所述工艺气体单元能够通过所述第二开闭阀实现与所述储能单元之间的连通或关闭。5.根据权利要求4所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一流量控制单元，以对所述第一管路和所述第二管路中的流量进行控制，其中所述流量控制单元包括至少一第一流量控制阀，所述第一流量控制阀被固定设置于所述第一三通接头的出口并位于所述第一管路，以控制从所述第一三通接头流向所述第一管路的气体流量。6.根据权利要求5所述的单体进料装置，其特征在于，所述流量控制单元进一步包括至少一第二流量控制阀，所述第二流量控制阀被固定设置于所述第一三通接头的出口并位于所述第二管路，以控制从所述第一三通接头流向所述第二管路的气体流量。7.根据权利要求5所述的单体进料装置，其特征在于，进一步包括至少一调压阀，其中所述调压阀被固定设置于所述第二管路并位于所述第二开闭阀和所述工艺气体单元之间，以控制所述工艺气体单元至所述第二开闭阀之间的所述第二管路的压力。8.根据权利要求7所述的单体进料装置，其特征在于，所述调压阀被设置为二级调压阀。9.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：宗坚，沈兴良，
申请(专利权)人：江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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