通过扫码枪获取加工参数的方法、装置、设备、介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了通过扫码枪获取加工参数的方法、装置、设备、介质，包括：接收订单用户输入的加工参数，生成加工工序；随机生成识别码图像，将其与加工工序进行关联映射生成工件加工文件，输出工序加工文件以及识别码图像；扫码枪扫描生成的识别码图像；获取识别码图像关联加工工序的工件加工文件，读取扫码枪扫描的识别码图像，在工件加工文件中查找与识别码图像所对应的加工工序，读取加工参数并显示在工控机中。本发明专利技术可使操作员不在手动选择作业加工参数，减轻操作员工作，提升正确率，很大程度上避免了晶圆返工，报废的情况出现。本发明专利技术可使条形码与机台内的配方根据客户的意愿自由匹配，条形码内容不受限制、使用灵活。使用灵活。使用灵活。

【技术实现步骤摘要】
通过扫码枪获取加工参数的方法、装置、设备、介质


[0001]本专利技术涉及扫码枪在半导体行业中的应用，特别涉及实现条形码与设备加工配方的自由匹配，以此来提高操作员在日常工作中的操作正确率。

技术介绍

[0002]操作员在FAB中需要不停的“放置盒站——选择加工参数——加工——检测”，尤其是选择加工参数一步，这其中包含晶圆的尺寸，晶圆的类型，加工配方等，选错可能会导致整批晶圆返工，甚至报废。因此，“如何减少操作员工作量”“如何提高操作员操作正确率”一直是用户关注的重点和技术难题。

技术实现思路

[0003]为了解决上述存在的问题，本专利技术提出了一种通过扫码枪获取加工参数的方法、装置、设备、介质。本专利技术中扫码枪可以对识别码进行识别，操作员加工前使用扫码枪对识别码进行扫描以获取相关的加工工序和加工参数，便可极大程度的提高操作的正确性；同时，如果用户能将条形码内容自由的与加工设备的相关参数进行匹配可以生成用户所需的加工工序，这又保证了使用的灵活性。
[0004]本专利技术为上述目的所采用的技术方案为：通过扫码枪获取加工参数的方法,包括以下步骤：
[0005]接收订单用户输入的加工参数，组合生成加工工序；
[0006]随机生成识别码图像，将其与加工工序进行关联映射生成工件加工文件，输出工序加工文件以及识别码图像；
[0007]扫码枪扫描生成的识别码图像并输出；
[0008]读取扫码枪扫描的识别码图像，获取识别码图像关联加工工序的工件加工文件，在工件加工文件中查找与识别码图像所对应的加工工序，提取加工参数并显示加工状态，从而避免加工过程中人为输入加工参数的失误以及提高效率。
[0009]还包括一个使能步骤，当使能开关关闭时执行生成加工工序和绑定识别码图像的步骤，当使能开关打开时执行通过扫码枪扫描识别码图像再自动读取加工工序及加工参数的步骤。
[0010]所述加工参数包括：晶圆尺寸、晶圆材质类型、配方工序顺序。
[0011]所述识别码为条形码或二维码。
[0012]所述输出识别码包括：打印纸质识别码或输出识别码至显示设备中。
[0013]所述扫码枪扫描的识别码是生产加工人员通过扫码枪扫描获取的。
[0014]通过扫码枪获取加工参数的装置,包括用户终端和生产终端；
[0015]所述用户终端包括：接收用户指令模块和识别码生成模块；所述接收用户指令模块，接收订单用户输入的加工参数，生成加工工序；识别码生成模块，随机生成识别码图像，将其与加工工序进行关联映射生成工件加工文件，输出工序加工文件以及识别码图像；
[0016]生产终端包括：扫码枪模块和识别码解析模块；所述扫码枪模块，扫描识别码生成模块输出的识别码图像并发送给识别码解析模块；识别码解析模块，提取识别码图像关联加工工序的工件加工文件，读取扫码枪扫描的识别码图像，在工件加工文件中查找与识别码图像所对应的加工工序，读取加工参数并显示在工控机中。
[0017]所述扫码枪与工控机之间通过RS232或USB接口进行连接。
[0018]通过扫码枪获取加工参数的设备,包括：
[0019]处理器，
[0020]存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1-6任意一项所述的方法步骤。
[0021]通过扫码枪获取加工参数的介质,所述存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1-6任意一项所述的方法步骤。
[0022]本专利技术具有以下有益效果及优点：
[0023]1、本专利技术可使操作员不在手动选择作业加工参数，减轻了操作员工作的同时，更重要的提升了操作的正确率，很大程度上避免了晶圆返工，报废的情况出现。
[0024]2、本专利技术使得配置作业参数的工作简单化，只需要利用扫码枪对条形码进行扫描，即可对加工配方进行选择，大大提高了工作效率。
[0025]3、本专利技术可使条形码与机台内的配方，根据客户的意愿自由匹配。条形码内容不受限制，使用极其灵活。
附图说明
[0026]图1是本专利技术方法流程图；
[0027]图2是本专利技术程序模块装置的示意图；
[0028]图3是本专利技术参数配置界面的实例示意图；
[0029]图4是本专利技术参数配置界面的实例示意图；
[0030]图5是本专利技术参数配置界面的实例示意图。
具体实施方式
[0031]下面结合附图及实施例对本专利技术做进一步的详细说明。
[0032]本专利技术主要针对涂胶显影设备中，对加工参数(比如晶圆尺寸、晶圆类型、作业配方等参数)的设置以及通过扫码枪获取加工参数的方法、装置、设备、介质。本专利技术可使操作员不在手动选择作业加工参数，可使条形码与机台内的配方根据客户的意愿自由匹配。
[0033]本实施例中的识别码采用条形码形式，每一批待加工的晶圆都对应一个批号(加工工序)，批号信息可以通过条形码获得。扫码枪可以获取条形码，操作员加工前使用扫码枪对条形码进行扫描以获取与条形码相关的加工工序和加工参数，便可极大程度的提高操作的正确性；同时，如果用户能将条形码内容自由的与加工设备的相关参数进行匹配可以生成用户所需的加工工序，这又保证了使用的灵活性。
[0034]如图2所示，本专利技术的装置包括用户终端和生产终端：
[0035]用户终端包括：接收用户指令模块和识别码生成模块，均为装载在用户终端机的程序模块；接收用户指令模块，接收订单用户输入的加工参数，生成加工工序；识别码生成
模块，随机生成识别码图像，将其与加工工序进行关联映射生成工件加工文件，输出工序加工文件以及识别码图像；
[0036]生产终端包括：扫码枪模块和识别码解析模块；扫码枪模块，扫描识别码生成模块输出的识别码图像并发送给识别码解析模块；识别码解析模块装载在工控机中，获取识别码图像关联加工工序的工件加工文件，读取扫码枪扫描的识别码图像，在工件加工文件中查找与识别码图像所对应的加工工序，读取加工参数并显示在工控机中。
[0037]扫码枪：可分为U口通信和RS232通信。如果采用U口通信，插入工控机上，安装U口驱动和即可使用。如果采用RS232通信，则需要进行软件驱动的开发。
[0038]工控机：存放工艺加工所需要的配方；获取条形码内容；执行条形码和配方文件匹配的逻辑程序。
[0039]涂胶显影设备中，加工前，需要在用户终端机上根据用户的要求或用户直接设置选择的配方参数项有：
[0040]晶圆尺寸：
[0041]可为2Inch,3Inch,4Inch,6Inch,8Inch,12Inch等；
[0042]晶圆类型：
[0043]Option1-Option8共8个选项，不同选项对应不同材质晶圆，影响晶圆自动检出成功率；
[0044]执行配方：
[0045]存在于设备内，已经建立成功的作业配方，也即涂胶显影设备中的加工工序；
[0046]对扫码枪功能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.通过扫码枪获取加工参数的方法,其特征在于，包括以下步骤：接收订单用户输入的加工参数，组合生成加工工序；随机生成识别码图像，将其与加工工序进行关联映射生成工件加工文件，输出工序加工文件以及识别码图像；扫码枪扫描生成的识别码图像并输出；读取扫码枪扫描的识别码图像，获取识别码图像关联加工工序的工件加工文件，在工件加工文件中查找与识别码图像所对应的加工工序，提取加工参数并显示加工状态，从而避免加工过程中人为输入加工参数的失误以及提高效率。2.根据权利要求1述的通过扫码枪获取加工参数的装置,其特征在于，还包括一个使能步骤，当使能开关关闭时执行生成加工工序和绑定识别码图像的步骤，当使能开关打开时执行通过扫码枪扫描识别码图像再自动读取加工工序及加工参数的步骤。3.根据权利要求1所述的通过扫码枪获取加工参数的方法,其特征在于，所述加工参数包括：晶圆尺寸、晶圆材质类型、配方工序顺序。4.根据权利要求1所述的通过扫码枪获取加工参数的方法,其特征在于，所述识别码为条形码或二维码。5.根据权利要求1所述的通过扫码枪获取加工参数的方法,其特征在于，所述输出识别码包括：打印纸质识别码或输出识别码至显示设备中。6.根据权利要求1所述的通过扫码枪获取加工参数的方法,其特征在于，所述扫码枪扫...

【专利技术属性】
技术研发人员：康宁，吴昊，李硕，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：