一种硅片真空吸盘夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片真空吸盘夹持装置，包括第一横块，第一横块上开设有第一滑槽，第一滑槽内滑动连接有连接滑杆，连接滑杆的下端设有吸盘，连接滑杆的外侧设有固定盘，固定盘的上端接触连接在第一横块的下端，连接滑杆上螺纹连接有第一螺母。该装置可以通过连接滑杆在第一滑槽内滑动，方便调节吸盘的左右位置，再通过第一螺母将其固定，将第一横块上的外螺纹固定杆在第二滑槽内滑动，调节吸盘的前后位置，再通过第二螺母将第二横块的位置固定，方便对吸盘进行充分的调节。方便对吸盘进行充分的调节。方便对吸盘进行充分的调节。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片真空吸盘夹持装置


[0001]本技术属于硅片
，具体为一种硅片真空吸盘夹持装置。

技术介绍

[0002]真空吸盘，又称真空吊具，是真空设备执行器之一；利用真空吸盘抓取制品是最廉价的一种方法；真空吸盘品种多样，橡胶制成的吸盘可在高温下进行操作，由硅橡胶制成的吸盘非常适于抓住表面粗糙的制品；由聚氨酯制成的吸盘则很耐用；另外，在实际生产中，如果要求吸盘具有耐油性，则可以考虑使用聚氨酯、丁腈橡胶或含乙烯基的聚合物等材料来制造吸盘。
[0003]硅片进行移动时，通常需要使用真空吸盘将硅片的位置进行抓取，但是现有的真空吸盘之间的位置调节很不方便，使得装置的使用效果较差。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种硅片真空吸盘夹持装置，以解决装置调节不便的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片真空吸盘夹持装置，包括第一横块，所述第一横块上开设有第一滑槽，单个第一横块上开设有两个第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有连接滑杆，连接滑杆可以在第一滑槽内进行滑动，所述连接滑杆的下端设有吸盘，吸盘固定安装在连接滑杆的下端，所述连接滑杆的外侧设有固定盘，固定盘固定焊接在连接滑杆的外侧，所述固定盘的上端接触连接在第一横块的下端，固定盘的上端接触连接在第一横块的下端，所述连接滑杆上螺纹连接有第一螺母，第一螺母螺纹连接到连接滑杆上，方便将连接滑杆的位置进行固定。
[0006]优选的，所述第一横块的上端设有第二横块，第二横块设有两个，分别设置在第一横块的上端。/>[0007]优选的，所述第一横块的上端设有外螺纹固定杆，外螺纹固定杆设有两个，分别焊接在第一横块的上端两侧。
[0008]优选的，所述外螺纹固定杆的外侧通过第二滑槽滑动连接于第二横块内壁，第二横块上开设有两个第二滑槽，方便第二横块在外螺纹固定杆的外侧进行前后滑动。
[0009]优选的，所述外螺纹固定杆上螺纹连接有第二螺母，第二螺母螺纹连接到外螺纹固定杆上，方便将第二横块的位置进行固定。
[0010]优选的，所述第二横块的上端设有手柄，手柄固定焊接在两侧第二横块的上端。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该装置可以通过连接滑杆在第一滑槽内滑动，方便调节吸盘的左右位置，再通过第一螺母将其固定，将第一横块上的外螺纹固定杆在第二滑槽内滑动，调节吸盘的前后位置，再通过第二螺母将第二横块的位置固定，方便对吸盘进行充分的调节。
附图说明
[0012]图1为本技术的整体结构示意图；
[0013]图2为本技术的侧视图；
[0014]图3为本技术的侧视截面图。
[0015]图中：1、第一横块；11、第一滑槽；21、连接滑杆；22、吸盘；23、固定盘；24、第一螺母；31、第二横块；32、第二滑槽；33、外螺纹固定杆；34、第二螺母；35、手柄。
具体实施方式
[0016]请参阅图1
‑
图3，一种硅片真空吸盘夹持装置，包括第一横块1，第一横块1上开设有第一滑槽11，单个第一横块1上开设有两个第一滑槽11，第一滑槽11内滑动连接有连接滑杆21，连接滑杆21可以在第一滑槽11内进行滑动，连接滑杆21的下端设有吸盘22，吸盘22固定安装在连接滑杆21的下端，连接滑杆21的外侧设有固定盘23，固定盘23固定焊接在连接滑杆21的外侧，固定盘23的上端接触连接在第一横块1的下端，固定盘23的上端接触连接在第一横块1的下端，连接滑杆21上螺纹连接有第一螺母24，第一螺母24螺纹连接到连接滑杆21上，方便将连接滑杆21的位置进行固定。
[0017]请参阅图1、图2和图3，第一横块1的上端设有第二横块31，第二横块31设有两个，分别设置在第一横块1的上端。
[0018]请参阅图1和图3，第一横块1的上端设有外螺纹固定杆33，外螺纹固定杆33设有两个，分别焊接在第一横块1的上端两侧。
[0019]请参阅图1、图2和图3，外螺纹固定杆33的外侧通过第二滑槽32滑动连接于第二横块31内壁，第二横块31上开设有两个第二滑槽32，方便第二横块31在外螺纹固定杆33的外侧进行前后滑动。
[0020]请参阅图1、图2和图3，外螺纹固定杆33上螺纹连接有第二螺母34，第二螺母34螺纹连接到外螺纹固定杆33上，方便将第二横块31的位置进行固定。
[0021]请参阅图1、图2和图3，第二横块31的上端设有手柄35，手柄35固定焊接在两侧第二横块31的上端。
[0022]本方案的工作原理是：使用时，可以通过手持手柄35，将装置放下，使得四处的吸盘22将硅片进行吸附，便于将硅片的位置进行移动，且不会对硅片造成伤害。
[0023]当需要将吸盘22的位置进行左右移动时，将第一螺母24从连接滑杆21旋下，将连接滑杆21在第一滑槽11内滑动，直到移动到合适的位置，再将第一螺母24旋在连接滑杆21上，使得固定盘23的上端贴合在第一横块1的下端，第一螺母24紧紧贴合在第一横块1上。
[0024]当需要将吸盘22的位置进行前后移动时，将第二螺母34从外螺纹固定杆33上旋下，将第一横块1上的外螺纹固定杆33在第二横块31上的第二滑槽32内滑动，直到到达合适的位置，将第二螺母34重新旋在外螺纹固定杆33上，将第一横块1的位置固定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片真空吸盘夹持装置，包括第一横块(1)，其特征在于：所述第一横块(1)上开设有第一滑槽(11)，所述第一滑槽(11)内滑动连接有连接滑杆(21)，所述连接滑杆(21)的下端设有吸盘(22)，所述连接滑杆(21)的外侧设有固定盘(23)，所述固定盘(23)的上端接触连接在第一横块(1)的下端，所述连接滑杆(21)上螺纹连接有第一螺母(24)。2.根据权利要求1所述的一种硅片真空吸盘夹持装置，其特征在于：所述第一横块(1)的上端设有第二横块(31)。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：万关良，
申请(专利权)人：永清县良晶半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：