一种磁力溅射装置制造方法及图纸

技术编号:31650064 阅读:13 留言:0更新日期:2021-12-29 19:46
本实用新型专利技术涉及金属纤维加工技术领域,尤其涉及一种磁力溅射装置,包括磁力溅射箱体,磁力溅射箱体顶面的四个拐角处固定焊接有支撑杆,支撑杆的顶端固定焊接有盒体,盒体的底部固定连通有管道,管道与磁力溅射箱体内的溅射承片台数量相同且管道与溅射承片台连通设置,管道上匹配设置有阀门,管道的外部设置有防堵塞机构,防堵塞机构包括固定安装在磁力溅射箱体顶面的电机,电机的输出端固定连接有横杆,横杆远离电机输出端的一端固定连接有限位圆柱,限位圆柱和电机分别在横杆的两个不同侧面,限位圆柱所经过的路径呈环状。本实用新型专利技术解决现有技术中存在现有的磁力溅射装置不具有连续加工能力的缺点,有益效果明显,适合推广。广。广。

【技术实现步骤摘要】
一种磁力溅射装置


[0001]本技术涉及金属纤维加工
,尤其涉及一种磁力溅射装置。

技术介绍

[0002]金属纤维同有机和无机纤维一样具有独特的性能和广泛的用途。金属纤维具有良好的导电、导热、导磁和耐高温性能,而且制造方法较简单,成本价格便宜,以金属纤维为填充剂的复合材料在民用行业如电子、化工、机械、纺织、食品、医药部门开拓了广阔的应用前景,现有制备金属纤维的过程中,会通过磁力溅射工艺代替原有的电镀制造工艺,用以提高金属纤维的舒适度,并且在通过磁力溅射工艺加工制造金属纤维时,需要先将金属靶材放入到溅射承片台中,并当溅射承片台中的金属靶材在使用完后,需要再次人工投放金属靶材,如此则会造成金属纤维加工中断,需要待金属靶材加完之后才可继续对金属纤维进行加工,从而使得现有磁力溅射装置不具有连续加工的能力,为此我们设计了一种磁力溅射装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在现有的磁力溅射装置不具有连续加工能力的缺点,而提出的一种磁力溅射装置。
[0004]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0005]设计一种磁力溅射装置,包括磁力溅射箱体,所述磁力溅射箱体顶面的四个拐角处固定焊接有支撑杆,所述支撑杆的顶端固定焊接有盒体,所述盒体的底部固定连通有管道,所述管道与磁力溅射箱体内的溅射承片台数量相同且管道与溅射承片台连通设置,所述管道上匹配设置有阀门,所述管道的外部设置有防堵塞机构,所述防堵塞机构包括固定安装在磁力溅射箱体顶面的电机,所述电机的输出端固定连接有连接杆,所述连接杆远离电机输出端的一端固定连接有限位圆柱,所述限位圆柱和电机分别在连接杆的两个不同侧面,所述限位圆柱所经过的路径呈环状,所述磁力溅射箱体的顶面固定连接有两个竖杆,所述竖杆的顶端固定连接有工字型卡块,两个所述工字型卡块内滑动设置有长条方框,所述长条方框的其中一侧外壁上固定连接有限位框,所述限位圆柱位于限位框的内部,所述长条方框的另一侧外壁上固定连接有与管道一一对应的弹性薄板。
[0006]优选的,所述盒体内设置有靶材平铺装置,所述靶材平铺装置包括固定焊接在盒体内壁上的卡块,所述卡块内滑动设置有水平框架,所述水平框架的一侧顶部与长条方框之间固定连接有连动杆。
[0007]优选的,所述卡块呈凹字型结构。
[0008]优选的,所述水平框架包括横杆和纵杆,所述横杆的数量为两个且纵杆垂直固定焊接在两个横杆之间,所述纵杆的顶面固定粘连有多个等距分布的竖板。
[0009]优选的,所述管道在盒体内的进口处开设有扩口槽。
[0010]优选的,所述盒体的底部开设有排污口,所述排污口内匹配设置有密封塞。
[0011]本技术提出的一种磁力溅射装置,有益效果在于:该磁力溅射装置通过在磁力溅射箱体的上方设置盒体,并且盒体与磁力溅射箱体内的溅射承片台连通,通过向盒体内部填入金属靶材,金属靶材会顺着管道进入到溅射承片台内部,当溅射承片台内的金属靶材量开始变少时,盒体内的金属靶材会立即顺着管道将溅射承片台的内部填满,确保溅射承片台的内部始终存有金属靶材,从而完成了溅射承片台的自动填料操作,即便磁力溅射箱体内的溅射操作仍在进行,也不会影响溅射承片台的自动填料,从而使得本技术中的磁力溅射装置具有连续加工的能力;此外我们在管道外部设置有防堵塞机构,可以确保金属靶材不会在管道内堵塞,并且盒体内靶材平铺装置的设置,可以确保盒体内的金属靶材处于平铺状态,从而确保每个管道在盒体内部的开口处均有金属靶材存在,有益效果明显,适合推广。
附图说明
[0012]图1为本技术提出的一种磁力溅射装置的立体结构示意图;
[0013]图2为本技术提出的一种磁力溅射装置的俯视结构示意图;
[0014]图3为本技术提出的一种磁力溅射装置的防堵塞机构立体结构示意图;
[0015]图4为图3的A部结构放大示意图;
[0016]图5为图3的俯视结构示意图。
[0017]图中:1磁力溅射箱体、2支撑杆、3盒体、4管道、5阀门、6电机、7连接杆、8限位圆柱、9竖杆、10工字型卡块、11长条方框、12限位框、13卡块、14水平框架、15连动杆、16横杆、17纵杆、18扩口槽、19排污口、20弹性薄板、21竖板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0019]实施例1
[0020]参照图1

5,一种磁力溅射装置,包括磁力溅射箱体1,磁力溅射箱体1顶面的四个拐角处固定焊接有支撑杆2,支撑杆2的顶端固定焊接有盒体3,盒体3的底部固定连通有管道4,管道4在盒体3内的进口处开设有扩口槽18,用于引导管道4开口附近的金属靶材流入到管道4内,管道4与磁力溅射箱体1内的溅射承片台数量相同且管道4与溅射承片台连通设置,管道4上匹配设置有阀门5,阀门5用于控制管道4的开闭,通过在磁力溅射箱体1的上方设置盒体3,并且盒体3与磁力溅射箱体1内的溅射承片台连通,通过向盒体3内部填入金属靶材,金属靶材会顺着管道4进入到溅射承片台内部,当溅射承片台内的金属靶材量开始变少时,盒体3内的金属靶材会立即顺着管道4将溅射承片台的内部填满,确保溅射承片台的内部始终存有金属靶材,从而完成了溅射承片台的自动填料操作,即便磁力溅射箱体1内的溅射操作仍在进行,也不会影响溅射承片台的自动填料,从而使得本技术中的磁力溅射装置具有连续加工的能力。
[0021]本技术中,为确保金属靶材可以持续稳定的向溅射承片台的内部供料,我们在管道4的外部设置有防堵塞机构,防堵塞机构包括固定安装在磁力溅射箱体1顶面的电机
6,电机6的输出端固定连接有连接杆7,连接杆7远离电机6输出端的一端固定连接有限位圆柱8,限位圆柱8和电机6分别在连接杆7的两个不同侧面,限位圆柱8所经过的路径呈环状,磁力溅射箱体1的顶面固定连接有两个竖杆9,竖杆9的顶端固定连接有工字型卡块10,两个工字型卡块10内滑动设置有长条方框11,长条方框11的其中一侧外壁上固定连接有限位框12,限位圆柱8位于限位框12的内部,长条方框11的另一侧外壁上固定连接有与管道4一一对应的弹性薄板20,开启电机6带动固定连接在电机6输出端的连接杆7转动,当连接杆7转动时会带动限位圆柱8环绕转动,当限位圆柱8转动时并在限位圆柱8与限位框12的限位作用下,推动限位框12水平往复运动,当限位框12水平往复运动的同时,会带动固定连接在限位框12外壁上的弹性薄板20水平往复运动,当弹性薄板20水平往复运动的同时,弹性薄板20会不断拍打管道4的外壁,使得管道4发生震动,从而使得管道4内的金属靶材持续稳定的下落到溅射承片台的内部,确保管道4内的金属靶材不会堵塞停滞在管道4内;盒体3的底部开设有排污口19,排污口19内匹配设置有密封塞,排污口19的设置可以排放盒体3内还本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁力溅射装置,包括磁力溅射箱体(1),其特征在于,所述磁力溅射箱体(1)顶面的四个拐角处固定焊接有支撑杆(2),所述支撑杆(2)的顶端固定焊接有盒体(3),所述盒体(3)的底部固定连通有管道(4),所述管道(4)与磁力溅射箱体(1)内的溅射承片台数量相同且管道(4)与溅射承片台连通设置,所述管道(4)上匹配设置有阀门(5),所述管道(4)的外部设置有防堵塞机构,所述防堵塞机构包括固定安装在磁力溅射箱体(1)顶面的电机(6),所述电机(6)的输出端固定连接有连接杆(7),所述连接杆(7)远离电机(6)输出端的一端固定连接有限位圆柱(8),所述限位圆柱(8)和电机(6)分别在连接杆(7)的两个不同侧面,所述限位圆柱(8)所经过的路径呈环状,所述磁力溅射箱体(1)的顶面固定连接有两个竖杆(9),所述竖杆(9)的顶端固定连接有工字型卡块(10),两个所述工字型卡块(10)内滑动设置有长条方框(11),所述长条方框(11)的其中一侧外壁上固定连接有限位框(12),所述限位圆柱(8)位于限位框(12)的内部,所述长条方框(...

【专利技术属性】
技术研发人员:何平徐典江红霞
申请(专利权)人:江苏金秋绳带科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1