一种具有防护功能的半导体用溅射台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有防护功能的半导体用溅射台，包括溅射台本体，所述溅射台本体一侧设置有防护定位组件，所述防护定位组件包括固定插板，所述固定插板的数量设置有两个，两个所述固定插板对称设置。本实用新型专利技术通过根据溅射台本体需要进行防护的位置，进行两个防护定位组件的位置确定，将定位螺杆贯穿定位滑槽与溅射台本体进行连接，当连接位置发生偏移时，可拉动固定插板，进一步便于防护定位组件的位置调节，将防护调节组件通过插接卡板与防护定位组件进行位置连接，根据内部进行防护的高度，拉动调节防护套，进一步根据需要进行防护的大小进行调节，从而便于在加工的同时对溅射台进行防护，提高安全性。提高安全性。提高安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有防护功能的半导体用溅射台


[0001]本技术用于半导体
，具体涉及一种具有防护功能的半导体用溅射台。

技术介绍

[0002]半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种；
[0003]现有市面上半导体材料在进行加工的过程中，由于溅射台为暴露在环境外部进行工作，从而在进行工作的同时无法对其进行防护，导致安全性较差，局限性较强。
[0004]因此，专利技术一种具有防护功能的半导体用溅射台来解决上述问题很有必要。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种具有防护功能的半导体用溅射台，通过根据溅射台本体需要进行防护的位置，进行两个防护定位组件的位置确定，将定位螺杆贯穿定位滑槽与溅射台本体进行连接，当连接位置发生偏移时，可拉动固定插板，进一步便于防护定位组件的位置调节，将防护调节组件通过插接卡板与防护定位组件进行位置连接，根据内部进行防护的高度，拉动调节防护套，进一步根据需要进行防护的大小进行调节，从而便于在加工的同时对溅射台进行防护，提高安全性，以解决技术中的上述不足之处。r/>[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有防护功能的半导体用溅射台，包括溅射台本体，所述溅射台本体一侧设置有防护定位组件，所述防护定位组件包括固定插板，所述固定插板的数量设置有两个，两个所述固定插板对称设置，所述固定插板外壁一侧固定连接有连接板，所述连接板内部贯穿有定位滑槽，所述定位滑槽内部两侧均插接有定位螺杆，所述定位螺杆外壁螺纹套接有定位螺帽，所述定位螺杆通过定位螺帽与定位滑槽可拆卸连接，所述固定插板内部开设有插接卡槽，所述插接卡槽内部插接有插接卡板，所述插接卡板外壁一侧固定连接有连接块，两个所述连接块之间设置有防护调节组件；
[0007]所述防护调节组件包括防护罩，所述防护罩与连接块固定连接，所述连接块内壁开设有活动槽，所述活动槽内壁两侧均开设有调节滑槽，所述调节滑槽内部滑动连接有调节滑块，所述调节滑块外壁一侧滑动连接有调节防护套，所述调节防护套内壁一侧开设有螺纹孔，所述螺纹孔的数量设置有多个，每相邻两个所述螺纹孔之间的距离相等，所述防护罩内壁一侧贯穿有螺纹杆，所述螺纹杆延伸至螺纹孔内部。
[0008]优选的，所述防护罩与调节防护套外壁均固定连接有手持板，所述手持板的数量
设置有两个，两个所述手持板均关于防护罩与调节防护套中轴线对称设置。
[0009]优选的，所述调节防护套顶部贯穿有透气孔，所述透气孔的数量设置有三组，每组所述透气孔的数量设置有两个，两个所述调节防护套顶部均设置有过滤板。
[0010]优选的，所述过滤板底部两侧均固定连接有固定腿，所述固定腿贯穿调节防护套延伸至内壁。
[0011]优选的，所述调节防护套内壁远离固定腿一侧开设有限位槽，所述限位槽内部滑动连接有限位卡扣，所述固定腿外壁一侧开设有限位卡孔，所述限位卡孔与限位卡扣相插接。
[0012]优选的，所述防护罩外壁一侧固定连接有可视板。
[0013]在上述技术方案中，本技术提供的技术效果和优点：
[0014]1、通过根据溅射台本体需要进行防护的位置，进行两个防护定位组件的位置确定，将定位螺杆贯穿定位滑槽与溅射台本体进行连接，当连接位置发生偏移时，可拉动固定插板，进一步便于防护定位组件的位置调节，将防护调节组件通过插接卡板与防护定位组件进行位置连接，根据内部进行防护的高度，拉动调节防护套，进一步根据需要进行防护的大小进行调节，从而便于在加工的同时对溅射台进行防护，提高安全性；
[0015]2、通过将过滤板通过固定腿与调节防护套进行位置固定，从而使内部环境通过透气孔进行散热的同时，过滤板可对杂质进行有效过滤，保证加工进度的同时加强防护。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术的整体结构示意图；
[0018]图2为本技术防护定位组件的爆炸结构示意图；
[0019]图3为本技术防护调节组件的正视剖面结构示意图；
[0020]图4为本技术防护罩的正视结构示意图；
[0021]图5为本技术图3中的A处放大结构示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]1、溅射台本体；2、防护定位组件；3、固定插板；4、连接板；5、定位滑槽；6、定位螺杆；7、定位螺帽；8、插接卡槽；9、插接卡板；10、连接块；11、防护调节组件；12、防护罩；13、活动槽；14、调节滑槽；15、调节滑块；16、调节防护套；17、螺纹孔；18、螺纹杆；19、手持板；20、过滤板；21、固定腿；22、限位槽；23、限位卡扣；24、限位卡孔。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]本技术提供了如图1
‑
5所示的一种具有防护功能的半导体用溅射台，包括溅
射台本体1，所述溅射台本体1一侧设置有防护定位组件2，所述防护定位组件2包括固定插板3，所述固定插板3的数量设置有两个，两个所述固定插板3对称设置，所述固定插板3外壁一侧固定连接有连接板4，所述连接板4内部贯穿有定位滑槽5，所述定位滑槽5内部两侧均插接有定位螺杆6，所述定位螺杆6外壁螺纹套接有定位螺帽7，所述定位螺杆6通过定位螺帽7与定位滑槽5可拆卸连接，所述固定插板3内部开设有插接卡槽8，所述插接卡槽8内部插接有插接卡板9，所述插接卡板9外壁一侧固定连接有连接块10，两个所述连接块10之间设置有防护调节组件11；
[0026]所述防护调节组件11包括防护罩12，所述防护罩12与连接块10固定连接，所述连接块10内壁开设有活动槽13，所述活动槽13内壁两侧均开设有调节滑槽14，所述调节滑槽14内部滑动连接有调节滑块15，所述调节滑块15外壁一侧滑动连接有调节防护套16，所述调节防护套16内壁一侧开设有螺纹孔17，所述螺纹孔17的数量设置有多个，每相邻两个所述螺纹孔17之间的距离相等，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有防护功能的半导体用溅射台，包括溅射台本体（1），其特征在于，所述溅射台本体（1）一侧设置有防护定位组件（2），所述防护定位组件（2）包括固定插板（3），所述固定插板（3）的数量设置有两个，两个所述固定插板（3）对称设置，所述固定插板（3）外壁一侧固定连接有连接板（4），所述连接板（4）内部贯穿有定位滑槽（5），所述定位滑槽（5）内部两侧均插接有定位螺杆（6），所述定位螺杆（6）外壁螺纹套接有定位螺帽（7），所述定位螺杆（6）通过定位螺帽（7）与定位滑槽（5）可拆卸连接，所述固定插板（3）内部开设有插接卡槽（8），所述插接卡槽（8）内部插接有插接卡板（9），所述插接卡板（9）外壁一侧固定连接有连接块（10），两个所述连接块（10）之间设置有防护调节组件（11）；所述防护调节组件（11）包括防护罩（12），所述防护罩（12）与连接块（10）固定连接，所述连接块（10）内壁开设有活动槽（13），所述活动槽（13）内壁两侧均开设有调节滑槽（14），所述调节滑槽（14）内部滑动连接有调节滑块（15），所述调节滑块（15）外壁一侧滑动连接有调节防护套（16），所述调节防护套（16）内壁一侧开设有螺纹孔（17），所述螺纹孔（17）的数量设置有多个，每相邻两个所述螺纹孔（17）之间的距离相等，所述防护罩（12）内壁一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘超超，高娟，
申请(专利权)人：上海芯莘科技有限公司，
类型：新型
国别省市：