测试装置及其承载组件制造方法及图纸

本申请公开了一种测试装置及其承载组件。该承载组件包括：载盘，设有多个第一承载槽，载盘设有第一防呆部；载台，设有用于安装载盘的第二承载槽，第二承载槽的侧壁还设有与第一防呆部配合的第二防呆部，和对载盘进行弹性限位的弹性组件。通过载盘设置第一防呆部，载台的第二承载槽的侧壁还设有与第一防呆部配合的第二防呆部，和对载盘进行弹性限位的弹性组件，本申请能够有效提高载盘安装的效率。本申请能够有效提高载盘安装的效率。本申请能够有效提高载盘安装的效率。

【技术实现步骤摘要】
测试装置及其承载组件


[0001]本申请涉及半导体测试
，特别是涉及一种测试装置及其承载组件。

技术介绍

[0002]现有对晶粒(die)进行检测的测试装置中，tray盘的安装效率不高而导致测试装置的上料效率低下。

技术实现思路

[0003]本申请主要提供一种测试装置及其承载组件，以解决载盘安装效率低的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种承载组件。所述承载组件包括：载盘，设有多个第一承载槽，所述载盘设有第一防呆部；载台，设有用于安装所述载盘的第二承载槽，所述第二承载槽的侧壁还设有与所述第一防呆部配合的第二防呆部，和对所述载盘进行弹性限位的弹性组件。
[0005]在一些实施例中，所述弹性组件包括：
[0006]第一弹性件，连接于所述第二承载槽的第一侧壁，用于弹性抵接于所述载盘的第一侧壁；
[0007]第二弹性件，连接于所述第二承载槽的与所述第一侧壁相邻的第二侧壁，用于弹性抵接于所述载盘的第二侧壁；
[0008]其中，所述第一弹性件和所述第二弹性件相互配合使得所述第一防呆部与所述第二防呆部对位装配。
[0009]在一些实施例中，所述第一弹性件和所述第二弹性件为弹片。
[0010]在一些实施例中，所述第一防呆部包括设置于所述载盘的一角上的斜切面，所述第二防呆部包括设置于所述第二承载槽的一角上的避让槽，所述斜切面与所述避让槽对位装配。
[0011]在一些实施例中，所述避让槽内设有凸帽，所述凸帽凸出于所述避让槽。
[0012]在一些实施例中，所述载盘背离所述多个第一承载槽的一侧设有避空槽，所述多个第一承载槽的底部均设有与所述避空槽连通的通孔。
[0013]在一些实施例中，所述载台设有多个所述第二承载槽，并被划分为上料区、合格区和废品区，位于所述上料区的所述载盘用于承载待测试的工件，位于所述合格区的所述载盘用于承载测试通过后的所述工件，位于所述废品区的所述载盘用于承载测试未通过的所述工件。
[0014]在一些实施例中，所述合格区内的所述第二承载槽还被划分为不同合格等级，以使得与其对应的所述载盘用于承载相应合格等级的所述工件；所述废品区内的所述第二承载槽还被划分为不同废品等级，以使得与其对应的所述载盘用于承载相应废品等级的所述工件。
[0015]在一些实施例中，所述第二承载槽的底部设有检测器，所述检测器用于测试所述
第二承载槽内是否承载有所述载盘。
[0016]为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种测试装置。该测试装置包括如上述的承载组件。
[0017]本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请公开了一种测试装置及其承载组件。通过设置载盘和载台，其中载盘设有多个第一承载槽，载盘还设有第一防呆部，载台设有用于安装载盘的第二承载槽，第二承载槽的侧壁还设有与第一防呆部配合的第二防呆部，以使得载盘装载于第二承载槽上时免于出错，且第二承载槽的侧壁还设有对载盘进行弹性限位的弹性组件，在载盘装载于第二承载槽后，弹性组件可高效地对载盘预紧定位，进而可提高载盘装载于载台的精度，因而本申请提供的承载组件能够有效提高载盘安装的效率。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：
[0019]图1是本申请提供的测试装置一实施例的结构示意图；
[0020]图2是图1所示测试装置中承载组件的结构示意图；
[0021]图3是图2所示承载组件上A区域的放大结构示意图；
[0022]图4是图2所示承载组件中载盘的结构示意图；
[0023]图5是图2所示承载组件中载盘的仰视结构示意图；
[0024]图6是图1所示测试装置中承载组件和搬运装置的结构示意图；
[0025]图7是图6所示搬运装置中取放机构的结构示意图；
[0026]图8是图1所示测试装置中定位机构和测试机构的结构示意图；
[0027]图9是图8所示定位机构中承载台和调节台的结构示意图；
[0028]图10是图9所示承载台和调节台的详细结构示意图；
[0029]图11是图8所示定位机构中视觉采集装置的结构示意图；
[0030]图12是图8所示测试机构的结构示意图；
[0031]图13是图12所示测试机构中第一调整组件、第二调整组件和第三调整组件的结构示意图；
[0032]图14是本申请提供的定位方法一实施例的流程示意图；
[0033]图15是图14所示方法中步骤S10的流程示意图；
[0034]图16是图14所示方法中步骤S40的流程示意图；
[0035]图17是图14所示方法中步骤S50的流程示意图；
[0036]图18是本申请提供的计算机设备一实施例的结构示意图；
[0037]图19是本申请提供的存储装置一实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0038]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完
整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0039]本申请实施例中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0040]在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其他实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其他实施例相结合。
[0041]本申请提供一种测试装置100，参阅图1，图1是本申请提供的测试装置一实施例的结构示意图。
[0042]该测试装置100包括承载组件10、搬运装置20、定位机构30和测试机构40，承载组件10用于存放待测试和完成测试的工件并对工件进行粗定位，搬运装置20用于存放于承载组件10待测试的工件搬运至定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种承载组件，其特征在于，所述承载组件包括：载盘，设有多个第一承载槽，所述载盘设有第一防呆部；载台，设有用于安装所述载盘的第二承载槽，所述第二承载槽的侧壁还设有与所述第一防呆部配合的第二防呆部，和对所述载盘进行弹性限位的弹性组件。2.根据权利要求1所述的承载组件，其特征在于，所述弹性组件包括：第一弹性件，连接于所述第二承载槽的第一侧壁，用于弹性抵接于所述载盘的第一侧壁；第二弹性件，连接于所述第二承载槽的与所述第一侧壁相邻的第二侧壁，用于弹性抵接于所述载盘的第二侧壁；其中，所述第一弹性件和所述第二弹性件相互配合使得所述第一防呆部与所述第二防呆部对位装配。3.根据权利要求2所述的承载组件，其特征在于，所述第一弹性件和所述第二弹性件为弹片。4.根据权利要求1所述的承载组件，其特征在于，所述第一防呆部包括设置于所述载盘的一角上的斜切面，所述第二防呆部包括设置于所述第二承载槽的一角上的避让槽，所述斜切面与所述避让槽对位装配。5.根据权利要求4所述的承载组件，其特征在于，所述避让槽内设有凸帽，所述凸帽凸出于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁晖，刘纪文，
申请(专利权)人：前海晶云深圳存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：