测试装置制造方法及图纸

本申请公开了一种测试装置。该测试装置包括：搬运装置包括：取放机构包括第一取放组件和第二取放组件，第一取放组件用于取放待测试的工件，第二取放组件用于取放测试后的工件；输送机构与取放机构连接，用于输送取放机构；承载组件包括：载盘设有多个第一承载槽，载盘设有第一防呆部；载台设有用于安装载盘的第二承载槽，第二承载槽的侧壁还设有与第一防呆部配合的第二防呆部，和对载盘进行弹性限位的弹性组件；其中搬运装置从承载组件上拾取待测试的工件，和放置测试后的工件于承载组件上。通过设置承载组件对工件进行粗定位，和设置搬运装置同时取放待测试的工件和测试后的工件，本申请提供的测试装置可有效提高搬运工件的效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
测试装置


[0001]本申请涉及半导体测试
，特别是涉及一种测试装置。

技术介绍

[0002]现有对晶粒(die)进行检测的测试装置中，常因搬运晶粒的搬运装置效率较低，而拖累测试装置的测试效率。

技术实现思路

[0003]本申请主要提供一种测试装置，以解决测试装置中的搬运装置搬运效率较低的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种测试装置。所述测试装置包括：搬运装置，包括：取放机构，包括第一取放组件和第二取放组件，所述第一取放组件用于取放待测试的工件，所述第二取放组件用于取放测试后的工件；输送机构，与所述取放机构连接，用于输送所述取放机构；承载组件，包括：载盘，设有多个第一承载槽，所述第一承载槽用于承载工件，所述载盘设有第一防呆部；载台，设有用于安装所述载盘的第二承载槽，所述第二承载槽的侧壁还设有与所述第一防呆部配合的第二防呆部，和对所述载盘进行弹性限位的弹性组件；其中，所述搬运装置从所述承载组件上拾取待测试的工件，和放置测试后的工件于所述承载组件上。
[0005]在一些实施例中，所述输送机构包括：
[0006]第一输送子机构，与所述取放机构连接，用于驱动所述取放机构沿第一方向运动；
[0007]第二输送子机构，与所述第一输送子机构连接，用于驱动所述第一输送子机构沿与所述第一方向相垂直的第二方向运动。
[0008]在一些实施例中，所述第一输送子机构包括：
[0009]第一丝杆组件，与所述取放机构连接；
[0010]第一驱动组件，与所述第一丝杆组件连接，用于驱动所述第一丝杆组件沿所述第一方向输送所述取放机构。
[0011]在一些实施例中，所述第二输送子机构包括：
[0012]两个导轨，沿所述第二方向延伸且间隔设置，并分别滑动支撑于所述第一丝杆组件的两端；
[0013]第二丝杆组件，与所述第一丝杆组件连接；
[0014]第二驱动组件，与所述第二丝杆组件连接，用于驱动第二丝杆组件沿所述第二方向输送所述第一输送子机构。
[0015]在一些实施例中，所述第一取放组件和所述第二取放组件均包括：
[0016]导气件，内设有气道；
[0017]缓冲件，具有防静电特性，连接于所述导气件，且与所述气道相通，用于取放所述工件；
[0018]升降驱动件，与所述导气件连接，用于驱动所述导气件升降运动。
[0019]在一些实施例中，所述弹性组件包括：
[0020]第一弹性件，连接于所述载台的第一侧壁，用于弹性抵接于所述载盘的第一侧壁；
[0021]第二弹性件，连接于所述载台上与所述第一侧壁相邻的第二侧壁，用于弹性抵接于所述载盘的第二侧壁；
[0022]其中，所述第一弹性件和所述第二弹性件相互配合使得所述第一防呆部与所述第二防呆部对位装配。
[0023]在一些实施例中，所述载台设有多个所述第二承载槽，并被划分为上料区、合格区和废品区，位于所述上料区的所述载盘用于承载待测试的所述工件，位于所述合格区的所述载盘用于承载测试通过后的所述工件，位于所述废品区的所述载盘用于承载测试未通过的所述工件；
[0024]所述搬运装置拾取并运输所述上料区的所述工件去进行测试，并将测试通过的所述工件搬运至所述合格区，和将测试未通过的所述工件搬运至所述废品区。
[0025]在一些实施例中，所述合格区内的所述第二承载槽还被划分为不同合格等级，以使得与其对应的所述载盘用于承载相应合格等级的所述工件；所述废品区内的所述第二承载槽还被划分为不同废品等级，以使得与其对应的所述载盘用于承载相应废品等级的所述工件。
[0026]在一些实施例中，所述第二承载槽的底部设有检测器，所述检测器用于测试所述第二承载槽内是否承载有所述载盘。
[0027]在一些实施例中，所述测试装置还包括独立设置的第一安装平台，所述承载组件和所述搬运装置安装于所述第一安装平台。
[0028]本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请公开了一种测试装置。通过设置搬运装置和承载组件，其中承载组件包括载盘和载台，通过载盘和载台对工件进行粗定位，以便于搬运装置拾取，搬运装置包括取放机构和输送机构，其中取放机构包括第一取放组件和第二取放组件，第一取放组件用于取放待测试的工件，第二取放组件用于取放测试后的工件，输送机构与取放机构连接并用于输送取放机构，进而在工件完成测试后，第二取放组件先拾取测试后的工件，之后第一取放组件紧接着放置待测试的工件，可进一步节约时间，提高搬运效率，因而本申请提供的测试装置可有效提高搬运工件的效率。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：
[0030]图1是本申请提供的测试装置一实施例的结构示意图；
[0031]图2是图1所示测试装置中承载组件的结构示意图；
[0032]图3是图2所示承载组件上A区域的放大结构示意图；
[0033]图4是图2所示承载组件中载盘的结构示意图；
[0034]图5是图2所示承载组件中载盘的仰视结构示意图；
[0035]图6是图1所示测试装置中承载组件和搬运装置的结构示意图；
[0036]图7是图6所示搬运装置中取放机构的结构示意图；
[0037]图8是图1所示测试装置中定位机构和测试机构的结构示意图；
[0038]图9是图8所示定位机构中承载台和调节台的结构示意图；
[0039]图10是图9所示承载台和调节台的详细结构示意图；
[0040]图11是图8所示定位机构中视觉采集装置的结构示意图；
[0041]图12是图8所示测试机构的结构示意图；
[0042]图13是图12所示测试机构中第一调整组件、第二调整组件和第三调整组件的结构示意图；
[0043]图14是本申请提供的定位方法一实施例的流程示意图；
[0044]图15是图14所示方法中步骤S10的流程示意图；
[0045]图16是图14所示方法中步骤S40的流程示意图；
[0046]图17是图14所示方法中步骤S50的流程示意图；
[0047]图18是本申请提供的计算机设备一实施例的结构示意图；
[0048]图19是本申请提供的存储装置一实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0049]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0050]本申请实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测试装置，其特征在于，所述测试装置包括：搬运装置，包括：取放机构，包括第一取放组件和第二取放组件，所述第一取放组件用于取放待测试的工件，所述第二取放组件用于取放测试后的工件；输送机构，与所述取放机构连接，用于输送所述取放机构；承载组件，包括：载盘，设有多个第一承载槽，所述第一承载槽用于承载工件，所述载盘设有第一防呆部；载台，设有用于安装所述载盘的第二承载槽，所述第二承载槽的侧壁还设有与所述第一防呆部配合的第二防呆部，和对所述载盘进行弹性限位的弹性组件；其中，所述搬运装置从所述承载组件上拾取待测试的工件，和放置测试后的工件于所述承载组件上。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述输送机构包括：第一输送子机构，与所述取放机构连接，用于驱动所述取放机构沿第一方向运动；第二输送子机构，与所述第一输送子机构连接，用于驱动所述第一输送子机构沿与所述第一方向相垂直的第二方向运动。3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述第一输送子机构包括：第一丝杆组件，与所述取放机构连接；第一驱动组件，与所述第一丝杆组件连接，用于驱动所述第一丝杆组件沿所述第一方向输送所述取放机构。4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述第二输送子机构包括：两个导轨，沿所述第二方向延伸且间隔设置，并分别滑动支撑于所述第一丝杆组件的两端；第二丝杆组件，与所述第一丝杆组件连接；第二驱动组件，与所述第二丝杆组件连接，用于驱动第二丝杆组件沿所述第二方向输送所述第一输送子机构。5.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述第一取放组件和所述第二取放组件均包括：导气件，内设有气道；缓冲件，具有防静电...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁晖，刘纪文，
申请(专利权)人：前海晶云深圳存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：