光罩夹具制造技术

本公开提供一种光罩夹具，其包括横梁以及两个竖梁，横梁具有上表面；两个竖梁从横梁的两端沿上下方向向上延伸并沿横向间隔开；两个竖梁和横梁形成沿前后方向开口且沿上下方向向上开口的腔体，前后方向垂直于横向和上下方向；各竖梁设置有槽道，槽道沿上下方向延伸，槽道沿上下方向均开口且沿横向向腔体开口；两个竖梁的槽道在上下方向的投影落在横梁的上表面的前后方向的范围内且沿前后方向至少具有共同的涵盖光罩的厚度的尺寸。光罩在横向上受到两个竖梁的横向的形成槽道的壁面的限制，光罩在前后方向上受到形成槽道的壁面限制，光罩在上下方向的底面受横梁的上表面的支撑，由此在前后方向上清洁(例如吹气清洁)光罩时，光罩不会掉落。不会掉落。不会掉落。

【技术实现步骤摘要】
光罩夹具


[0001]本公开涉及半导体领域，更具体地涉及一种光罩夹具。

技术介绍

[0002]目前，半导体光刻工艺，离不开光罩(掩模板)。在产线连续生产达到一定数量的时候，光罩必然产生污染使得产品产生缺陷，需要对光罩进行必要的周期性清洗，这种清理是需要专业设备的。而有时候，一些灰尘颗粒立即体现出来的污染，可以用氮气枪吹掉。通常是手拿着光罩的边或者用夹子夹住光罩的边进行吹洗动作，光罩在这种被拿着或被夹着的情况下因氮气枪的作用下很容易造成滑落，进而导致光罩受到损伤。

技术实现思路

[0003]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的目的在于提供一种光罩夹具，其能避免清洁光罩时光罩掉落的风险。
[0004]由此，在一些实施例中，一种光罩夹具包括横梁以及两个竖梁，横梁具有上表面；两个竖梁从横梁的两端沿上下方向向上延伸并沿横向间隔开；两个竖梁和横梁形成沿前后方向开口且沿上下方向向上开口的腔体，前后方向垂直于横向和上下方向；各竖梁设置有槽道，槽道沿上下方向延伸，槽道沿上下方向均开口且沿横向向腔体开口；两个竖梁的槽道在上下方向的投影落在横梁的上表面的前后方向的范围内且沿前后方向至少具有共同的涵盖光罩的厚度的尺寸。
[0005]在一些实施例中，各竖梁具有一个槽道，该槽道与对应竖梁的上端缘和下端缘间隔开。
[0006]在一些实施例中，各竖梁的槽道位于各竖梁的上下方向中心线的上侧或下侧。
[0007]在一些实施例中，各竖梁具有一个槽道，该槽道从对应竖梁的上端缘一直延伸向下至对应竖梁的下端缘延伸，各竖梁的下端缘位于横梁的上表面上。
[0008]在一些实施例中，各竖梁具有两个槽道，两个槽道沿上下方向彼此间隔开且彼此对准。在一些实施例中，各竖梁的两个槽道与对应竖梁的上端缘和下端缘间隔开。
[0009]在一些实施例中，各竖梁的两个槽道分别位于对应竖梁的上下方向中心线的上侧和下侧。
[0010]在一些实施例中，各竖梁的两个槽道中的位于上侧的槽道围绕对应竖梁的上下方向中心线翻转度后，不与对应竖梁的位于下侧的槽道重叠。
[0011]在一些实施例中，各竖梁的形成槽道的边缘均倒角。
[0012]在一些实施例中，光罩夹具还包括两个上止挡机构，各上止挡机构设置在对应竖梁的上端部，各上止挡机构能够在对应竖梁的上端部在横向方向和前后方向构成的平面内旋转以在上下方向不遮挡腔体或遮挡腔体。
[0013]本公开的有益效果如下：在需要对光罩清洁(例如吹气)时，光罩从上向下插入腔体、进而插入到两个竖梁的槽道中并受横梁的上表面的支撑，具体地，光罩在横向上受到两
个竖梁的横向的形成槽道的壁面的限制，光罩在前后方向上受到形成槽道的壁面限制，光罩在上下方向的底面受横梁的上表面的支撑，由此在前后方向上清洁(例如吹气清洁)光罩时，光罩不会掉落。
附图说明
[0014]图1是本公开的光罩夹具的一实施例的立体图，上止挡机构处于遮蔽腔体位置。
[0015]图2是图1的前视图；
[0016]图3是图1的前视图且上止挡机构处于未遮蔽腔体位置；
[0017]图4是图1的前视图，且示出了被夹持的光罩。
[0018]图5是图1的一变形例。
[0019]图6是图1的另一变形例。
[0020]图7是图1的再一变形例。
[0021]图8是图1的又一变形例。
[0022]其中，附图标记说明如下：
[0023]100光罩夹具
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25上端部
[0024]D1上下方向
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251凹槽
[0025]D2横向
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26顶面
[0026]D3前后方向
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L1上下方向中心线
[0027]1横梁
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L2横向中心线
[0028]11上表面
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S腔体
[0029]R范围
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3上止挡机构
[0030]2竖梁
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31上挡块
[0031]21槽道
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311下表面
[0032]22上端缘
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32轴
[0033]23下端缘
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4握柄
[0034]24边缘
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200光罩
具体实施方式
[0035]附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。
[0036]此外，用于说明实施例中的各构件的操作和构造的指示方向的表述(例如上下)不是绝对的而是相对的，且尽管各构件处于图中所示的位置时这些指示是恰当的，但是当这些位置改变时，这些方向应有不同的解释，以对应所述改变。
[0037]在一些实施例中，参照图1至图8，光罩夹具100包括横梁1以及两个竖梁2，横梁1具有上表面11；两个竖梁2从横梁1的两端沿上下方向D1向上延伸并沿横向D2间隔开；两个竖梁2和横梁1形成沿前后方向D3开口且沿上下方向D1向上开口的腔体S，前后方向D3垂直于横向D2和上下方向D1；各竖梁2设置有槽道21，槽道21沿上下方向D1延伸，槽道21沿上下方向D1均开口且沿横向D2向腔体S开口；两个竖梁2的槽道21在上下方向D1的投影落在横梁1
的上表面11的前后方向D3的范围R内且沿前后方向D3至少具有共同的涵盖光罩200的厚度的尺寸。
[0038]在需要对光罩200清洁(例如吹气)时，光罩200从上向下插入腔体S、进而插入到两个竖梁2的槽道21中并受横梁1的上表面11的支撑，具体地，光罩200在横向D2上受到两个竖梁2的横向D2的形成槽道21的壁面的限制，光罩200在前后方向D上受到形成槽道21的壁面限制，光罩200在上下方向D1的底面受横梁1的上表面11的支撑，由此在前后方向D上清洁(例如吹气清洁)光罩200时，光罩200不会掉落。
[0039]各竖梁2的槽道21的数量和设置可以采用多种形式。
[0040]在一些实施例中，参照图6和图7，各竖梁2具有一个槽道21，该槽道21与对应竖梁2的上端缘22和下端缘23间隔开。进一步地，在图6和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩夹具(100)，其特征在于，包括横梁(1)以及两个竖梁(2)，横梁(1)具有上表面(11)；两个竖梁(2)从横梁(1)的两端沿上下方向(D1)向上延伸并沿横向(D2)间隔开；两个竖梁(2)和横梁(1)形成沿前后方向(D3)开口且沿上下方向(D1)向上开口的腔体(S)，前后方向(D3)垂直于横向(D2)和上下方向(D1)；各竖梁(2)设置有槽道(21)，槽道(21)沿上下方向(D1)延伸，槽道(21)沿上下方向(D1)均开口且沿横向(D2)向腔体(S)开口；两个竖梁(2)的槽道(21)在上下方向(D1)的投影落在横梁(1)的上表面(11)的前后方向(D3)的范围(R)内且沿前后方向(D3)至少具有共同的涵盖光罩(200)的厚度的尺寸。2.根据权利要求1所述的光罩夹具(100)，其特征在于，各竖梁(2)具有一个槽道(21)，该槽道(21)与对应竖梁(2)的上端缘(22)和下端缘(23)间隔开。3.根据权利要求2所述的光罩夹具(100)，其特征在于，各竖梁(2)的槽道(21)位于各竖梁(2)的上下方向中心线(L1)的上侧或下侧。4.根据权利要求1所述的光罩夹具(100)，其特征在于，各竖梁(2)具有一个槽道(21)，该槽道(21)从对应竖梁(2)的上端缘(22)一直延伸向下至对应竖梁(2)的下端缘(23)延伸，各竖梁(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵雪城，杨晓杰，李海涛，姚浩强，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：