本发明专利技术公开了一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，包括用于装载工件的工作台、用于对工件进行测量的测量机构、用于根据检测结果对工件进行喷射加工的喷射机构以及运动机构，所述工作台活动设置在所述运动机构上，所述测量机构和喷射机构分别设在所述运动机构的两端，所述运动机构驱动所述工作台往复来回移动至所述测量机构和喷射机构下方，使工件分别进行测量和喷射加工，本发明专利技术将检测装置与加工装置集成为一体，工件通过激光干涉仪进行测量之后可以直接移动到喷射装置下方进行加工，实现一体化制造加工，减少多次装夹带来的误差。误差。误差。
【技术实现步骤摘要】
一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备
[0001]本专利技术涉及一种加工设备，具体涉及一种对工件表面进行磨料喷射精加工的设备。
技术介绍
[0002]磨料水射流抛光技术是利用由喷嘴高速喷出的混有细小磨料粒子的抛光液作用于工件表面，通过磨料的高速碰撞剪切作用达到磨削去除材料的目的，通过控制抛光液喷射时的压力、角度及喷射时间等工艺参数来修正工件表面粗糙度的抛光加工工艺。
[0003]在目前的工艺流程中，在对工件进行喷射加工前，需要先采用检测装置对工件的表面进行测量来确定加工位置，得到检测的结果后，再通过喷射装置对工件进行抛光加工，这样需要先将工件通过夹具安装在检测装置的下方，检测完成后将工件拆卸下来，再次安装在喷射装置的下方进行抛光处理，这样重复地拆装工件，不仅耗时耗力、降低工作效率，而且有可能会给测量和加工带来误差，而且目前已有的检测方式的测量精度往往不够高，无法进行高精度控制从而保证抛光质量，基本上达不到精加工要求，尤其是达不到纳米级别的加工精度。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，将检测功能与喷射加工功能集成为一体，实现工件的一次装夹，省去了手动将工件取下再重新安装上的步骤。
[0005]为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0006]一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，包括：
[0007]用于装载工件的工作台、用于对工件进行测量的测量机构、用于根据检测结果对工件进行喷射加工的喷射机构以及运动机构，所述工作台活动设置在所述运动机构上，所述测量机构和喷射机构分别设在所述运动机构的两端，所述运动机构驱动所述工作台往复来回移动至所述测量机构和喷射机构下方，使工件分别进行测量和喷射加工。
[0008]所述运动机构包括一长平台、在所述长平台上可沿Y轴方向平移的Y轴移动平台、可随所述Y轴移动平台共同移动的同时也可以沿X轴方向平移的X轴移动平台以及可分别驱动所述Y轴移动平台和X轴移动平台进行运动的直线电机模组。
[0009]在所述长平台上沿长度方向设有两道Y轴直线导轨，所述Y轴直线导轨的尽头两端分别安装有端部侧板，所述端部侧板在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶，所述直线电机模组驱动所述Y轴移动平台沿所述Y轴直线导轨进行移动。
[0010]所述Y轴移动平台上固定有一底板，所述底板上沿X轴方向设有两道X轴直线导轨，所述X轴移动平台由所述直线电机模组驱动可沿所述X轴直线导轨上移动，所述X轴移动平台的顶部中间固定有用于夹置工件的工作台，在所述X轴直线导轨尽头的两端分别设有端部侧板，两个端部侧板在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶。
[0011]还包括排水系统，其包括安装在所述Y轴移动平台上的防水槽、透明防水罩、集水槽、短水槽以及安装在所述长平台的台面上的长水槽，所述防水槽安装在所述工作台的顶面上，所述防水槽为一可积水的圆盘形状，并且形成中间高、四周低的坡面，在中间最高的位置设有用于安装玻璃镜片的镜片夹具，在四周位于较低处的边缘位置形成数个通往外部的排水口，沿所述防水槽的周边设起垂直的透明防水罩，沿所述工作台的四周形成包围的集水槽，且所述集水槽正好对着多个所述排水口的出水位置，所述集水槽的内部形成倾斜的坡面，在其中的最低一侧形成通往底部的出水口，在所述出水口一侧的下方通过支架安装有短水槽，在所述长平台上通过支架安装有长水槽，所述短水槽倾斜地安装在所述工作台的侧面，并且所述短水槽较高的一头正对所述出水口的下方，较低的另一头导流到长水槽，在所述长水槽的尽头放置储水装置。
[0012]所述测量机构包括激光干涉仪、可带动激光干涉仪绕X轴转动的X轴调整架、可带动激光干涉仪绕Y轴转动的Y轴调整架以及可带动激光干涉仪在Z轴方向上升降的升降机构，所述激光干涉仪活动连接在所述X轴调整架的中间，所述X轴调整架活动连接在Y轴调整架的中间；
[0013]所述Y轴调整架具有一呈方框形的Y轴调整架主体，所述Y轴调整架主体中与Y轴方向平行的两相对边框分别固定在两侧，与X轴方向平行的其中一边框上通过第一安装座安装有相连接的Y轴电机和减速器，与之相对的另一个边框上通过第一轴承座安装有第一支撑轴，所述减速器和第一支撑轴分别与中间的X轴调整架的两侧进行可转动地连接。
[0014]所述X轴调整架活动地连接在所述Y轴调整架的中间，所述X轴调整架具有一呈方框形、且比Y轴调整架主体方框小的X轴调整架主体，其四个边框与外侧的Y轴调整架的四个边框分别相平行，其中X轴调整架主体与X轴方向平行的两个相对边框上分别设有第二轴承座和第二安装座，所述第二轴承座与所述Y轴调整架上的第一轴承座通过所述第一支撑轴来进行转动连接，所述第二安装座与所述Y轴调整架上的减速器和Y轴电机相连；
[0015]所述X轴调整架主体在与Y轴方向平行的其中一个边框上通过第四安装座安装有X轴电机和与之连接的减速器，另一个相对的边框上安装有第三轴承座，所述X轴调整架主体的方框内活动地连接一托盘，所述托盘的一侧与所述第三轴承座通过第二支撑轴进行转动连接，所述托盘的另一侧通过第三安装座与所述减速器、X轴电机相连，所述激光干涉仪固定在托盘上，所述X轴电机通过减速器驱动所述托盘绕X轴方向转动。
[0016]所述升降机构包括底部连接在所述托盘上的多道垂直设立的升降柱、固定在所述激光干涉仪机身上的固定架、底部连接在托盘上并且与升降柱相平行的一升降螺杆、可沿升降柱和升降螺杆进行上下移动的升降安装座，所述升降安装座支撑在固定架的下方，在所述升降安装座上设有升降主动伞齿轮、升降被动伞齿轮和升降手轮，其中所述升降被动伞齿轮与升降安装座共同安装在升降螺杆上，所述升降主动伞齿轮一方面与所述升降被动伞齿轮啮合，另一方面通过手轮轴与所述升降手轮连接。
[0017]所述喷射机构主要由分立在长平台的台面两侧的两道立柱、横跨在两立柱之间的横梁、设在横梁中间的喷射模组构成，喷射模组包括固定在横梁中间的伺服电机、由伺服电机驱动可垂直上下移动的滚珠丝杆滑台以及安装在滑台底部的喷嘴。
[0018]所述Y轴调整架主体上在所述第一安装座的两侧安装有两个角度限位开关，所述角度限位开关的触头伸出在所述X轴调整架主体的上方；所述X轴调整架主体上在所述第四
安装座的两侧安装有角度限位开关，所述角度限位开关的触头伸出在所述托盘的上方。
[0019]采用上述技术方案后，本专利技术与
技术介绍
相比，具有如下优点：
[0020]1、本专利技术采用激光干涉仪对镜片的加工质量进行原位检测，激光干涉仪是一种高精度、高灵敏度的测量仪器，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量，在高端制造领域应用十分广泛，本专利技术通过激光干涉仪对工件的表面粗糙度等进行测量，并根据测量结果进行精密加工，提高抛光精度，实现纳米精度制造，能够提高产品加工的可靠性和稳定性。
[0021]2、本专利技术将检测装置与加工装置集成为一体，工件通过激光干涉仪进行测量之后可以直接移动到喷射装置下方进行加工，省去了手本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：包括用于装载工件的工作台、用于对工件进行测量的测量机构、用于根据检测结果对工件进行喷射加工的喷射机构以及运动机构，所述工作台活动设置在所述运动机构上，所述测量机构和喷射机构分别设在所述运动机构的两端，所述运动机构驱动所述工作台往复来回移动至所述测量机构和喷射机构下方，使工件分别进行测量和喷射加工。2.如权利要求1所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述运动机构包括一长平台、在所述长平台上可沿Y轴方向平移的Y轴移动平台、可随所述Y轴移动平台共同移动的同时也可以沿X轴方向平移的X轴移动平台以及可分别驱动所述Y轴移动平台和X轴移动平台进行运动的直线电机模组。3.如权利要求2所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：在所述长平台上沿长度方向设有两道Y轴直线导轨，所述Y轴直线导轨的尽头两端分别安装有端部侧板，所述端部侧板在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶，所述直线电机模组驱动所述Y轴移动平台沿所述Y轴直线导轨进行移动。4.如权利要求3所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述Y轴移动平台上固定有一底板，所述底板上沿X轴方向设有两道X轴直线导轨，所述X轴移动平台由所述直线电机模组驱动可沿所述X轴直线导轨上移动，所述X轴移动平台的顶部中间固定有用于夹置工件的工作台，在所述X轴直线导轨尽头的两端分别设有端部侧板，两个端部侧板在朝内的一侧分别通过固定块安装有防撞胶。5.如权利要求4所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：还包括排水系统，其包括安装在所述Y轴移动平台上的防水槽、透明防水罩、集水槽、短水槽以及安装在所述长平台的台面上的长水槽，所述防水槽安装在所述工作台的顶面上，所述防水槽为一可积水的圆盘形状，并且形成中间高、四周低的坡面，在中间最高的位置设有用于安装玻璃镜片的镜片夹具，在四周位于较低处的边缘位置形成数个通往外部的排水口，沿所述防水槽的周边设起垂直的透明防水罩，沿所述工作台的四周形成包围的集水槽，且所述集水槽正好对着多个所述排水口的出水位置，所述集水槽的内部形成倾斜的坡面，在其中的最低一侧形成通往底部的出水口，在所述出水口一侧的下方通过支架安装有短水槽，在所述长平台上通过支架安装有长水槽，所述短水槽倾斜地安装在所述工作台的侧面，并且所述短水槽较高的一头正对所述出水口的下方，较低的另一头导流到长水槽，在所述长水槽的尽头放置储水装置。6.如权利要求5所述的一种新的喷射加工及检测一体化的精密设备，其特征在于：所述测量机构包括激光干涉仪、可带动激光干涉仪绕X轴转动的X轴调整架、可带动激光干涉仪绕Y轴转动的Y轴调整架以及可带动激光干涉仪在Z轴方向上升降的升降机构，所述激光干...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘海鸿，梁旭斌，尤辉，陈旭红，
申请(专利权)人：广西大学，
类型：发明
国别省市：
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