本申请涉及一种真空锁装置，尤其是涉及一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其技术方案要点是：设置在相邻两个腔室之间；包括设置在溅镀室上并与溅镀室连通的真空法兰；真空法兰的一端设置有两个轴线平行设置的外筒，外筒具有弹性，两个外筒的周面之间存在供柔性薄膜通过的空隙；外筒靠近真空法兰的一侧设置有固定在真空法兰端面上的密封筒，密封筒周向的两端固定有与外筒周面贴合并能够相对滑动的挡片；真空锁装置还包括充气组件以及驱动机构；当两个外筒内部充满气体并发生膨胀时，柔性薄膜被压紧在两个外筒之间；达到了在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来的目的。收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来的目的。收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来的目的。
【技术实现步骤摘要】
一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置
[0001]本申请涉及一种真空锁装置，尤其是涉及一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置。
技术介绍
[0002]柔性导电薄膜沉积技术已在柔性触摸屏以及锂电池等行业广泛推广，柔性薄膜通过卷绕镀膜设备在真空环境下完成镀制；相关技术中的卷绕镀膜设备多为一个腔室，即放卷、溅镀以及收卷工艺步骤均在同一个腔室完成，对应的镀膜流程为：溅镀
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破真空
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更换膜卷
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抽真空
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溅镀，如此循环往复；而在这一过程中破真空以及抽真空往往需要耗费较长时间，进而造成镀膜生产效率低下。
[0003]为提高镀膜生产效率，即降低或免除破真空和抽真空时间，这就需要为放卷、溅镀、收卷分别单独设置一个腔室，即依次设置的放卷室、溅镀室以及收卷室；其中，放卷室和收卷室可以根据工艺要求设置为大气状态或低真空环境，溅镀室为高真空环境，且相邻两个腔室之间在可供柔性薄膜以预设的走速通过；为此，如何实现在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收/放卷室低真空环境隔离开来，成为亟需解决的问题。
技术实现思路
[0004]为了在不影响收放卷操作的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来，本申请提供一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置。
[0005]本申请提供的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置采用如下的技术方案：一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，设置在相邻两个腔室之间；包括设置在溅镀室上并与溅镀室连通的真空法兰；真空法兰的一端设置有两个轴线平行设置的外筒，外筒具有弹性，两个外筒的周面之间存在供柔性薄膜通过的空隙；外筒靠近真空法兰的一侧设置有固定在真空法兰端面上的密封筒，密封筒套设在外筒上且密封筒的径向截面形状为圆弧形，密封筒周向的两端固定有与外筒周面贴合并能够相对滑动的挡片；真空锁装置还包括用于向外筒内部充放气的充气组件，以及用于驱动两个外筒相向等速并围绕自身轴线定轴转动的驱动机构；当两个外筒内部充满气体并发生膨胀时，柔性薄膜被压紧在两个外筒之间。
[0006]通过采用上述技术方案，挡片与密封筒的设置将真空法兰背离溅镀室的端面密封起来，防止由于空气通过真空法兰端面的缝隙对溅镀室的真空环境造成影响；当需要向溅镀室内部输入或从溅镀室内部抽出柔性薄膜时，充气组件向外筒内部充气，以使外筒发生膨胀，两个外筒相互靠近的一侧周面进而向相互靠近的方向形变并将位于二者之间的柔性薄膜压紧，两个外筒之间的间隙被消除并仅可供柔性薄膜通过，真空法兰背离溅镀室的一端进而被完全密封；驱动机构驱动两个外筒相向等速转动，进而使得被压紧在二者之间的柔性薄膜被向溅镀室内部或外部输送，实现了柔性薄膜的传输；综上，在不影响收放卷操作
的情况下，能够将溅镀室的高真空环境与收卷室或放卷室的低真空环境隔离开来。
[0007]可选的，驱动机构驱动外筒的周面切向速度等于柔性薄膜的走速；驱动机构包括动力组件以及与密封筒端面固接的端头法兰，端头法兰内部转动连接有两个中心轴,两个中心轴分别与相应的外筒端面同轴固接；每个中心轴上同轴固接有驱动齿轮，两个驱动齿轮相互啮合；动力组件用于驱动驱动齿轮围绕自身轴线定轴转动。
[0008]通过采用上述技术方案，外筒的周面切向速度等于柔性薄膜的走速，可有效可避免柔性薄膜由于速度差而被划伤；动力组件驱动其中一个驱动齿轮定轴转动，该驱动齿轮进而驱动另一驱动齿轮围绕自身轴线定轴转动，两个驱动齿轮进而同速反向转动，并带动相应的外筒同速反向转动，两个外筒进而对夹紧在二者之间的柔性薄膜进行输送，由于放卷室和收卷室对柔性薄膜的输送方向相反，因此仅需要通过调整相应动力组件的动力传输方向即可。
[0009]可选的，外筒内部同轴设置有内筒，中心轴与内筒的端面固接，内筒的周面上开设有多个充气孔，内筒的外壁与外筒的内壁之间存在空隙；充气组件包括同轴转动连接在中心轴内部的进气轴，进气轴与端头法兰之间位置固定，进气轴上开设有与内筒内部连通的中心孔，中心孔连通有气源。
[0010]通过采用上述技术方案，当需要向外筒内部充气时，气源通过中心孔向内筒内部输送气体，气体进而通过充气孔逸至外筒与内筒之间。
[0011]可选的，内筒内部设置有固定在进气轴上的永磁铁，永磁铁沿内筒的轴线方向延伸；永磁铁的两极均沿内筒的径向延伸且两极之间存在夹角；密封筒为导磁刚性材质制成的密封筒，密封筒的内壁与外筒的外壁之间存在空隙并填充有磁液，密封筒的内壁上成型有两个凸起组件，两个凸起组件分别与永磁铁的两极相对设置，凸起组件包括多个沿密封筒周向间隔分布的凸起。
[0012]通过采用上述技术方案，密封筒、两个凸起组件以及永磁铁共同形成一个闭环磁性回路，磁液在该闭环磁性回路的作用下，将集中分布在两个凸起组件所在的位置处，进一步的，磁液将填充在相邻两个凸起以及凸起与外筒之间，进而在外筒以及密封筒之间形成多个密封条，对外筒以及密封筒之间起到进一步的密封作用，进一步防止气体通过外筒与密封筒之间进入到真空法兰内部而对溅镀室的真空环境造成影响。
[0013]可选的，永磁铁的端部与进气轴靠近内筒的一端固定连接。
[0014]通过采用上述技术方案，由于进气轴与端头法兰之间位置固定，进而永磁铁将静置在内筒内部，以使形成的闭环磁性回路固定，位于外筒与密封筒之间的磁液进而能够更加稳定的处于凸起组件所在位置处，即能够使形成在外筒以及密封筒之间的密封条能够起到更稳定的密封效果。
[0015]可选的，中心轴靠近内筒的一端开设有充气腔，充气腔与内筒内部连通；进气轴上开设有贯穿进气轴周面并与中心孔连通的进气孔，进气孔与充气腔连通。
[0016]通过采用上述技术方案，气体能够依次通过中心孔、进气孔以及充气腔进入到内筒内部，为永磁铁安装在进气轴的端面上提供条件。
[0017]可选的，端头法兰背离内筒的一端固定有端头盖，驱动齿轮被罩设在端头盖内部，进气轴贯穿端头盖的端面并向端头盖外部延伸；端头盖上固定有用于夹紧进气轴的卡子。
[0018]通过采用上述技术方案，端头盖对驱动机构的内部零件起到保护作用，提高包括
驱动齿轮等零件在内的使用寿命，此外实现进气轴与端头法兰之间的间接固接。
[0019]可选的，密封筒沿自身周向的两端设置有弹性片，弹性片向背离密封筒轴线的方向隆起；弹性片沿自身周向的一端与挡片固接，另一端与密封筒的外壁固接。
[0020]通过采用上述技术方案，安装弹性片时，使得弹性变存在向靠近密封筒外壁方向的弹性形变，由于弹性片的一端与密封筒的外壁固接，进而弹性片沿自身周向的一端将对挡片作用向靠近外筒方向的压力，进而使挡片更加可靠地贴合在外筒上，防止气体通过外筒与密封筒之间进入到真空法兰内部而对溅镀室的真空环境造成影响。
[0021]可选的，中心轴的周面与端头法兰的内壁之间设置有同轴套设在中心轴上的第一密封件。
[0022]通过采用上述技术方案，第一密封件起到对中心轴与端头法兰之间的密封作用，防止外本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：设置在相邻两个腔室之间；包括设置在溅镀室上并与溅镀室连通的真空法兰(1)；真空法兰(1)的一端设置有两个轴线平行设置的外筒(2)，外筒(2)具有弹性，两个外筒(2)的周面之间存在供柔性薄膜(15)通过的空隙；外筒(2)靠近真空法兰(1)的一侧设置有固定在真空法兰(1)端面上的密封筒(3)，密封筒(3)套设在外筒(2)上且密封筒(3)的径向截面形状为圆弧形，密封筒(3)周向的两端固定有与外筒(2)周面贴合并能够相对滑动的挡片(4)；真空锁装置还包括用于向外筒(2)内部充放气的充气组件(5)，以及用于驱动两个外筒(2)相向等速并围绕自身轴线定轴转动的驱动机构(6)；当两个外筒(2)内部充满气体并发生膨胀时，柔性薄膜(15)被压紧在两个外筒(2)之间。2.根据权利要求1所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：驱动机构(6)驱动外筒(2)的周面切向速度等于柔性薄膜(15)的走速；驱动机构(6)包括动力组件以及与密封筒(3)端面固接的端头法兰(61)，端头法兰(61)内部转动连接有两个中心轴(62),两个中心轴(62)分别与相应的外筒(2)端面同轴固接；每个中心轴(62)上同轴固接有驱动齿轮(63)，两个驱动齿轮(63)相互啮合；动力组件用于驱动驱动齿轮(63)围绕自身轴线定轴转动。3.根据权利要求2所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：外筒(2)内部同轴设置有内筒(7)，中心轴(62)与内筒(7)的端面固接，内筒(7)的周面上开设有多个充气孔(71)，内筒(7)的外壁与外筒(2)的内壁之间存在空隙；充气组件(5)包括同轴转动连接在中心轴(62)内部的进气轴(51)，进气轴(51)与端头法兰(61)之间位置固定，进气轴(51)上开设有与内筒(7)内部连通的中心孔(511)，中心孔(511)连通有气源。4.根据权利要求3所述的一种应用于柔性镀膜设备的真空锁装置，其特征在于：内筒(7)内部设置有固定在进气轴(51)上的永磁铁(9)，永磁...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏艳波，吕明，张艳鹏，孙海荣，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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