一种真空镀膜机废气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机废气处理装置，包括安装箱、处理机构和吸附机构，所述安装箱包括箱体和箱盖，所述箱盖安装在箱体的上端面，且箱盖与箱体转动连接，所述处理机构安装在箱体上，且处理机构与箱体固定连接，所述吸附机构安装在处理机构的下端，且吸附机构与处理机构固定连接，保证使用者需要的时候可以稳定的通过箱体来对处理机构和吸附机构进行安装和保护，并且通过移动轮来保证使用者可以灵活的进行移动设备，进而达到改变废气吸附位置的目的，当使用者确定好合适的位置使用者就可以稳定的开启风机来进行吸附，保证风机可以通过吸气管来进行吸附。以通过吸气管来进行吸附。以通过吸气管来进行吸附。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机废气处理装置


[0001]本技术涉及废气处理设备
，具体为一种真空镀膜机废气处理装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延和PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，而在真空镀膜机使用的环境中往往需要相应的废气处理设备来对周围的环境进行处理，以保证设备作业环境的清洁效果。
[0003]本技术的专利技术人发现，现有的废气处理设备结构简单，在实际使用的过程中不方便使用者根据需要来灵活的进行调整废气吸附位置，这样当不同位置需要的时候无法及时调整，同时传统的废气处理设备如果长时间作业，不方便使用者定期清理和更环保滤网，并且在处理的过程中冷却效果较差，不利于提高设备处理效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种真空镀膜机废气处理装置，旨在改善现有的废气处理设备结构简单，在实际使用的过程中不方便使用者根据需要来灵活的进行调整废气吸附位置，这样当不同位置需要的时候无法及时调整，同时传统的废气处理设备如果长时间作业，不方便使用者定期清理和更环保滤网，并且在处理的过程中冷却效果较差，不利于提高设备处理效率的问题。
[0005]本技术是这样实现的：
[0006]一种真空镀膜机废气处理装置，包括安装箱、处理机构和吸附机构，所述安装箱包括箱体和箱盖，所述箱盖安装在箱体的上端面，且箱盖与箱体转动连接，所述处理机构安装在箱体上，且处理机构与箱体固定连接，所述吸附机构安装在处理机构的下端，且吸附机构与处理机构固定连接，解决了现有的废气处理设备结构简单，在实际使用的过程中不方便使用者根据需要来灵活的进行调整废气吸附位置，这样当不同位置需要的时候无法及时调整，同时传统的废气处理设备如果长时间作业，不方便使用者定期清理和更环保滤网，并且在处理的过程中冷却效果较差，不利于提高设备处理效率的问题。
[0007]进一步的，所述处理机构包括外环和导流管，所述外环固定安装在导流管的头部，且外环沿环形方向均匀的设置有若干进气槽，所述导流管上均匀的设置有若干散热片，所述散热片与导流管垂直固定连接，通过对处理机构的结构设置来保证使用者可以稳定的通过外环来吸附气体，同时通过导流管来保证废气可以弯折流动，以便于通过散热片更好的进行散热处理。
[0008]进一步的，所述外环的头部安装有过滤环，所述过滤环的后端面安装有滤网，且过滤环与外环可拆卸固定连接，通过对过滤环的设置来保证安装在外环的头部，保证通过滤网来初步进行过滤废气，方便使用者定期更换过滤环既可保证设备的过滤效果。
[0009]进一步的，所述箱体的内部还设置有处理箱，所述处理箱与箱体固定连接，且处理
箱的外侧还设置有排气口，通过对处理箱的设置来保证存储冷却后的废气，便于使用者在内部安装相应的净化设备来进行处理作业，同时通过对排气口的设置来保证处理后的废气可以稳定的排出设备。
[0010]进一步的，所述吸附机构包括风机、吸气管和排气管，所述风机通过吸气管与导流管相连接，且风机通过排气管与处理箱相连接，通过对吸附机构的结构设置来保证使用者可以稳定的控制风机来进行吸附废气的目的。
[0011]进一步的，所述箱体的下端面对称设置有移动轮，所述移动轮与箱体转动连接，通过对移动轮的设置来保证使用者可以稳定的移动设备进行位置调整的目的。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过对传统的废气处理设备结构和使用过程加以研究，设计出一种真空镀膜机废气处理装置，保证使用者需要的时候可以稳定的通过箱体来对处理机构和吸附机构进行安装和保护，并且通过移动轮来保证使用者可以灵活的进行移动设备，进而达到改变废气吸附位置的目的，当使用者确定好合适的位置使用者就可以稳定的开启风机来进行吸附，保证风机可以通过吸气管来进行吸附，而吸气管就可以通过处理机构来对外部进行吸附处理，在需要外环进行吸附的时候需要在外环的前端安装滤网，这样需要处理的空气可以稳定的进入到过滤环的内部，然后通过滤网进行过滤，保证废气中的杂质可以留在滤网的内部，接着气体从进气槽中稳定的经过外环到达导流管，而废气在导流管流动的过程中可以通过散热片来实时的进行散热处理，降温后的废气可以通过吸附机构来进入到到处理箱的内部，方便使用者可以根据不同废气的成分来选择在处理箱的内部固定安装相应的处理设备，最后将处理后的废气从排气口中排出。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0014]图1是本技术装置的立体图；
[0015]图2是图1所示装置的左视图；
[0016]图3是图2所示装置沿A
‑
A方向的剖视图；
[0017]图4是图1所示安装箱的结构示意图；
[0018]图5是图4所示装置的左视图；
[0019]图6是图5所示装置沿B
‑
B方向的剖视图；
[0020]图7是图1所示过滤环的结构示意图；
[0021]图8是图1所示滤网的结构示意图；
[0022]图9是图1所示处理机构的结构示意图。
[0023]图中：1、安装箱；11、箱体；111、处理箱；112、排气口； 113、移动轮；12、箱盖；2、处理机构；21、外环；210、进气槽；211、过滤环；212、滤网；22、导流管；221、散热片；3、吸附机构；31、风机；32、吸气管；33、排气管。
具体实施方式
[0024]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。
[0025]参照图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8和图 9所示，一种真空镀膜机废气处理装置，包括安装箱1、处理机构2和吸附机构3，安装箱1包括箱体11和箱盖12，箱盖12 安装在箱体11的上端面，且箱盖12与箱体11转动连接，通过对传统的废气处理设备结构和使用过程加以研究，设计出一种真空镀膜机废气处理装置，保证使用者需要的时候可以稳定的通过箱体11来对处理机构2和吸附机构3进行安装和保护，并且通过移动轮113来保证使用者可以灵活的进行移动设备，进而达到改变废气吸附位置的目的，当使用者确定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机废气处理装置，包括安装箱（1）、处理机构（2）和吸附机构（3），其特征在于：所述安装箱（1）包括箱体（11）和箱盖（12），所述箱盖（12）安装在箱体（11）的上端面，且箱盖（12）与箱体（11）转动连接，所述处理机构（2）安装在箱体（11）上，且处理机构（2）与箱体（11）固定连接，所述吸附机构（3）安装在处理机构（2）的下端，且吸附机构（3）与处理机构（2）固定连接。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机废气处理装置，其特征在于，所述处理机构（2）包括外环（21）和导流管（22），所述外环（21）固定安装在导流管（22）的头部，且外环（21）沿环形方向均匀的设置有若干进气槽（210），所述导流管（22）上均匀的设置有若干散热片（221），所述散热片（221）与导流管（22）垂直固定连接。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机废气处理装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：张勇军，王伟，卢成，
申请(专利权)人：四川锦成国泰真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：