孔眼和／或空腔呈一定图形的电绝缘材料板的制造方法技术

给特别硬而脆的材料制成的电绝缘板配备上一个具有大量呈一定图形的孔眼的掩模，然后将其暴露在至少一股磨料粉粒的喷射流中，令该喷射流相对于电绝缘板运动。这样就制成了孔眼和／或空腔呈一定图形的板，这些孔眼和／或空腔特别适宜控制电子显示器中的电子流。按这种方式制造出来的板可用作例如电子显示器中的控制板、隔板或电子输送沟道板。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种制造具有多个按一定图形排列的孔眼和/或空腔的电绝缘材料板的一种制造方法。这类具体可以由诸如玻璃或陶瓷材料之类的硬脆材料制成的板，特别是可用于象等离子体显示器之类的发光气体放电显示器中，可用于场致发射显示器、阴极射线显示器中和用于那种电子是在沟壁系由电绝缘材料制成的沟道中传播的显示器(叫做绝缘电子沟道显示器)中，其中小孔眼或空腔供控制电子电流之用。这些多孔板可以制成(多孔眼)控制板的形式，且配备以(可寻址的)与各孔眼配合工作的若干电极，制成具有多个平行空腔(输送沟道)的输送板的形式或制成多孔隔板(例如发光显示器控制板与发光屏之间的隔板)。此外，还可以在例如压力传感器中用作有多个穿孔的电绝缘材料薄片。美国专利3，956，667叙述了一种发光气体放电显示器。这种显示器需要有一个控制板来控制各象素。该控制板把这类显示器的内空间分成两个区域等离子体区和后加速区。控制板由穿孔玻璃板构成，穿孔玻璃板的一侧有一列线条，另一侧有一列金属导电线或电极围绕着或沿各孔眼延伸。这些电极使电子可以有选择地从等离子体区通过各孔眼抽到后加速区，并使电子入射到发光屏上。在控制板的情况下，上述那种板上孔眼的数目由所要求的象素数确定。目前的电视行扫描图形采用大约500×700个象素，各象素的水平间距为0.5毫米，垂直间隔为0.7毫米。这些象素确定了待开设在电绝缘材料控制板上的孔眼图形。这些孔眼一般是通过化学腐蚀(液蚀、气相蚀)开设的。然而采用标准材料和化学腐蚀法时，板厚、孔眼直径和孔眼间距不能彼此独立地加以选择。此外，若待腐蚀的板上设有金属线路，则线路底下的玻璃受钻蚀时，则可能会有线路从玻璃上松脱掉的风险。此外，板较厚(大约200微米，特别是厚度大于400微米)时，采用化学腐蚀要达到所要求的精确度有困难。本专利技术的目的是提供一种制板的(最好是简单的)方法，这种方法特别适用于前述用场，且可以调定使电绝缘板有涂敷(例如金属化)或无涂敷层上的空腔和/或孔眼图形达到要求所要求的许多参数。因此，本专利技术的方法的特征在于，图形是通过下列各工序形成的-产生至少一股磨料粉喷射流;-将该喷射流喷射到板表面;-将该喷射流冲击到板表面的部位限制到一定的范围。-令喷射流相对于板表面运动。与现有技术的腐蚀工艺相比较，采用这种磨料粉喷射工艺在电绝缘材料板上形成孔眼图形具有这样的好处，即可以利用大量的参数，其中特别是，磨料的类型、粒度、磨料粒喷嘴孔经、喷嘴/板间距、料粒传送介质压力、喷嘴的运动、喷嘴与板之间的相对运动速度等等。我们发现，改变这些参数可以制造其孔眼和/或空腔图形合乎显示器使用要求的板。在显示器的孔眼多而密集的电绝缘多孔板上形成图形，从化学腐蚀工艺转而采用粉粒喷射工艺这一措施看来给显示器制造业带来了许多意外的优点。要使喷射流只冲击到范围一定的部位，可以将喷射流的直径限制到一定的范围，并令喷射流横扫板表面，形成槽形孔或沟道。要形成大量孔眼的图形时，本专利技术则采用掩模。(采用掩模对形成上述槽形孔和沟道也有好处。)所使用的掩模可以由例如具一定图形的光致抗蚀剂或合成材料制成。我们发现，采用穿孔的(特别是金属)板作为掩模特别合适。这种板可以在多种场合使用许多次，特别是板上可先加上保护涂层时更是如此。采用独立的金属板或合成材料板作为掩模时，应将掩模粘附到待喷射的板上，这样做有好处。为此可采用易清除的粘结剂。另一种有意思的作法是采用可磁化的金属(例如Fe)板，将其借助于在待喷射的金属板另一侧产生的磁场“粘附”到待喷射的金属板上。采用电磁铁时，不难加上和除去磁吸力。在喷射过程中，最大限度地防止掩模因局部脱落致使粉粒跑到掩模底侧从而可能伤及不待喷射的部分(这叫做底侧喷射)，粘结是非常重要。参看下面所述的一些实施例即可清楚了解本专利技术的上述和其它各方面。附图中附图说明图1是配备有穿孔掩模的一个板的剖视图;图2是配备有保护涂层的穿孔掩膜的剖视图;图3是场致发射显示器的剖视图;图4a是绝缘电子沟道显示器的立面图;图4b是绝缘电子沟道显示器的剖视图;图5是气体放电显示器的剖视图;图6是平板显示器的部件分解图;图7和8图示出如何用粉粒喷射装置在板上形成孔眼图形;图9A、9B和9C示出了本专利技术按这种方式形成的各种孔眼图形。图10A和10B示出在板的两面上形成空腔图形。图11A和11B示出了如何将“三个板合成一个板”。图12示出喷嘴安置在具有旋转点的夹具中。各种不同类型的(电致发光)显示器需要采用孔眼和/或空腔图形非常精确的电绝缘控制板、输送板和/或隔板。板厚可以在200和5000微米之间，特别是200与700微米之间。孔眼或空腔的深度可以在50与5000微米之间。这些应用场合的特有材料为玻璃或陶瓷材料。图1是配备有金属掩模2的这种板1的剖视图。适用的金属为那些易于腐蚀的金属。用本专利技术的磨料粉喷射工艺轻轻冲击Fe掩模，以便在板1上形成孔眼3。另一种可采用的材料是(不锈)钢或殷钢合金(NiFe)。掩模也可以不采用金属掩模(这种掩模的好处是可以使用好几次，例如几十次)而采用清漆模(例如丝网印刷技术中使用的清漆)或合成材料掩模(例如紫外光敏合成材料)。金属掩模2可设保护涂层(图2)，例如可用电解法镀上的镍或铬层或汽相淀积的铝层。不然也可以形成合成材料涂层。可以借助于粘结层与将一个未固定的掩模粘结到板1上以防在粉粒喷射过程中局部脱落。粘结层与可由水溶性粘结剂(例如以葡萄糖为主要原料的粘结剂)组成。这类粘结剂不难制备，造价使宜，且使用完毕之后要清除也简单。掩模2也可以由磁性材料制成，用磁场“粘附”到板1上。在图1的实施例中，板1上用虚线表示的孔眼3略呈锥形。板在场致发射显示器中用作内真空支架(隔板)时，这种孔眼形状通常用以形成其壁平行的柱形孔眼或空腔。圆柱形孔眼适用作例如绝缘电子沟道显示器中控制板与发光屏之间的隔板。图3是场致发射显示器的示意剖视图，该显示器有一个衬底40、锥形发射尖端41、带孔43的隔板42和前壁45连同发光屏44。隔板42用本专利技术的方法制造有好处。图4a是欧洲专利EP-A-400，750中所述的绝缘电子沟道显示器6的示意立面图，图4b为该显示器的剖视图。这种显示器有多个绝缘板10a、10b、10c、10d，在绝缘板的透明面板7与后壁14之间有许多有规则的孔眼图形。面板内表面上设有发光屏15。毗邻该发光屏有一个界面隔板10d，厚约1毫米，孔眼的数目为1×106个，与发光屏15上的发光区(彩色点)的数目相对应。各彩色点由预选板10a和细选板10c寻址，该两板由例如玻璃制成，厚度为0.5毫米。在此情况下，板10c的图形由孔眼三色组R、G、B组成。板10c上的各孔眼例如逐行由金属细选电极13、13′、13″……加以激励。这些电极可以在各孔眼形成之后设置，同时还可以对各孔眼壁进行金属化，另一种方法是可先设置细选电极。隔板结构10b将预选板10a与细选板10c隔离开来，在此情况下，该隔板结构是(大)孔板，孔板的各孔眼将预选板10a上的命名如350，000个孔眼8、8′各个与细选板10c上的多个孔眼连通。预选板10a设有预选电极9、9′……，供例如逐行激励与输送沟道11、11′、11″……连通的孔眼8、8′(也参看图4a)之用。输送沟道11、11′、11″……在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造具有多个按一定图形排列的孔眼和／或空腔的电绝缘板的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：－产生至少一股磨料粉粒喷射流；－将喷射流喷射到板表面；－将喷射流冲击到板表面的部位限制在一定的区域；－进行喷射流和板之间的相对运动。

【技术特征摘要】
EP 1992-3-23 92200829.7;EP 1993-2-16 93200420.31.一种制造具有多个按一定图形排列的孔眼和/或空腔的电绝缘板的方法，其特征在于，该方法包括下列步骤-产生至少一股磨料粉粒喷射流；-将喷射流喷射到板表面；-将喷射流冲击到板表面的部位限制在一定的区域；-进行喷射流和板之间的相对运动。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，用一个掩横将喷射流冲击表面的部位限制在一定的区域。3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，将一块穿孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：FCM迪哈斯，FMH范拉尔霍芬，JG范比克，
申请(专利权)人：皇家菲利浦电子有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]