制造彩色阴极射线管荧光屏的方法和系统技术方案

本发明专利技术公开了一种曝光系统，它包括一个用于对玻璃面板（７）进行曝光的母掩模（１０），用以在玻璃面板（７）内表面上形成多个荧光条或点，其中母掩模（１０）和／或一光源（２）可移动，以便校正曝光位置，从而在通过曝光在玻璃面板（７）内表面上形成荧光屏时，免除了将选色机构（９）安装至玻璃面板（７）和从其上拆除的需要。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及制造彩色阴极射线管的荧光屏的方法，更具体地讲是涉及彩色阴极射线管的荧光屏的效率和质量的改进。本专利技术还涉及用于制造彩色阴极射线管的荧光屏的曝光系统。附图说明图13是制造彩色阴极射线管的荧光屏所用的现有曝光系统的剖视图。在图13中，参考数字1表示用于支撑该曝光系统的构件的盒状基体；数字2表示设置于盒状基体1中并包括一个汞灯的光源；数字3表示光强校正滤光片，它固定在盒状基体1中，用于调整光源2射出的光通量分布；数字4表示第一校正透镜，它固定在盒状基体1中，用于校正曝光光束的光路，从而校正侧边电子束的轰击位置；数字5表示固定在盒状基体1中的第二校正透镜，它用于校正曝光光束的光路，以校正电子束的轰击位置；数字6表示位于盒状基体1的开口中的罩玻璃，用于容许来自于光源2的光穿过并用于防尘；数字7表示要被曝光的玻璃面板；数字8表示盒状基体1顶部的支撑部分，用于支撑玻璃面板7；数字9表示选色机构(例如荫罩)，它与玻璃面板7一一对应并安装在玻璃面板7的内表面上。第一校正透镜4和第二校正透镜5组成一个光路校正透镜系统。玻璃面板7装在彩色阴极射线管前部。虽然图13中未示出，但罩玻璃6是由受于驱动而旋转的，以防止由于尘物引起的曝光故障。下面描述制造荧光屏的方法。首先形成黑色基底。清洗玻璃面板7并使之干燥，以除去其表面上的湿气。为形成光致抗蚀剂膜，将光致抗蚀剂材料涂敷至玻璃面板7上并使之干燥。在选色机构9安装至玻璃面板7的内表面上的情况下，使玻璃面板7上的光致抗蚀剂曝光。为进行曝光，使其中装有选色机构的玻璃面板7置于图13中所示的曝光系统上。玻璃面板7与选色机构9一一对应。从光源2射出的光由光强校正滤光片3进行光通量分布调整，尔后由包括第一校正透镜4和第二校正透镜5的透镜系统进行光路校正。随后，光穿过罩玻璃6和选色机构9中的槽或点并到达玻璃面板7的内表面上的适当位置。曝光之后，取下选色机构9，并使玻璃面板7上的光致抗蚀剂膜显影。在玻璃面板7上形成石墨膜并蚀刻。这就制成了黑色基底。然后形成荧光条或点。在其上形成了黑色基底的玻璃面板7上涂敷可发绿光的荧光材料。将选色机构9安装在玻璃面板7的内表面上，并以与形成黑色基底相同的方式对玻璃面板7上的荧光材料进行曝光和显影。对发蓝光和红光的荧光材料进行相同的操作。尔后在玻璃面板7上涂漆并淀积铝。这样就制成了荧光屏。应当指出的是，在该曝光系统中的光路校正是通过光源2的位置变化以及包括第一校正透镜4和第二校正透镜5的透镜系统实现的。在现有的制造彩色阴极射线管的荧光屏的方法及其所用的现有曝光系统中，每一次为形成荧光层和黑色基底层而对玻璃面板曝光时，均要将选色机构9安装至玻璃面板7上并再从玻璃面板7卸下。多次将选色机构9安装至玻璃面板7并再从面板7上卸下会使其相对于玻璃面板7偏移，这使得要形成的荧光层和黑色基底层具有低的再现性，并导致以下不良结果黑色基底层和荧光层之间的相对位置失调、由于选色机构9的装卸造成的故障、以及由于装卸时间造成的工作时间浪费。例如，黑色基底层和荧光层之间具有严重的位置失调的荧光屏只能作为不合格品废弃，而具有轻度的相对位置失调的荧光屏则需要在除去黑色基底层和荧光层之后重新制备。本专利技术的目的是要提供一种制造彩色阴极射线管的荧光屏的方法，该方法是通过在彩色阴极射线管的面板的内表面上形成多个荧光条或多个荧光点实现的。根据本专利技术的第一方面，该方法包括以下步骤(a)为使多个荧光条或点形成在彩色阴极射线管的预定位置上，调整通过曝光系统中位置可调的母掩模投影至面板上的多个条或点的位置；和(b)为形成多个荧光条或点，将面板装入曝光系统中，以对面板进行曝光。根据本专利技术的第二方面，优选方式是，步骤(a)包括对于多个第一曝光系统的每一个调整多个条或点的位置的步骤，多个第一曝光系统包括分别对应于不同发光颜色的荧光层的具有不同构形的荧光层母掩模，并且除荧光层母掩模外具有相同构造，多个条或点通过多个第一曝光系统的荧光层母掩模投影至面板上；而步骤(b)包括将一个面板依次安装在多个第一曝光系统中的步骤，以便由多个第一曝光系统对面板曝光。根据本专利技术的第三方面，优选方式是，步骤(a)还包括通过一个第二曝光系统的一个黑色基底母掩模调整投影至面板上的多个条或点的位置的步骤，第二曝光系统包括黑色基底母掩模，并且除多个第一曝光系统的荧光层母掩模和此黑色基底母掩模外，具有与第一曝光系统相同的构造；而步骤(b)还包括将面板安装至第二曝光系统中以对面板曝光的步骤。根据本专利技术的第四方面，优选方法是，在步骤(a)和(b)中采用的曝光系统的母掩模具有预定曲度。根据本专利技术的第五方面，优选方法是，在步骤(a)和(b)中采用的曝光系统的母掩模具有平的主表面。根据本专利技术的第六方面，在步骤(a)和(b)中所用的曝光系统的预定位置中，母掩模具有一个槽或点的阵列，此条或点的阵列是由要投影在面板的内表面上的条或点阵列以及曝光系统的光源的位置决定的。根据本专利技术的第七方面，在步骤(a)和(b)中所用的曝光系统的预定位置中，母掩模具有一个槽或点的阵列，此条或点的阵列是由通过彩色阴极射线管的选色机构的一个槽或点的阵列投影至面板的内表面上的条或点的阵列以及曝光系统的光源的位置决定的。根据本专利技术的第八方面，优选方式是，在步骤(a)中投影至面板上的多个荧光条或点的位置调整包括通过使母掩模在下列方向上移动实现的调整垂直于母掩模的一主表面的方向、母掩模的主表面中的第一方向、主表面内与第一方向垂直的第二方向、以及主表面内的旋转方向。根据本专利技术的第九方面，优选方式是，在步骤(a)中投影至面板上的多个条或点的位置调整包括通过使曝光系统的光源在下列方向上移动实现的调整垂直于母掩模的一主表面的方向、平行于母掩模的主表面的第一方向、以及平行于主表面且垂直于第一方向的第二方向。根据本专利技术的第十方面，优选方式是，在步骤(a)中投影至面板上的多个条或点的位置调整包括通过曝光系统的校正透镜实现的调整，用以校正曝光光束的光路，从而校正束轰击位置。根据本专利技术的第十一方面，优选方式是，该方法进一步包括以下步骤通过固定在面板内预定位置中的摄象装置，确定选色机构的预定槽或点的位置，并通过该摄象装置确定的在面板内表面上的由母掩模形成的荧光条或点的位置，以通过在两个位置的数值之间进行比较来计算偏移量。根据本专利技术的第十二方面，优选方式是，在步骤(a)和(b)中采用的曝光系统的母掩模包括用于使面板曝光的黑色基底母掩模，以形成黑色基底，在步骤(b)中在形成黑色基底之后，通过封闭黑色基底母掩模的预定部分，采用黑色基底母掩模对面板曝光，以形成荧光层。根据本专利技术的第十三方面，优选方式是，在步骤(a)和(b)中采用的曝光系统的光源为表面光源。根据本专利技术的第十四方面，优选方式是，步骤(a)包括调整一个第一曝光系统的一个复用母掩模的位置的步骤，复用母掩模用于形成对应多种发光颜色的荧光层，而步骤(b)包括将面板安装在第一曝光系统中并顺序地移动投影至面板内表面上的图象的位置的步骤，以便通过复用母掩模投影至面板内表面上的图象与用于多种发光颜色的荧光屏相对应，并顺序对面板曝光而形成不同荧光层。根据本专利技术的第十五方面，优选方式是，投影至面板内表面上的与用于多种发光颜色的荧光屏相对应的图象的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造彩色阴极射线管的荧光屏的方法，此荧光屏是通过在彩色阴极射线管的面板的内表面上形成多个荧光条或多个荧光点制成的，所述方法包括以下步骤：（ａ）为使所述的多个荧光条或点形成在所述彩色阴极射线管的预定位置上，调整通过曝光系统中位置可调的 母掩模投射至所述面板上的多个条或点的位置；和（ｂ）为形成所述的多个荧光条或点，将所述面板装在所述曝光系统中，以便对所述面板进行曝光。

【技术特征摘要】
JP 1995-1-18 006012/951.一种制造彩色阴极射线管的荧光屏的方法，此荧光屏是通过在彩色阴极射线管的面板的内表面上形成多个荧光条或多个荧光点制成的，所述方法包括以下步骤(a)为使所述的多个荧光条或点形成在所述彩色阴极射线管的预定位置上，调整通过曝光系统中位置可调的母掩模投射至所述面板上的多个条或点的位置；和(b)为形成所述的多个荧光条或点，将所述面板装在所述曝光系统中，以便对所述面板进行曝光。2.根据权利要求1的方法，其特征在于，其中所述步骤(a)包括对于多个第一曝光系统的每一个对所述的多个条或点的位置进行调整的步骤，所述的多个第一曝光系统包括分别对应于不同发光颜色的荧光层的具有不同构形的荧光层母掩模，并且除所述荧光层母掩模外具有相同构造，所述的多个条或点通过所述的多个第一曝光系统的所述荧光层母掩模投射至所述面板上；和其中所述步骤(b)包括将一个面板按顺序安装在所述的多个第一曝光系统中的步骤，以便由所述的多个第一曝光系统对所述面板曝光。3.根据权利要求2的方法，其特征在于，其中所述步骤(a)还包括对通过一个第二曝光系统的一黑色基底母掩模投影至所述面板上的所述多个条或点的位置进行调整的步骤，所述第二曝光系统包括所述黑色基底母掩模，并且除所述的多个第一曝光系统的所述荧光层母掩模和所述的黑色基底母掩模之外具有与所述的第一曝光系统相同的构造；和其中所述步骤(b)还包括将所述面板安装至所述第二曝光系统中以对所述面板曝光的步骤。4.根据权利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步骤(a)和(b)中采用的所述曝光系统的所述母掩模具有预定曲度。5.根据权利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步骤(a)和(b)中采用的所述曝光系统的所述母掩模具有平坦的主表面。6.根据权利要求1的方法，其特征在于，其中所述母掩模在步骤(a)和(b)中所用的所述曝光系统的预定位置中具有一个槽或点的阵列，所述条或点的阵列是由投影在所述面板的内表面上的条或点的阵列以及所述曝光系统的光源的位置决定的。7.根据权利要求1的方法，其特征在于，其中所述母掩模在步骤(a)和(b)中所用的所述曝光系统的预定位置中具有一个槽或点的阵列，所述条或点的阵列是由通过所述彩色阴极射线管中的选色机构的一个槽或点的阵列投影至所述面板的内表面上的条或点的阵列和所述曝光系统的光源的位置决定的。8.根据权利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步骤(a)中投影至所述面板上的所述的多个荧光条或点的位置调整包括通过使所述母掩模在下列方向移动而实现的调整垂直于所述母掩模的一个主表面的方向、所述母掩模的所述主表面中的第一方向、在所述母掩模的所述主表面中并与所述第一方向正交的第二方向、以及在所述主表面内的旋转方向。9.根据权利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步骤(a)中投影至所述面板上的所述的多个条或点的位置调整包括通过使所述曝光系统的一个光源在下列方向上移动而实现的调整垂直于所述母掩模的一个主表面的方向、平行于所述母掩模的所述主表面的第一方向、以及平行于所述主表面且垂直于所述第一方向的第二方向。10.根据权利要求1的方法，其特征在于其中在所述步骤(a)中投影至所述面板上的所述的多个条或点的位置调整包括通过所述曝光系统的校正透镜实现的调整，用以校正曝光光束的光路，从而校正束轰击位置。11.根据权利要求1的方法，其特征在于，还包括以下步骤通过固定在所述面板内预定位置中的摄象装置，确定选色机构的预定槽或点的位置，并通过所述摄象装置，确定通过设在所述面板的所述内表面上的所述母掩模而形成的荧光条或点的位置，以便对两个位置的数值之间进行比较而计算偏移量。12.根据权利要求1的方法，其特征在于，其中在所述步骤(a)和(b)中采用的所述曝光系统的所述母掩模包括用于使所述面板曝光的一个...

【专利技术属性】
技术研发人员：北条实，小林弘男，井之上章，井桁俊一，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]