复合蒸发淀积膜的生产方法与复合蒸发淀积材料及其生产方法技术

其中一个面适合在ＣＲＴ如彩色电视显像管的荧光表面上蒸发淀积并且具有高光反射率、而另个一面具有吸收辐射热的性质的复合蒸发淀积薄膜的生产方法，和适合真空淀积的复合蒸发淀积材料的生产方法。复合蒸发淀积材料具有高蒸汽压金属外壳和处在该外壳核心区域中的低蒸汽压金属。低蒸汽压金属粉末优选地被高蒸汽压金属粉末分散在和被保持在该外壳核心区域中。采用这种复合蒸发淀积材料进行真空淀积得到在蒸发开始与最后阶段组成不同的复合淀积薄膜。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及采用连续真空蒸发淀积法在蒸发开始与最后阶段生成的具有不同薄膜组成的复合蒸发淀积薄膜的生产方法，以及适于在真空蒸发淀积中使用的复合蒸发淀积材料。更具体地，本专利技术涉及一种如在像彩色电视显像管之类的阴极-射线管荧光表面上提供的光反射薄膜与光吸收薄膜中见到的其组成有很大差别的复合蒸发淀积薄膜的生产方法，以及适于在真空蒸发淀积中使用的复合蒸发淀积材料。目前需要采用连续真空蒸发淀积法制造多种具有不同性质的层合蒸发淀积薄膜。在如彩色电视显像管之类的阴极-射线管中，例如将三种颜色荧光粉在荧光屏内表面上涂成点状或条状花样，在荧光涂层上，即在与荧光屏相反的表面上形成如铝之类具有高光反射率的薄膜层，因此在荧光粉发射出的可见光中到达CRT内的光被铝薄膜层反射，从而增加到达荧光屏前表面的光量。在淀积的涂荧光粉的荧光屏表面的后面是阴罩或荫罩，它起着选色电极的作用，保持电子枪的每个电子束在荧光屏上仅能撞击所需要彩色荧光点的位置。这些电极允许约20％电子束通过阴罩到达涂荧光粉的表面一侧，同时余下80％被屏蔽了。被屏蔽的80％电子束使选色电极的温度升高。温度升高导致选色电极热辐射，这种热辐射集中在最近的涂荧光粉的表面，而大部分热被在涂荧光粉的荧光屏上的背面敷铝反射。因为被反射的热又达到选色电极，所以又促使电极温度升高。随着温度升高，选色电极可能因热膨胀而变形，因此导致电子束偏离中心线。以前为应付这种情况而做的努力包括如US 3 703 401中公开的，在荧光粉表面的铝薄膜层表面上涂碳涂层，因此选色电极的辐射热可能由于碳涂层的吸热作用而被吸收。但是，碳涂层必须在将其溶于如有机溶剂之类的溶剂之后再喷洒。此外，这种喷洒涂层与将铝真空蒸发淀积在荧光粉表面上的过程分开进行。这样使得这种方法很复杂，也很棘手，并且无法进行连续操作。当碳或铬(这两者都具有吸收辐射热的性质)与具有高光反射率的铝一起进行真空蒸发淀积时，可以预料由于铝与碳或铬之间的蒸汽压差，在蒸发淀积的开始阶段生成具有富铝组成的复合蒸发淀积薄膜，而在最后阶段生成富碳或铬的组成。然而，在开始阶段生成的富铝组成由于其高碳或铬含量而具有很低的光反射率。另一方面，在最后阶段生成的富碳或铬组成含有大量的铝，因此导致辐射热吸收能力不高。为应付这种情况，首先通过将作为开始蒸发淀积材料的铝片放在蒸发盘上生成蒸发淀积薄膜，然后通过放置如碳或铬之类的蒸发淀积材料，即与在蒸发盘上的开始蒸发淀积材料不同的材料，继续蒸发，可以得到具有双层结构的由完全不同成分组成的蒸发淀积薄膜。但是这涉及两种分开的蒸发淀积过程。因此，本专利技术的第一个目的是提供一种在连续真空蒸发淀积过程中在蒸发淀积开始阶段与最后阶段生成的具有不同薄膜组成的复合蒸发淀积薄膜的制造方法。本专利技术另一目的是提供复合蒸发淀积材料，该材料适于制造在蒸发淀积开始阶段与最后阶段生成的具有不同薄膜组成的复合蒸发淀积薄膜。本专利技术另一目的是提供含有难以拉伸的金属、合金、它们的氧化物或它们的混合物的伸长复合蒸发淀积材料。本专利技术另一目的是提供可以很容易自动送到真空蒸发淀积装置中的复合蒸发淀积材料。本专利技术另一目的是提供一种制造复合蒸发淀积材料的方法。因此，根据本专利技术，在蒸发淀积开始阶段与最后阶段生成的具有不同薄膜成分的复合蒸发淀积薄膜制造方法，涉及在减压下加热具有高蒸汽压金属体和被保持在该金属体核心区域内的低蒸汽压金属的复合蒸发淀积材料，然后蒸发高蒸汽压金属和低蒸汽压金属，使其淀积在被淀积的基体上。在本说明书中，当不同的金属在同样的真空度下加热时，高蒸汽压金属定义为在较低温度下蒸发的金属，低蒸汽压金属定义为被加热到较高温度才会蒸发的金属。低蒸汽压金属可以是被高蒸汽压金属粉末保持与分散在复合蒸发淀积材料高蒸汽压金属体核心区域中的粉末。高蒸汽压金属体优选地应该与高蒸汽压金属粉末所使用的金属相同，更优选地是铝或它的合金。高蒸汽压金属的延展性优选地应该高于低蒸汽压金属。低蒸汽压金属粉末可以是至少任何一种选自碳、硅、铬、镍、铁、钴、钛、铼、钨与钒的元素。低蒸汽压金属可以是在复合蒸发淀积材料中被具有较高蒸汽压和较高延展性的金属外壳包裹的块。高蒸汽压金属优选地应该是铝或它的合金，而低蒸汽压块状金属优选是至少任何一种选自铍、锡、金、铁、钴、镍、钛、铂、铑、铌、钽、铼和钨的元素。这种复合蒸发淀积材料可以有装入核心区域的优选是铌、钽、铼或钨的更低蒸汽压金属箔或层。本专利技术复合蒸发淀积材料具有复合结构，其中其内有空腔的高蒸汽压金属外壳和填充到该空腔中的高蒸汽压金属与低蒸汽压金属混合物被整体冷加工，从而使低蒸汽压金属粉末被高蒸汽压金属粉末分散和保持在高蒸汽压金属体核心区域内。本专利技术复合蒸发淀积材料的制造方法包括一个获得复合结构的过程，其中通过高蒸汽压金属粉末与更低蒸汽压金属粉末混合，将该混合粉末填充到高蒸汽压金属外壳中，以及采用冷加工减小外壳直径，将低蒸汽压金属粉末分散在外壳核心区域中。这里使用的高蒸汽压金属优选地应该是铝或铝合金。冷加工优选地应该是冷拔丝。冷拔丝中总压下率优选地应该不小于75％。混合物粉末的休止角优选地应该不大于45度。在本专利技术复合蒸发淀积材料的制造方法中，许多冷-拔铝或铝合金外壳端，其中包括封闭端可以切掉，如此得到的外壳可以在切割部分通过焊接将彼此连接起来，以便进一步冷拔丝。附图简要描述附图说明图1是本专利技术第一实施方案的复合蒸发淀积材料透视图；图2是本专利技术第一实施方案的复合蒸发淀积材料截面图；图3是说明本专利技术复合材料生产方法的辅助框图；图4是说明本专利技术复合材料生产方法的辅助示意图；图5是本专利技术另一实施方案的复合蒸发淀积材料透视图；图6是本专利技术另一实施方案的复合蒸发淀积材料透视图；图7是说明在用于生产本专利技术复合材料的冷拔丝方法相继步骤中，模腔直径Rd(毫米)和压下率Red(％)之间关系图；图8是说明使用本专利技术复合材料和对比复合蒸发淀积材料淀积的淀积薄膜中铝含量(％)与淀积薄膜深度(埃)关系曲线；以及图9是表示根据本专利技术制造的复合淀积薄膜反射率的曲线。结合附图将更详细地描述本专利技术。图1是说明第一个本专利技术复合蒸发淀积材料具体实施方案的透视图，图2是说明第一个本专利技术复合蒸发淀积材料具体实施方案的截面图。两个图说明了一种复合蒸发淀积材料，该材料包括圆柱形高蒸汽压金属体1，和在高蒸汽压金属体1核心区域中分散的低蒸汽压金属粉末2。虚线对应于高蒸汽压金属体核心区域4，这是低蒸汽压金属粉末主要分散在高蒸汽压金属粉末中的区域。在核心区域4端面，有一个低蒸汽压金属粉末2露出的部分。在高蒸汽压金属体1中除核心区域4之外的部分具有高蒸汽压金属。圆柱的两个端面优选地具有斜面3。在本专利技术中，其空腔中填充有高蒸汽压金属粉末和低蒸汽压金属粉末混合物的高蒸汽压金属外壳例如筒被冷加工以便减小其直径，因此填入其内的低蒸汽压金属粉末可以与高蒸汽压金属体核心部分整合在一起。为此，要求高蒸汽压金属具有一定延展性。低蒸汽压金属可以是具有低延展性的材料，例如碳、硅、铬和钒，或具有一定延展性的材料例如铍、金、铁、钴、镍、钛、铂、铑、铌、钽、铼和钨。为了采用冷加工将高蒸汽压金属外壳、高蒸汽压金属粉末和低蒸汽压金属粉末整合到一个工件中，希望达到总压下率不小于75％。这里使用的总压下率是指工件在经过几个冷加本文档来自技高网...

【技术保护点】
在蒸发开始与最后阶段生成的具有不同膜组成的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，该方法包括下述步骤：在减压下加热具有高蒸汽压金属体和被保持在所述高蒸汽压金属体核心区域中的低蒸汽压金属的复合蒸发淀积材料，再将高和低蒸汽压金属蒸发以便淀积在被淀积的基体上。

【技术特征摘要】
JP 1999-3-25 80791/19991.在蒸发开始与最后阶段生成的具有不同膜组成的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，该方法包括下述步骤在减压下加热具有高蒸汽压金属体和被保持在所述高蒸汽压金属体核心区域中的低蒸汽压金属的复合蒸发淀积材料，再将高和低蒸汽压金属蒸发以便淀积在被淀积的基体上。2.根据权利要求1的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，其中所述低蒸汽压金属是被高蒸汽压金属粉末分散在并被保持在所述高蒸汽压金属体核心区域中的粉末。3.根据权利要求2的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，其中所述高蒸汽压金属体和所述高蒸汽压金属粉末是相同的金属。4.根据权利要求3的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，其中所述高蒸汽压金属的延展性比所述低蒸汽压金属高。5.根据权利要求3的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，其中含有所述低蒸汽压金属粉末的所述核心区域用更低蒸汽压金属封住。6.根据权利要求3的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，其中所述高蒸汽压金属是铝或它的合金，而所述的低蒸汽压金属粉末是至少一种选自碳、硅、铬、镍、铁、钴、钛、铼、钨和钒的元素。7.根据权利要求1的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，其中所述复合蒸发淀积材料在其核心区域有低蒸汽压块状金属，延展性较高的高蒸汽压金属外壳封住核心区域。8.根据权利要求7的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，其中所述复合蒸发淀积材料具有封住所述核心区域的更低蒸汽压金属。9.根据权利要求7的复合蒸发淀积薄膜的制造方法，其中所述高蒸汽压金属是铝或它的合金，而所述低蒸汽压块状金属是至少任何一种选自铍、锡、金、铁、钴、镍、钛、铂、铑、铌、钽、铼和钨的元素。10.一种用于制造在蒸发开始与最后阶段生成的具有不同组成的复合淀积薄膜的复合蒸发淀积材料，该材料含有高蒸汽压金属体和被保持在所述高蒸汽压金属体核心区域中的低蒸汽压金属。11.根据权利要求10的复合蒸发淀积材料，其中所述的低蒸汽压金属是被高蒸汽压金属粉末分散在并保持在所述高蒸汽压金属体核心区域中的粉末。12.根据权利要求11的复合蒸发淀积材料，其中所述高蒸汽压金属体和所述高蒸汽压金属粉末是相同的金属。13.根据权利要求12的复合蒸发淀积材料，其中所述高蒸汽压金属的延展性高于所述低蒸汽压金属。14.根据权利要求13的复合蒸发淀积材料，其中具有空腔的高蒸汽压金属外壳，和装入所述空腔的高蒸汽压金属粉末与低蒸汽压金属粉末的混合物被整体冷加工成复合结构，其中所述低...

【专利技术属性】
技术研发人员：古市真治，高屿重利，
申请(专利权)人：日立金属株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]