光电倍增管制造技术

光电倍增管的密封容器（５）由金属制侧管（２）及玻璃制的受光面板（３）和芯柱板（４）构成。在侧管（２）的一端开口部（Ａ）上设置扎入部（２０），所述扎入部（２０）以扎入的方式埋入到玻璃制的受光面板（３）内，确保侧管（２）与受光面板（２）的接合部分处极高的气密性。设在侧管（２）上的扎入部（２０）沿侧管（２）的轴向方向陡峭地延伸，可以尽可能靠近地将扎入部（２０）埋设到受光面板的侧面（３ｃ）内。借此，可以把受光面板（３）的有效利用面积提高到接近１００％，使受光面板（３）的空闲区域尽可能地接近于零。这样，本发明专利技术的光电倍增管（１）既可提高受光面板（３）的有效利用面积又可确保受光面板（３）与侧管（２）的气密性。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及利用电子倍增部检测入射到受光面板上的微弱的光的光电倍增管。
技术介绍
特开平5-290793号公报描述的光电倍增管具有把电子倍增部容纳到密封容器内的结构，在该密封容器中，金属制的侧管的上端形成凸缘状。这种凸缘部熔合固定到受光面板的上表面上，以期利用凸缘部有效地确保气密性。但是，在前述现有技术的光电倍增管中，如附图说明图10所示，由于通过侧管100的上端在其整个外周上设置向内侧弯曲的凸缘部101，使受光面板102的有效利用面积变窄。例如，当在50mm的方形的受光面板102上把具有1.5mm左右的宽度W的凸缘部101固定到受光面板102的边缘部分上时，受光面板102的有效利用面积变为百分之八十八左右。这种光电倍增管大约可以成功地确保八成以上的有效利用面积。然而，近年来，将多个光电倍增管并列设置使用的机会增多，在这种情况下，要求使受光面板102的有效利用面积接近100％，需要使受光面板102的空闲区域尽可能接近于零的光电倍增管。但是，在压接凸缘部101使侧管100与受光面板102接合的技术中，存在着具有10％以上的空闲区域的问题。并且，不难想象，在将现有技术的多个光电倍增管紧密并列排列时，会产生相当大的空闲区域。此外，在前述特开平5-290793号公报中，公开了一种中间不经过凸缘部而使侧管100与受光面板102接合的技术，但是，在这种情况下，只不过使受光面板102与侧管100的前端接触，并没有公开用什么方法将侧管100与受光面板102接合。这样，通过只把受光面板102载置于侧管100上，存在着确保密封容器内的气密性方面的障碍。专利技术的概述本专利技术是为了解决上述课题而提出的，其目的是提供一种特别是大幅度提高受光面板的有效利用面积，而且提高侧管与受光面板的整体性、提高密封容器的气密性的光电倍增管。为达到上述目的，本专利技术提供一种在具有利用入射到受光面板上的光线发射出电子的光电面，在密封容器内具有使从该光电面发射出来的电子倍增的电子倍增部，具有根据由该电子倍增部倍增的电子发出输出信号的阳极的光电倍增管，所述密封容器由以下部分构成经由芯柱销将该电子倍增部及该阳极固定的芯柱板，备有一侧的开口端及另一侧的开口端、包围该电子倍增部及该阳极并且把所述芯柱板固定到所述一侧的开口端的金属制侧管，以及固定在所述另一侧的开口端上的玻璃制的所述受光面板，所述侧管的所述另一侧的所述开口端上设置有埋设到所述受光面板的所述光电面侧的扎入部。在根据本专利技术的光电倍增管中，在侧管上设置扎入部，将该扎入部以扎入的方式埋设到玻璃制的受光面板内。从而，确保在侧管与受光面板的接合部分极高的气密性。而且，设在侧管上的扎入部不像凸缘部那样从侧管向侧方延伸，而是从侧管陡峭地延伸，所以在以把扎入部尽可能接近受光面板的侧面，即受光面板的外径轮廓的方式埋设的情况下，能够把受光面板的有效利用面积提高到近于100％，可以使受光面板的空闲区域尽可能地接近于零。这样，本专利技术的光电倍增管利用与现有技术中的固定方法不同的方案，无限地提高受光面板的有效利用面积，并确保受光面板与侧管的气密性。此外，在本专利技术的光电倍增管中，扎入部的前端部分优选地笔直地延伸。在采用这种结构的情况下，易于把侧管的端部扎入受光面板内，而且由于扎入部设置在侧管的延长线上，促进确保受光面板的有效利用面积。此外，在本专利技术的光电倍增管中，优选地，扎入部的前端部分向侧管的内侧或外侧弯曲。采用这种结构时，可以扩大埋设到受光面板内的扎入部与受光面板接触的表面面积，提高侧管与受光面板的接合部分处的气密性。此外，在本专利技术的光电倍增管中，优选地，将扎入部的尖端削尖成刀刃状。采用这种结构时，容易把侧管的端部扎入到受光面板内，在熔合固定玻璃制受光面板和侧管时，提高其组装作业性能及可靠性。此外，优选地将扎入部的前端部分削尖成单刃的截面为圆弧状的刀刃状。采用这种结构时，在扩大与受光面板连接的扎入部的表面积的同时，提高与玻璃的适配性。此外，也可以把扎入部的前端部分削尖成双刃的刀刃面。采用这种结构时，可以极其容易地把侧管的端部扎入受光面板。此外，芯柱板是金属制的，优选地，所述芯柱板的边缘面与所述侧管的一侧的开口端附近的内壁面接触配置，将所述内壁面与所述芯柱板的边缘面焊接起来。采用这种结构时，由于在使侧管的内壁面与芯柱板的边缘面相接触的状态下，将侧管与芯柱板相互焊接固定，所以，在光电倍增管的下端没有凸缘那样的伸出部。从而，虽然难以进行电阻焊接，但可以缩小光电倍增管的外形尺寸，即使在多个光电倍增管并列设置的情况下，以将侧管彼此之间紧密地并列。从而，通过将金属制芯柱板与金属制侧管焊接组装的电子倍增管，可以高密度的排列。附图的简单说明图1是表示根据本专利技术的光电倍增管的一种实施方式的透视图。图2是沿图1的II-II线的剖面图。图3是表示根据本专利技术的实施方式的光电倍增管的侧管与芯柱板的接合状态的主要部分的放大剖面图。图4是表示根据本专利技术的实施方式的光电倍增管的侧管与受光面板的接合状态的放大剖面图。图5是表示用于根据本专利技术的光电倍增管的侧管第一个变形例的主要部分的放大剖面图。图6是表示用于根据本专利技术的光电倍增管的侧管第二个变形例的主要部分的放大剖面图。图7是表示用于根据本专利技术的光电倍增管的侧管第三个变形例的主要部分的放大剖面图。图8是表示用于根据本专利技术的光电倍增管的侧管第四个变形例的主要部分的放大剖面图。图9是表示用于根据本专利技术的光电倍增管的侧管第五个变形例的主要部分的放大剖面图。图10是表示现有技术的光电倍增管的侧管的局部放大剖面图。实施专利技术的优选方式下面和附图一起说明根据本专利技术的光电倍增管的优选实施方式。图1和图2所示的光电倍增管1具有大致为正四边筒状的金属制(例如科瓦铁镍钴合金金属制或不锈钢制)的侧管2，在该侧管2的一侧的开口端A上熔合固定有玻璃制受光面板3。在该受光面板3的内表面上，形成把光变换成电子的光电面3a，该光电面3a通过使碱金属蒸气与预先蒸发在受光面板2上的锑反应形成。此外，在侧管2的另一端侧的开口端B上，焊接固定有金属制(例如科瓦铁镍钴合金金属制或不锈钢制)的芯柱板4。这样，利用侧管2与受光面板3及芯柱板4构成高度为10mm左右的极薄的密封容器5。此外，在芯柱板4的中央竖立设置金属制排气管6。该排气管6在光电倍增管组装完毕时利用真空泵(图中未示出)将密封容器5的内部排气抽成真空状态，并且在形成光电面3a时，用作将碱金属蒸气导入到密封容器内的管。科瓦铁镍钴合金金属制的多个芯柱销10贯穿芯柱板4设置。在芯柱板4上设置贯穿各芯柱销10用的销孔4a，在各销孔4a内填充用作气密性封接用的科瓦铁镍钴合金玻璃制的料片11。各芯柱销10经由料片11固定到芯柱板4上。在密封容器5内配置电子倍增器7。这种电子倍增器7用芯柱销10支承在密封容器5内。电子倍增器7构成块状叠层结构，叠层成10个(10级)板状倍增管电极8构成电子倍增部9，各倍增管电极8与芯柱销10的前端电连接。此外，在芯柱销10上连接有倍增管8，以及连接后面所述的阳极12。在电子倍增器7上，并列地设置位于电子倍增部9的下方、固定到芯柱销10的上端的阳极12。此外，在电子倍增器7的最上级，在光电面3a与电子倍增部9之间配置平板状聚束极板13。在该聚束极板13上形成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光电倍增管，在具有利用入射到受光面板（３）上的光发射出电子的光电面（３ａ），在密封容器（５）内具有使从所述光电面（３ａ）发射出的电子倍增的电子倍增部（９），具有根据用所述电子倍增部（９）倍增的电子发出输出信号的阳极（１２）的光电倍增管（１）中，其特征为， 该密封容器由以下述部分构成： 经由芯柱销（１０）固定所述电子倍增部（９）及所述阳极（１２）的芯柱板（４）， 备有一侧的开口端（Ｂ）和另一侧的开口端（Ａ）、包围所述电子倍增部（９）及所述阳极（１２），并且把所述芯柱板（４）固定到所述一侧的开口端（Ｂ）上的金属制侧管（２）， 固定在所述另一侧开口端（Ａ）上的玻璃制的所述受光面板（３）； 其中，在所述侧管（２）的所述另一侧的所述开口端（Ａ）上，设置埋设到所述受光面板（３）的所述光电面（３ａ）侧的扎入部（２０，３０，４０，５０，６０，７０）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光电倍增管，在具有利用入射到受光面板(3)上的光发射出电子的光电面(3a)，在密封容器(5)内具有使从所述光电面(3a)发射出的电子倍增的电子倍增部(9)，具有根据用所述电子倍增部(9)倍增的电子发出输出信号的阳极(12)的光电倍增管(1)中，其特征为，该密封容器由以下述部分构成经由芯柱销(10)固定所述电子倍增部(9)及所述阳极(12)的芯柱板(4)，备有一侧的开口端(B)和另一侧的开口端(A)、包围所述电子倍增部(9)及所述阳极(12)，并且把所述芯柱板(4)固定到所述一侧的开口端(B)上的金属制侧管(2)，固定在所述另一侧开口端(A)上的玻璃制的所述受光面板(3)；其中，在所述侧管(2)的所述另一侧的所述开口端(A)上，设置埋设到所述受光面板(3)的所述光电面(3a)侧的扎入部(20，30，40，50，60，70)。2.如权利要求1所述的光电倍增管，其特征为，所述扎入部的前端部分(40，50，...

【专利技术属性】
技术研发人员：下井英树，久浩之，渥美明，
申请(专利权)人：滨松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]