一种探针座制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体测试技术领域，公开了一种探针座，包括基座，设置在基座上的X向移动机构、设置在X向移动机构上的Y向移动机构和设置在Y向移动机构上的Z向移动机构，所述X向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母，所述Y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母，所述Z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母；本实用新型专利技术提供的一种探针座，解决了现有探针座调试精度不高，安装结构设计复杂的问题。安装结构设计复杂的问题。安装结构设计复杂的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种探针座


[0001]本技术涉及半导体测试
，具体涉及一种探针座。

技术介绍

[0002]探针座主要应用于半导体器件的检测，实现对探针的位移微调操作，目前传统探针座调试过程的调试操作方式主要是实现多向调节，但是调试精度还有待提升，此外，安装结构方式较为复杂，结构的紧凑型还有待提升。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种探针座，解决了现有探针座调试精度不高，安装结构设计复杂的问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种探针座，包括基座，设置在基座上的X向移动机构、设置在X向移动机构上的Y向移动机构和设置在Y向移动机构上的Z向移动机构，所述X向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母，所述Y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母，所述Z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母，所述底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，所述中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，第一交叉滚子导轨与第二交叉滚子导轨的投影在同一平面内相互垂直，所述上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨，所述第三交叉滚子导轨与第二交叉滚子导轨的投影在同一平面内相互垂直；
[0006]所述第一丝杆的长度方向与第一交叉滚子导轨的长度方向平行，所述底座上设有第一移动槽，所述第一螺母位于第一移动槽内，所述第一螺母与中座固定连接；所述第二丝杆的长度方向与第二交叉滚子导轨的长度方向平行，所述中座上设有第二移动槽，所述第二螺母位于第二移动槽内，所述第二螺母与上座固定连接；所述第三丝杆的长度方向与第三交叉滚子导轨的长度方向平行，所述上座上设有第三移动槽，所述第三螺母位于第三移动槽内，所述第三螺母与侧座固定连接，所述侧座上设有安装座，所述安装座上安装有探针移动杆，所述探针移动杆上设有探针夹具，所述探针夹具上夹持有探针。
[0007]本技术方案中，由于底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨，交叉滚子导轨为两根具有V形滚道的导轨，在V形滚道之间设置滚子保持架，若干个相互交叉排列圆柱状的滚子安装在保持架上并与对称的两个V形滚道滑动配合，交叉滚子导轨可实现高精度位移调整，同时能够保证直线运动的平稳性。
[0008]上述结构设计，在操作第一丝杆的过程中，第一螺母会在第一移动槽内移动，由于第一螺母与中座固定，且中座通过第一交叉滚子导轨与底座滑动连接，则第一螺母的移动实现对中座相对于底座进行位移，也即是对探针在X向的位移调整；在操作第二丝杆的过程
中，第二螺母会在第二移动槽内移动，由于第二螺母与上座固定，且上座通过第二交叉滚子导轨与中座滑动连接，则第二螺母的移动实现对上座相对于中座进行位移，也即是对探针在Y向的位移调整；在操作第三丝杆的过程中，第三螺母会在第三移动槽内移动，由于第三螺母与侧座固定，且侧座通过第三交叉滚子导轨与上座滑动连接，则第三螺母的移动实现对侧座相对于上座进行位移，也即是对探针在Z向的位移调整。
[0009]综上，本结构设计，由于交叉滚子导轨配合丝杆、以及移动槽的结构设计，在保证底座、中座、上座以及侧座结构紧凑的同时，也提升了探针位移位置调节的精度，为模块化的结构设计，安装结构设计简单，制造装配效率高。
[0010]进一步的，为了更好的实现中座相对于底座、上座相对于中座、侧座相对于上座的稳定滑动配合关系，所述第一交叉滚子导轨包括两根对称设置在底座上端左右侧的第一静导轨和两根对称设置在中座下端左右侧的第一动导轨，所述第一静导轨与对应的第一动导轨滑动连接；
[0011]所述第二交叉滚子导轨包括两根对称设置在中座上端前后位置的第二静导轨和两根对称设置在上座下端前后位置的第二动导轨，所述第二静导轨与第二动导轨滑动连接；
[0012]所述第三交叉滚子导轨包括两根对称设置在上座一侧面的第三静导轨和两根对称设置在侧座上一侧面的第三动导轨，所述第三静导轨与第三动导轨滑动连接。
[0013]需要说明的是，第一移动槽位于两根第一静导轨之间，两根第一动导轨分别位于对应的第一静导轨的外侧，第二移动槽位于两根第二静导轨之间，两根第二动导轨分别位于对应的第二静导轨的外侧，第三移动槽位于两根第三静导轨之间，两根第三动导轨分别位于对应的第三静导轨的外侧。
[0014]进一步的，为了方便实现对第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆的操作，所述第一丝杆上设有第一操作旋钮，所述第二丝杆上设有第二操作旋钮，所述第三丝杆上设有第三操作旋钮。
[0015]进一步的，为了方便实现对第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆的操作，所述第一操作旋钮、第二操作旋钮和第三操作旋钮上均设有防滑纹。第一操作旋钮、第二操作旋钮和第三操作旋钮采用螺纹连接的方式分别与第一丝杆、第二丝杆和第三丝杆的端部固定连接。
[0016]进一步的，为了更好的提升外形结构的紧凑性，所述底座和中座的长宽尺寸一致。
[0017]进一步的，为了方便实现对侧座的安装，所述上座的一侧具有朝向侧座延伸的凸起部，所述侧座通过第三交叉滚子导轨安装在凸起部上。
[0018]进一步的，为了给第一螺母、第二螺母和第三螺母提供合理的移动空间，所述第一移动槽的长度方向与第一丝杆的长度方向平行，所述第二移动槽的长度方向与第二丝杆的长度方向平行，所述第三移动槽的长度方向与第三丝杆的长度方向平行。
[0019]进一步的，为了方便对探针的位移调节，所述安装座通过螺钉安装在侧座的中间位置。
[0020]进一步的，为了方便实现与真空腔的密封连接且不影响探针的位移调节，所述侧座上设有波纹管，所述安装座位于波纹管内。
[0021]进一步的，为了方便实现对真空腔的密封连接，所述波纹管的外端设有连接法兰。
[0022]本技术的有益效果为：本技术方案中，由于底座与中座之间设有第一交叉滚
子导轨，中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨，交叉滚子导轨为两根具有V形滚道的导轨，在V形滚道之间设置滚子保持架，若干个相互交叉排列圆柱状的滚子安装在保持架上并与对称的两个V形滚道滑动配合，交叉滚子导轨可实现高精度位移调整，同时能够保证直线运动的平稳性。
[0023]上述结构设计，在操作第一丝杆的过程中，第一螺母会在第一移动槽内移动，由于第一螺母与中座固定，且中座通过第一交叉滚子导轨与底座滑动连接，则第一螺母的移动实现对中座相对于底座进行位移，也即是对探针在X向的位移调整；在操作第二丝杆的过程中，第二螺母会在第二移动槽内移动，由于第二螺母与上座固定，且上座通过第二交叉滚子导轨与中座滑动连接，则第二螺母的移动实现对上座相对于中座进行位移，也即是对探针在Y向的位移调整；在操作第三丝杆的过程中，第三螺母会在第三移动槽内移动，由于第三螺母与侧座固定，且侧座通过第三交叉滚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针座，其特征在于：包括基座，设置在基座上的X向移动机构、设置在X向移动机构上的Y向移动机构和设置在Y向移动机构上的Z向移动机构，所述X向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母，所述Y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母，所述Z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母，所述底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，所述中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，所述上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨；所述第一丝杆的长度方向与第一交叉滚子导轨的长度方向平行，所述底座上设有第一移动槽，所述第一螺母位于第一移动槽内，所述第一螺母与中座固定连接；所述第二丝杆的长度方向与第二交叉滚子导轨的长度方向平行，所述中座上设有第二移动槽，所述第二螺母位于第二移动槽内，所述第二螺母与上座固定连接；所述第三丝杆的长度方向与第三交叉滚子导轨的长度方向平行，所述上座上设有第三移动槽，所述第三螺母位于第三移动槽内，所述第三螺母与侧座固定连接，所述侧座上设有安装座，所述安装座上安装有探针移动杆，所述探针移动杆上设有探针夹具，所述探针夹具上夹持有探针。2.根据权利要求1所述的一种探针座，其特征在于：所述第一交叉滚子导轨包括两根对称设置在底座上端左右侧的第一静导轨和两根对称设置在中座下端左右侧的第一动导轨，所述第一静...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆冰彬，
申请(专利权)人：英铂科学仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：