一种检测设备制造技术

一种检测设备，包括用于承载待检工件的承载装置、用于驱使承载装置绕第一轴线旋转的驱动装置以及布置于承载装置的上方空间的检测装置；其中，检测装置包括用于发射检测光以照射待检工件表面的光发射件、用于供人眼观测待检工件表面的观测窗口以及布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内以获取工件的表面图像的图像采集装置。通过将观测窗口与图像采集件布置于基本相同的位置，可在基本相同的视角或者观测路径下，完成对待检工件表面的同一区域位置的人工观测和设备视觉检测，实现同步及同位置的人工观测与设备视觉检测，有效地提高了检测效率。效地提高了检测效率。效地提高了检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种检测设备


[0001]本技术涉及半导体领域，具体涉及一种检测设备。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的快速发展，半导体工件表面缺陷的检测是提高或保证良品率的一个必不可少的工序。以晶圆为例，由于晶圆是制作半导体芯片的基底，若晶圆表面存在如异物污染、划痕、裂纹等缺陷，则很容易导致半导体芯片报废；因此，在芯片的加工制备过程中，往往需要对晶圆的表面进行监测及检测，通过及时发现缺陷，或对缺陷进行针对性修复，或更换切割晶圆，以实现对晶圆表面缺陷的控制，防止表面有缺陷的晶圆进入制作半导体芯片的下一道工序。
[0003]目前，现有的检测方式有人工直接观测和光学设备自动检测两种；其中，人工观测不但检测效率低，而且漏检或误检的几率较高，很多微小缺陷用肉眼难以分辨，检测质量无法得到保障；光学检测虽然可以保证检测质量，但耗时长、检测效率低、检测成本高。

技术实现思路

[0004]本技术主要解决的技术问题是提供一种检测设备，以达到提高检测效率的目的。
[0005]一种实施例中提供一种检测设备，包括：
[0006]承载装置，用于承载待检工件；
[0007]驱动装置，用于驱使所述承载装置绕第一轴线旋转，所述驱动装置的动力端耦合至承载装置；和
[0008]检测装置，布置于所述承载装置的上方空间，所述检测装置包括：
[0009]光发射件，用于发射检测光，以照射待检工件的表面；
[0010]观测窗口，用于供人眼观测待检工件的表面；以及
[0011]图像采集件，用于获取待检工件的表面图像，所述图像采集件布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内。
[0012]一个实施例中，所述第一轴线在垂直于第一轴线的基准平面上的投影与观测窗口的中心在基准平面上的投影的连线为第一连线、与所述图像采集件的中心在基准平面上的投影的连线为第二连线，所述第二连线重合于第一连线。
[0013]一个实施例中，所述承载装置包括：
[0014]承接件，用于承接待检工件，所述驱动装置的动力端耦合至承接件；
[0015]定位件，用于将待检工件的边缘抵压于所述承接件，所述定位件与承接件沿第一轴线并行分布；以及
[0016]承载驱动件，用于驱使所述定位件沿第一轴线靠近或远离承接件，所述定位件和承接件中的一个连接承载驱动件的本体、另一个连接承载驱动件的动力端。
[0017]一个实施例中，所述定位件包括：
[0018]定位环，用于围绕布置在待检工件的边缘，所述定位环连接承载驱动件的本体或承载驱动件的动力端；以及
[0019]抵压臂，用于将抵压待检工件的边缘，所述抵压臂围绕第一轴线设置于定位环。
[0020]一个实施例中，所述承接件与定位件之间形成有接料口，所述接料口位于承载装置的边缘，用于供待检工件出入所述承载装置。
[0021]一个实施例中，所述光发射件包括明场光源和暗场光源，所述第一轴线在垂直于第一轴线的基准平面上的投影与明场光源的中心在基准平面上的投影的连线为第三连线、与暗场光源的中心在基准平面上的投影的连线为第四连线，所述第三连线与第四连线相交。
[0022]一个实施例中，所述明场光源至少一个，所述暗场光源至少两个，至少一个所述明场光源布置于承载装置的上方空间，至少两个所述暗场光源以经过第一轴线和第三连线的平面为界镜像布置在明场光源的两侧。
[0023]一个实施例中，所述驱动装置还用于驱使所述承载装置绕第二轴线转动，以使待检工件的表面与所述暗场光源的出光面的延伸方向平行，所述第二轴线与第一轴线呈交叉分布。
[0024]一个实施例中，所述驱动装置包括：
[0025]支撑件；
[0026]第一驱动件，用于驱使所述承载装置相对于支撑件绕第二轴线转动，所述第一驱动件位于支撑件邻近承载装置的一端，且所述支撑件和承载装置中的一个连接第一驱动件的本体、另一个连接第一驱动件的动力端；以及
[0027]第二驱动件，用于驱使所述支撑件带动承载装置和第一驱动件绕第一轴线旋转，所述第二驱动件的动力端耦合至支撑件远离承载装置的一端。
[0028]一个实施例中，还包括回转装置，所述回转装置用于驱使驱动装置和承载装置同步绕平行于第二轴线的第三轴线摆动，包括：
[0029]支撑座，所述驱动装置设置在支撑座；
[0030]导滑块，连接所述支撑座；
[0031]弧形导轨，与所述导滑块滑动连接；以及
[0032]第三驱动件，用于驱使所述导滑块在弧形导轨上滑移，所述第三驱动件的动力端耦合至导滑块。
[0033]依据上述实施例的检测设备，包括用于承载待检工件的承载装置、用于驱使承载装置绕第一轴线旋转的驱动装置以及布置于承载装置的上方空间的检测装置；其中，检测装置包括用于发射检测光以照射待检工件表面的光发射件、用于供人眼观测待检工件表面的观测窗口以及布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内以获取工件的表面图像的图像采集装置。通过将观测窗口与图像采集件布置于基本相同的位置，可在基本相同的视角或者观测路径下，完成对待检工件表面的同一区域位置的人工观测和设备视觉检测，实现同步及同位置的人工观测与设备视觉检测，既有效地提高了检测效率，又无需为待检工件的运动姿态的调整配置复杂的控制方案，降低了检测成本。
附图说明
[0034]图1为一种实施例的检测设备在侧视视角下的平面结构示意图。
[0035]图2为一种实施例的检测设备在轴测视角下的结构装配示意图。
[0036]图3为一种实施例的检测设备中部分部件的投影位置示意图。
[0037]图4为一种实施例的检测设备的暗场光源与关联部件间的位置关系示意图。
[0038]图5为一种实施例的检测设备的观测窗口与待检工件间的视角关系示意图。
[0039]图6为一种实施例的检测设备在待检工件处于水平状态时的结构示意图。
[0040]图7为一种实施例的检测设备在待检工件处于翻转状态时的结构示意图。
[0041]图8为一种实施例的检测设备的承载装置处于夹紧状态时的结构示意图。
[0042]图9为一种实施例的检测设备的承载装置处于开合状态时的结构示意图。
[0043]图10为一种实施例的检测设备的驱动装置的结构分解示意图。
[0044]图11为一种实施例的检测设备的回转装置的结构装配示意图（一）。
[0045]图12为一种实施例的检测设备的回转装置的结构装配示意图（二）。
[0046]图中：
[0047]10、承载装置；11、承接件；11
‑
1、承接环；11
‑
2、承接臂；12、定位件；12
‑
1、定位环；12
‑
2、抵压臂；13、承载驱动件；13
‑
1、导轨；13
‑
2、滑块；14、接料口；20、驱动装置；21、支撑件；21
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测设备，其特征在于，包括：承载装置，用于承载待检工件；驱动装置，用于驱使所述承载装置绕第一轴线旋转，所述驱动装置的动力端耦合至承载装置；和检测装置，布置于所述承载装置的上方空间，所述检测装置包括：光发射件，用于发射检测光，以照射待检工件的表面；观测窗口，用于供人眼观测待检工件的表面；以及图像采集件，用于获取待检工件的表面图像，所述图像采集件布置于观测窗口内或位于观测窗口的轮廓覆盖范围内。2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述第一轴线在垂直于第一轴线的基准平面上的投影与观测窗口的中心在基准平面上的投影的连线为第一连线、与所述图像采集件的中心在基准平面上的投影的连线为第二连线，所述第二连线重合于第一连线。3.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述承载装置包括：承接件，用于承接待检工件，所述驱动装置的动力端耦合至承接件；定位件，用于将待检工件的边缘抵压于所述承接件，所述定位件与承接件沿第一轴线并行分布；以及承载驱动件，用于驱使所述定位件沿第一轴线靠近或远离承接件，所述定位件和承接件中的一个连接承载驱动件的本体、另一个连接承载驱动件的动力端。4.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述定位件包括：定位环，用于围绕布置在待检工件的边缘，所述定位环连接承载驱动件的本体或承载驱动件的动力端；以及抵压臂，用于将抵压待检工件的边缘，所述抵压臂围绕第一轴线设置于定位环。5.如权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述承接件与定位件之间形成有接料口，所述接料口位于承载装置的边缘，用于供待检工件出入所述承载装置。6.如权利要求1所述的检...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪艮超，张鹏斌，刘建鹏，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：