一种用于成膜室的自动开关门装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及成膜设备技术领域，尤其是一种用于成膜室的自动开关门装置，其特征在于：所述成膜室门的一侧与所述成膜室主体之间铰接，在所述成膜室主体与所述成膜室门之间设置有开关门机构，所述开关门机构用于连接控制所述成膜室门的启闭，使所述成膜室门可旋转打开或可旋转闭合，在所述成膜室主体的侧面设置有锁紧机构，所述锁紧机构用于在所述成膜室门闭合后对所述成膜室门与所述成膜室主体之间的对接位置进行锁紧。本实用新型专利技术的优点是：实现成膜室门的自动启闭，可有效避免有害镀膜材料的外泄以及成膜室门启闭时的人身伤害，提高安全性；有效减小成膜室门启闭所需的推力，同时便于控制；结构简单合理、自动化程度高，适于推广。推广。推广。

【技术实现步骤摘要】
一种用于成膜室的自动开关门装置


[0001]本技术涉及成膜设备
，尤其是一种用于成膜室的自动开关门装置。

技术介绍

[0002]随着镀膜
的发展，越来越多类型的薄膜应运而生。根据薄膜的类型不同，其对应包含了各种不同的镀膜材料。这些镀膜材料往往通过一些成膜工艺，例如蒸发成膜、溅射成膜等成膜工艺镀覆在产品上，使产品的性能得到显著提升，例如防水膜、防污膜等便给分别产品提供一定的防水功能、防污性能。
[0003]上述这些成膜方法一般在成膜室内进行实施，成膜室的内部可提供成膜工艺所需的真空环境。然而，在镀膜材料中可能存在一些对人体有危害的材料，例如碘化物，那么成膜室的启闭便显得尤为重要。目前，成膜室门的启闭均是人工操作，可这样一来，便容易发生各种危险。例如，当成膜室内所执行的成膜工艺还未停止，操作人员未经注意便打开成膜室门，则会使有害镀膜材料的外泄，导致操作人员的人体危害；又如，成膜室门的打开或关闭时，操作人员未明确其启闭范围区域，直接导致撞伤、夹伤等人身伤害。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种用于成膜室的自动开关门装置，通过设置开关门机构以及锁紧机构，在实现成膜室门自动旋转启闭的同时，可有效避免有害镀膜材料的外泄。
[0005]本技术目的实现由以下技术方案完成：
[0006]一种用于成膜室的自动开关门装置，所述成膜室包括成膜室主体和设置在所述成膜室主体一侧的成膜室门，所述成膜室主体内部作为成膜空间，所述成膜空间开放或封闭由所述成膜室门的启闭实现，其特征在于：所述成膜室门的一侧与所述成膜室主体之间铰接，在所述成膜室主体与所述成膜室门之间设置有开关门机构，所述开关门机构用于连接控制所述成膜室门的启闭，使所述成膜室门可旋转打开或可旋转闭合，在所述成膜室主体的侧面设置有锁紧机构，所述锁紧机构用于在所述成膜室门闭合后对所述成膜室门与所述成膜室主体之间的对接位置进行锁紧。
[0007]所述开关门机构包括开关门气缸、气缸推杆，其中所述气缸推杆由所述开关门气缸连接驱动，所述开关门气缸设置在所述成膜室主体上，所述气缸推杆的伸缩端与所述成膜室门相连接固定，所述开关门气缸可通过驱动所述气缸推杆的伸缩实现所述成膜室门的旋转打开或旋转闭合。
[0008]所述锁紧机构包括锁紧气缸、锁紧推杆以及压块，其中所述锁紧推杆由所述锁紧气缸连接驱动，所述锁紧气缸设置在所述成膜室主体上，所述锁紧推杆的伸缩端连接固定所述压块，所述锁紧气缸可通过驱动锁紧推杆的伸缩使所述压块紧贴至所述成膜室门闭合后与所述成膜室主体之间的对接位置。
[0009]沿所述成膜室主体的高度方向均匀间隔布置有至少两个所述锁紧机构。
[0010]所述成膜室主体与所述成膜室门之间设置有旋转轴机构，所述旋转轴机构包括旋转轴、滚动轴承和推力轴承，其中所述旋转轴的外围套装有滚动轴承，所述滚动轴承的外侧设置有推力轴承，所述推力轴承与所述成膜室门相抵触。
[0011]沿所述成膜室主体的高度方向在所述成膜室主体与所述成膜室门之间对称设置有两个所述旋转轴机构。
[0012]在所述成膜室的一侧设置有区域传感器，所述区域传感器连接有一控制系统，所述控制系统根据所述区域传感器的触发信号连接控制所述开关门机构的工作状态。
[0013]在所述成膜室的一侧设置有显示柜，所述显示柜上设置有与所述控制系统相信号连接的控制按钮，所述控制按钮可通过所述控制系统连接控制所述开关门机构以及锁紧机构。
[0014]本技术的优点是：实现成膜室门的自动启闭，可有效避免有害镀膜材料的外泄以及成膜室门启闭时的人身伤害，提高安全性；有效减小成膜室门启闭所需的推力，同时便于控制；结构简单合理、自动化程度高，适于推广。
附图说明
[0015]图1为本技术的俯视图；
[0016]图2为本技术的侧视图；
[0017]图3为本技术中旋转轴机构的结构示意图；
[0018]图4为本技术的工作状态图；
[0019]图5为本技术中区域传感器的结构示意图；
[0020]图6为本技术中显示柜的结构示意图。
具体实施方式
[0021]以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
[0022]如图1
‑
6所示，图中标记1
‑
9分别表示为：锁紧机构1、开关门机构2、成膜室门3、区域传感器4、旋转轴5、成膜室主体6、滚动轴承7、推力轴承8、显示柜9。
[0023]实施例：如图1所示，本实施例中用于成膜室的自动开关门装置用于实现成膜室主体6上的成膜室门3的启闭，成膜室主体6的内部为成膜空间，通过成膜室门3的启闭可使成膜室主体6的内部空间开放或封闭，其中当成膜空间开放时，可进行内部产品的上下料、镀膜材料放入等操作，而当成膜空间封闭时，则执行成膜工艺。
[0024]如图1所示，成膜室主体6和成膜室门3之间设置有旋转轴机构使两者构成铰接，成膜室门3可通过旋转轴机构旋转开启或旋转闭合。如图4（a）所示的为成膜室门3的闭合状态，其与成膜室主体6相贴合以封闭成膜室主体6内的成膜空间以提供成膜工艺所需的真空环境；如图4（b）所示的为成膜室门3的开启状态，此时成膜室主体6内的成膜空间开放，以便进行各种操作。
[0025]如图3所示，该旋转轴机构包括旋转轴5、滚动轴承7、推力轴承8，其中旋转轴5竖向设置在成膜室主体6的一侧，其外围套装有滚动轴承7，滚动轴承7的外侧设置有推力轴承8，当旋转轴5在受力旋转时其作用力通过滚动轴承7向推力轴承8传递，而推力轴承8则抵触在
成膜室门3上，从而提高有效减小成膜室门3旋转启闭时所需的推力。
[0026]如图1和图2所示，在成膜室主体6和成膜室门3的顶端设置有开关门机构2，该开关门机构2采用气缸作为原动件，该气缸内部设置有气缸推杆，该气缸推杆可在气缸的驱动下进行伸缩。气缸推杆的伸缩端可与固定在成膜室门3顶端的固定件相连接，气缸主体架设在成膜室主体6上且其呈一定角度的倾斜布置。如图4所示，当气缸执行开门动作时，其气缸推杆推出从而向固定在成膜室门3顶端的固定件施加一定的推力，从而使成膜室门3旋转开启；反之，当气缸执行关门动作时，其气缸推杆缩回从而使成膜室门3旋转闭合。在本实施例中，该固定件可以为安装在成膜室门3顶端的挡块或挡条。
[0027]如图1和图2所示，在成膜室主体6的侧面且对应于成膜室门3的打开方向，设置有两组锁紧机构1，这两组锁紧机构1沿成膜室主体6的高度方向均匀间隔布置。这两组锁紧机构1结构相同，均采用气缸作为原动件，在气缸内部设置有锁紧推杆，该锁紧推杆可在气缸的驱动下进行伸缩。锁紧推杆的伸缩端连接有一压块。当成膜室主体6执行成膜工艺时，成膜室门3为闭合状态；此时，锁紧机构1的气缸进行工作，锁紧推杆推出并将压块压紧在成膜室主体6与成膜室门3的对接位置，并在整个成膜工艺的执行过程中始本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于成膜室的自动开关门装置，所述成膜室包括成膜室主体和设置在所述成膜室主体一侧的成膜室门，所述成膜室主体内部作为成膜空间，所述成膜空间开放或封闭由所述成膜室门的启闭实现，其特征在于：所述成膜室门的一侧与所述成膜室主体之间铰接，在所述成膜室主体与所述成膜室门之间设置有开关门机构，所述开关门机构用于连接控制所述成膜室门的启闭，使所述成膜室门可旋转打开或可旋转闭合，在所述成膜室主体的侧面设置有锁紧机构，所述锁紧机构用于在所述成膜室门闭合后对所述成膜室门与所述成膜室主体之间的对接位置进行锁紧。2.根据权利要求1所述的一种用于成膜室的自动开关门装置，其特征在于：所述开关门机构包括开关门气缸、气缸推杆，其中所述气缸推杆由所述开关门气缸连接驱动，所述开关门气缸设置在所述成膜室主体上，所述气缸推杆的伸缩端与所述成膜室门相连接固定，所述开关门气缸可通过驱动所述气缸推杆的伸缩实现所述成膜室门的旋转打开或旋转闭合。3.根据权利要求1所述的一种用于成膜室的自动开关门装置，其特征在于：所述锁紧机构包括锁紧气缸、锁紧推杆以及压块，其中所述锁紧推杆由所述锁紧气缸连接驱动，所述锁紧气缸设置在所述成膜室主体上，所述锁紧推杆的伸缩端连接固定所述压块，所述锁紧气缸可通过驱动锁紧推杆的...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛聪颖，龙汝磊，虞润淋，吴萍，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：