一种用于MPCVD设备的抽气模块制造技术

一种用于MPCVD设备的抽气模块，包括：底板，底板上表面中心放置有分子泵，分子泵上表面设有进气口，分子泵一端侧壁底部开设有出气口，分子泵外侧壁上方套接有定位环套，定位环套下底部两端位于分子泵旁均设有弧形固定板，两个弧形固定板相互远离的一端均固定连接有转动杆，转动杆下方侧壁固定连接有压缩弹簧，本实用新型专利技术具有以下优点：通过定位环套、L形固定板便于对分子泵进行导向加固，通过弧形固定板、电动伸缩杆、滑动块、转动杆便于对分子泵进行加固稳定，提高分子泵工作过程中的平衡性；通过压缩弹簧、固定块、电动伸缩杆便于对分子泵进行拆卸检修，提高工作效率；通过漏斗形导管、固体杂质滤板便于对一些固体杂质进行过滤。滤。滤。

【技术实现步骤摘要】
一种用于MPCVD设备的抽气模块


[0001]本技术涉及MPCVD设备
，具体涉及一种用于MPCVD设备的抽气模块。

技术介绍

[0002]MPCVD设备是一种气相沉积设备，广泛适用于金刚石生产等领域，在设备工作工程中，需要对其进行抽真空，因此需要一种用于MPCVD设备的抽气模块。
[0003]大多数MPCVD设备都安装有包括分子泵的全套抽真空设备，但分子泵在工作中对稳定平衡要求极高，大多数设备在安装分子泵时往往忽视这一点，不便于对分子泵进行加固稳定，导致分子泵在使用过程中容易发生损坏，且需要对抽真空设备进行更换检修时，不便于对其进行拆卸，需要耗费大量时间，并且分子泵内部叶片比较脆弱，一些固体杂质进入内部，容易对分子泵造成损坏，因分子泵价格昂贵，增大生产成本的消耗。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是，大多数MPCVD设备都安装有包括分子泵的全套抽真空设备，但分子泵在工作中对稳定平衡要求极高，大多数设备在安装分子泵时往往忽视这一点，不便于对分子泵进行加固稳定，导致分子泵在使用过程中容易发生损坏，且需要对抽真空设备进行更换检修时，不便于对其进行拆卸，需要耗费大量时间，并且分子泵内部叶片比较脆弱，一些固体杂质进入内部，容易对分子泵造成损坏，因分子泵价格昂贵，增大生产成本的消耗，为此提供一种用于MPCVD设备的抽气模块，使其便于对分子泵进行加固稳定，提高分子泵工作时的平稳性，便于对分子泵进行拆卸检修，防止一些固体杂质进入分子泵内部，导致分子泵发生损坏。
[0005]本技术解决技术问题采用的技术方案是：一种用于MPCVD设备的抽气模块，其包括：底板，所述底板上表面中心放置有分子泵，所述分子泵上表面设有进气口，所述分子泵一端侧壁底部开设有出气口，所述分子泵外侧壁上方套接有定位环套，所述定位环套下底部两端位于分子泵旁均设有弧形固定板，两个所述弧形固定板相互远离的一端均固定连接有转动杆，所述转动杆下方侧壁固定连接有压缩弹簧，所述进气口上顶部通过密封条固定连接有漏斗形导管。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案，所述定位环套外侧壁两端均固定连接有L形固定板，两个所述L形固定板远离定位环套一端固定连接底板上表面，两个所述转动杆远离弧形固定板一端均转动连接有轴承，所述轴承远离转动杆一端与底板上表面转动连接，两个所述L形固定板上顶端底部均固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆下底部均固定连接有滑动块，所述滑动块下底部与转动杆侧壁滑动连接。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案，所述压缩弹簧远离转动杆一端固定连接有固定块，所述固定块下底部与底板上表面固定连接。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案，所述漏斗形导管远离分子泵一端倾斜固定连接有固体杂质滤板。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案，所述漏斗形导管远离分子泵一端与分子泵呈垂直状态。
[0010]本技术具有以下优点：通过定位环套、L形固定板便于对分子泵进行导向加固，通过弧形固定板、电动伸缩杆、滑动块、转动杆便于对分子泵进行加固稳定，提高分子泵工作过程中的平衡性；通过压缩弹簧、固定块、电动伸缩杆便于对分子泵进行拆卸检修，提高工作效率；通过漏斗形导管、固体杂质滤板便于对一些固体杂质进行过滤，防止一些固体杂质进入分子泵内部对其造成损坏。
附图说明
[0011]图1是本技术一优选实施例的正面结构示意图；
[0012]图2是本技术一优选实施例的俯视结构示意图；
[0013]图3是本技术一优选实施例的漏斗形导管结构示意图。
[0014]附图标记说明：1、底板；2、分子泵；3、进气口；4、出气口；5、漏斗形导管；6、定位环套；7、弧形固定板；8、转动杆；9、压缩弹簧；10、固体杂质滤板；11、L形固定板；12、滑动块；13、轴承；14、电动伸缩杆；15、固定块。
具体实施方式
[0015]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
[0016]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0017]下面结合附图对本技术作进一步说明。
[0018]请结合参阅图1
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3，本技术一种用于MPCVD设备的抽气模块，包括：底板1，底板1上表面中心放置有分子泵2，分子泵2上表面设有进气口3，分子泵2一端侧壁底部开设有出气口4，分子泵2外侧壁上方套接有定位环套6，定位环套6下底部两端位于分子泵2旁均设有弧形固定板7，两个弧形固定板7相互远离的一端均固定连接有转动杆8，转动杆8下方侧壁固定连接有压缩弹簧9，进气口3上顶部通过密封条固定连接有漏斗形导管5。
[0019]漏斗形导管5远离分子泵2一端倾斜固定连接有固体杂质滤板10，通过漏斗形导管5、固体杂质滤板10便于对一些固体杂质进行过滤，防止一些固体杂质进入分子泵2内部对其造成损坏；漏斗形导管5远离分子泵2一端与分子泵2呈垂直状态，防止固体杂质长期堆积对固体杂质滤板10造成堵塞，影响分子泵2的正常使用；压缩弹簧9远离转动杆8一端固定连接有固定块15，固定块15下底部与底板1上表面固定连接，通过压缩弹簧9、固定块15、电动
伸缩杆14便于对分子泵2进行拆卸检修，提高工作效率；定位环套6外侧壁两端均固定连接有L形固定板11，两个L形固定板11远离定位环套6一端固定连接底板1上表面，两个转动杆8远离弧形固定板7一端均转动连接有轴承13，轴承13远离转动杆8一端与底板1上表面转动连接，两个L形固定板11上顶端底部均固定连接有电动伸缩杆14，电动伸缩杆14下底部均固定连接有滑动块12，滑动块12下底部与转动杆8侧壁滑动连接，通过定位环套6、L形固定板11便于对分子泵2进行导向加固，通过弧形固定板7、电动伸缩杆14、滑动块12、转动杆8便于对分子泵2进行加固稳定，提高分子泵2工作过程中的平衡性。
[0020]具体的，本技术使用时，将分子泵2穿过定位环套6放置在底板1上进行限位，再启动电动伸缩杆14，使滑动块12与转动杆8侧壁滑动连接，使得两个弧形固定板7对分子泵2进行夹持固定，提高分子泵2工作时的平衡性和稳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于MPCVD设备的抽气模块，其特征在于，包括：底板(1)，所述底板(1)上表面中心放置有分子泵(2)，所述分子泵(2)上表面设有进气口(3)，所述分子泵(2)一端侧壁底部开设有出气口(4)，所述分子泵(2)外侧壁上方套接有定位环套(6)，所述定位环套(6)下底部两端位于分子泵(2)旁均设有弧形固定板(7)，两个所述弧形固定板(7)相互远离的一端均固定连接有转动杆(8)，所述转动杆(8)下方侧壁固定连接有压缩弹簧(9)，所述进气口(3)上顶部通过密封条固定连接有漏斗形导管(5)。2.如权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的抽气模块，其特征在于，所述定位环套(6)外侧壁两端均固定连接有L形固定板(11)，两个所述L形固定板(11)远离定位环套(6)一端固定连接底板(1)上表面，两个所述转动杆(8)远离弧形固定板(7)一端均...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡常青，邹益，
申请(专利权)人：上海铂世光半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：