激发式气体分子放电灯及其制造方法技术

具有由电解质构成的放电容器，上述放电容器内部封入了用于激发式气体分子发光的放电用气体的激发式气体分子放电灯，其特征是在上述放电容器的外表面具备至少有２层导电膜的电极，上述２层导电膜中，位于放电容器一侧的层含有铬。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关激发式气体分子放电灯的。
技术介绍
激发式气体分子放电灯，例如在使用氙作为放电用气体的情况下，放射出中心波长为172nm的高能量真空紫外线。因此其主要用来取代放射185nm和254nm波长紫外线的低压水银灯，而多把激发式气体分子放电灯应用于精密洗净(用光洗净)液晶表示装置的玻璃基板和半导体单结晶板等的紫外线照射装置的光源。真空紫外线，是指波长在50nm以上200nm以下的范围的紫外线。此真空紫外线，被空气中的氧吸收使之发生臭氧。因此，在空气中液晶表示装置的玻璃基板等的被处理物表面通过被真空紫外线照射而发生的臭氧，其又与透过的真空紫外线产生相乘的效果，从而可分解去除处理物表面的有机物等并将其洗净。真空紫外线透射率优良的合成石英玻璃，被用作激发式气体分子放电灯的放电容器。对于激发式气体分子放电灯，其放电容器内封入了用于激发式气体分子发光的放电用气体。通过对此气体加以高频电压使之产生电解质临界放电而放射真空紫外线。以前，作为放电容器，多采用封入放电气体的双重结构的圆筒管或直径小的圆筒管。譬如，像日本的专利公报的特开2001-243920号的图4记载的那样。开发了一种采用方形箱的放电容器取代这个双重圆筒状的放电容器的激发式气体分子放电灯。这样的例子，譬如，记载于日本的专利公开公报的特开2000-260396号公报。在封入了放电发光用的氙和氪等的放电用气被的放电容器中，在其相对的外表面上设置有一对电极。通过在电极间施加于高频电压，可高效率地放射出气体所固有的波长的紫外线。对于由双重结构的圆筒管构成的放电容器中，在被双重圆筒管隔开的放电空间内填充放电用气体，向形成于外侧圆筒管的外表面和紧贴内侧圆筒管的内表面的电极间施加高频电压。波长在200nm以下的真空紫外线，由于被大气中的氧吸收，到达的距离短。因此，以下的方策被采用，即在装有具有双重圆筒管的激发式气体分子放电灯的照射装置的前面设置石英玻璃板，并且，在其内部装入惰性气体，以维持照射物表面的紫外线强度。并且，为了从周围的影响中保护电极，电极通过覆盖保护层的方法加以保护。例如像在日本专利公开公报的特开平5-174792号中记载的那样。
技术实现思路
最近，开发一种象被图1表示的那样，方箱形的石英制的放电容器1被做成极长的激发式气体分子放电灯。在这个放电容器1中，横截面的上下的高度为十数mm，左右的幅度为数十mm的薄的扁方形，其纵向的长度竟有1m以上。放电容器1就是通过把这样的长的合成石英玻璃管的两端堵塞住，在内部充填氙气而被制造的。在这个放电容器1中，通过在平坦的上面和下面各自形成模式图样的金属薄膜而以之作为电极。放电容器1的上面的电极，几乎被制成为全面覆盖在这个平坦的表面上。另一方面，底部的电极，被做成网眼状的模式图形，真空紫外线就从这个网眼的间隙照射到下方。因为真空紫外线被氧气吸收，在空气中迅速衰减，而仅能到达很短的距离。譬如，波长172nm的真空紫外线，只能照到10mm以下的距离。因此，为使从激发式气体分子放电灯放射的真空紫外线照射到宽阔的面积，则需要使之从放电容器1具有最大面积的平坦的表面照射。因而，底部的电极被做成网眼状，真空紫外线就从这些电极的间隙向下方照射。根据这样的照射方式，则不需要像记载于日本的专利公开公报的特开2001-243920号的那样，向灯室内填充不活性气体，或在灯室前面使用石英玻璃板。在上述的
技术介绍
中所记载的激发式气体分子放电灯，采用了网状，线状，板状，或管状等的金属作为电极。特别是，在放电容器1的紫外线照射面上，采用网状或线状的电极，紫外线从这个网或线的间隙照射出。在使用网状，线状，板状，或管状等的电极时，其问题是在电极和形成放电容器1的电解质间的微小间隙内产生火花放电。由于这个火花放电，电极物质将飞散(溅射)而导致光透过窗的污损，从而吸收光。因此，产生紫外线输出效率下降的问题。总之，如果在放电容器1的紫外线透过面上形成电极的情况下，则不能长期保持紫外线输出效率不下降。作为解决这样的火花放电的问题的方法，可考虑用蒸镀，溅射或离子镀等手段直接在放电容器1上面形成薄膜电极。用上述方法形成的电极，因为放电容器1和电极间不产生间隙，而能抑制火花的发生。由于合成石英玻璃具有出色的真空紫外线的透射率而被作为放电容器1的材料，然而，由于用蒸镀和溅射法形成的金属与此石英玻璃的粘着力极弱，而使得用上述手法形成的薄膜电极，非常容易剥落。本专利技术，就是针对上述的问题而进行的，目的在于提供一种具备难以从放电容器上剥落的薄膜电极的激发式气体分子放电灯。本专利技术的专利技术1，具备由电解质构成的放电容器，上述放电容器内部被封入了用于激发式气体分子发光的放电气体，其特征是在上述放电容器的外表面上配置至少有2层导电膜的电极，上述2层的导电膜之中，在位于放电容器一侧的层中含有铬。根据第1专利技术，因为2层导电膜之中的位于放电容器一侧的层中所含有的铬与放电容器的贴紧性强，而使得电极很强地结合在放电容器上。本专利技术的专利技术2，与专利技术1相关，其特征是上述电极被形成有间隙的图形的膜，紫外线可透过那个间隙。根据专利技术2，可以通过蒸镀和溅射等方法在放电容器的紫外线照射面上形成与放电容器间没有间隙的难以剥落的电极。其结果，通过抑制放电容器和电极间的火花放电及伴随于此的紫外线透过窗的污损，可长期维持高的紫外线输出效率。本专利技术的专利技术3，与专利技术1相关，其特征是上述放电容器含有合成石英玻璃。以前，激发式气体分子放电灯用金属薄膜电极不能很强地结合在由合成石英玻璃构成的放电容器上。专利技术者们首次发现通过设置含铬层，可以把激发式气体分子放电灯用金属薄膜电极很强地结合在由合成石英玻璃构成的放电容器上。根据专利技术3，能使获得放电容器和电极的强的粘着力，以及来自于合成石英玻璃出色的真空紫外线透射率的紫外线的高输出效率一举两得。本专利技术的专利技术4，是与专利技术1相关，其特征是在上述2层的导电膜中，在远离放电容器一侧的层里，含有至少一种选自笸铂铂，钯，金，或镍的元素。当被来自于激发式气体分子放电灯的真空紫外线照射时，与周围的大气中的氧反应产生臭氧。在以前例子中，铝等被用做激发式气体分子放电灯的电极，存在的问题是由于这种电极对臭氧的化学不稳定性而劣化。对于这样的问题，可考虑使用对臭氧化学稳定的铂，钯，金，或镍作为电极材料。然而，以前这些与合成石英玻璃的粘着性不好的材料未能用于激发式气体分子放电灯的薄膜电极。专利技术者们发现在大量的材料中，铬适合于作为与铂，钯，金，或镍，以及合成石英玻璃的双方粘着性都良好的材料。根据专利技术4，可使与放电容器和电极的粘着力强，及电极对臭氧的良好的化学稳定性两立。如果能用含铂，钯，金，或含有镍的层完全覆盖含有铬的层，则可显著地抑制个的氧化等导致的劣化。本专利技术的专利技术5，是与第1，2，3，或4的专利技术相关，其特征是上述2层的导电性膜中的至少一方，是用离子镀法或溅射法来形成的。专利技术者们，通过非常多的实验的结果，发现在很多方法中，离子镀及溅射法特别优于把含有铬的导电膜结合在激发式气体分子放电灯的放电容器上，以及再把第2导电性膜结合在含铬的导电性膜上。并且，专利技术者们发现，如果比较离子镀法和溅射法，采用离子镀法制成的导电膜的结合强度则更优。如上所述，根据专利技术5，可把含铬的导电膜很强地结合在激发式气体分子放本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激发式气体分子放电灯，其中具备由电介质构成的放电容器，所述放电容器内部封入了用于激发式气体分子发光的放电用气体，其特征在于，在所述放电容器的外表面具备至少具有２层导电膜的电极，所述２层导电膜中、位于放电容器一侧的层含有铬。

【技术特征摘要】
JP 2002-9-20 275489/20021.一种激发式气体分子放电灯，其中具备由电介质构成的放电容器，所述放电容器内部封入了用于激发式气体分子发光的放电用气体，其特征在于，在所述放电容器的外表面具备至少具有2层导电膜的电极，所述2层导电膜中、位于放电容器一侧的层含有铬。2.根据权利要求1所述的激发式气体分子放电灯，其特征在于，所述电...

【专利技术属性】
技术研发人员：细谷浩二，江崎真伍，吉川智也，
申请(专利权)人：株式会社杰士汤浅，
类型：发明
国别省市：JP[日本]