受激准分子灯制造技术

本发明专利技术提供一种受激准分子灯，防止支撑板所致的照度降低或均匀性恶化，该支撑板用于防止双重圆筒型放电容器的内侧管的弯曲。在设于构成放电容器的内侧管与外侧管之间的、支撑该内侧管并防止其弯曲的支撑板上，朝光取出方向形成缺口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种受激准分子灯，尤其涉及一种夹设电介质材料而进行放电的受激准分子灯。
技术介绍
受激准分子灯具有强烈地放射单一波长的真空紫外光的特征，而纵所周知，在使用了例如氙气作为放电用气体的受激准分子灯中，放射波长172nm的真空紫外光，而装载该灯的光照射装置被使用于附着于液晶面板显示元件的面板基板表面的有机物的分解除去或面板基板的表面改质等。图8表示现有的受激准分子灯50，(a)表示管轴方向的剖面图；(b)表示半径方向的剖面图。受激准分子灯50包括例如由石英玻璃这样的电介质材料构成的外侧管11和内侧管12被同轴配置的双重圆筒管结构的放电容器13，上述外侧管11的端部与内侧管12的端部通过焊接而形成侧壁部14。在此些外侧管11与内侧管12之间形成环状放电空间S，在其内部封入例如氙气而作为放电用气体。在外侧管11的外表面设有网状外侧电极15，而在内侧管12的内侧，设有管状或剖面上在一部分具有缺口的大约C字形状的内侧电极16。通过高频电压施加到外侧电极15与内侧电极16之间，受激准分子形成在放电空间S内，而使该受激准分子进行脱离，从而放射氙受激准分子光。然而，近年来，随着照射对象的液晶面板显示元件的基板的大面积化，受激准分子灯也长尺度化，例如被要求全长超过800mm的受激准分子灯。在这样长尺度化的受激准分子灯中，如图8所示的结构，水平地捆包在捆包容器内而以轨道等进行搬运时，因给予灯的冲击或振动而有产生放电容器破裂的不方便的可能。尤其是，在熔敷外侧管11与内侧管12的侧壁部14上会产生损伤或破损。仅以放电容器13的两端所支撑的内侧管12，若施加灯输送时的冲击等，则会使其中央部弯曲，由此，这样的放电容器13的破损成为产生应力集中在内侧管12两端的熔敷部分的侧壁部14的原因。如图9所示，作为用于解决上述问题的手段，提出了在同轴配置了外侧管11与内侧管12的双重圆筒管结构的放电容器13中、将支撑板配置于上述外侧管11与内侧管12之间的结构(参照专利文献1)。依照该构造，通过支撑板17来支撑内侧管12，由此防止其弯曲，可防止放电容器13的裂缝。然而，由于在发光部分配置支撑板17，因此有另外产生新的问题的可能。即，在放电空间S内配置有支撑板17的部分不会形成放电，还有该支撑板17会遮住来自未配置支撑板17的发光部分的光，而不能取出至放电容器13外。由此，支撑板17的正下方的被处理物表面的光量会降低，不但会减少整体光量，还会使均匀性不充分。即使使用光透过性材料作为支撑板17，也无法避免不发生放电，而且，也无法完全地排除支撑板所致的光吸收，因此无法避免支撑板正下方的被处理物面的光量降低及均匀性的恶化。专利文献1日本特开2004-139889号
技术实现思路
本专利技术要解决的课题是，提供一种受激准分子灯，即使为了防止放电容器的裂缝而具备支撑板时，也可将支撑板正下方的被处理面的照度降低及均匀性恶化抑制成最小限度。本专利技术的受激准分子灯，具有放电容器，同轴状地被配置的外侧管与内侧管相互在端部焊接，并在两者间形成环状放电空间；以及外侧电极及内侧电极，分别被配设在上述外侧管的外表面和内侧管的内表面，该受激准分子灯在上述外侧管与内侧管之间配置有支撑该内侧管的支撑板，在上述放电空间内填充着生成受激准分子的放电气体，其特征在于，上述支撑板在半径方向的剖面中朝光取出方向具有缺口。专利技术的效果在本专利技术的受激准分子灯中，在用于防止放电容器的内侧管的弯曲并防止放电容器的裂缝等损伤的支撑板上，在其光取出一侧设置缺口，从而在该部分也形成放电，不会降低该部分的照度，而且，作为整体也可使得放电稳定且均匀化。此外，具有不会遮断来自其他发光部分的光、不会减少光量或恶化均匀性的效果。附图说明图1表示具体实施例方式(a)是轴向剖面图，(b)是半径方向剖面图。图2是表示其他实施例的半径方向剖面图。图3表示其他实施例(a)是半径方向剖面图，(b)是王要部分轴向剖面图。图4是表示其他实施例的半径方向剖面图。图5是表示其他实施例的半径方向剖面图。图6是表示其他实施例的轴向剖面图。图7(a)至图7(d)是表示用以说明在实施例1至实施例6中、将支撑板20精度优异地固定于外侧管11中央部附近的方法的图。图8表示现有例(a)是轴向剖面图，(b)是半径方向剖面图。图9表示其他现有例。具体实施例方式以下，参照第1图至第6图说明本专利技术的实施例。在各图中，或与第8图与第9图相同符号是表示相同构件。(实施例1)在图1中，(a)是管轴方向剖面图，(b)是半径方向剖面图。在放电空间S内的外侧管11与内侧管12之间与内侧管12相嵌合地设有支撑板20，如(b)所示，在该支撑板20上，朝光取出部方向，在图示的情况下，朝下方形成缺口21。该缺口21尽量被切成较大，以成为相对于外侧管11支撑内侧管12而不会产生妨碍的程度。上述支撑板20被嵌插在内侧管，而其一部分与该内侧管12熔敷或粘接22，限制绕内侧管12的旋转方向及轴向的移动。(实施例2)在图2的实施例2中，形成了缺口21的支撑板20，在其外周的一部分与外侧管11熔敷或粘接23，此外与上述实施例1相同。如上述实施例1及实施例2所示，可采用支撑板20在内周缘被熔敷或粘接于内侧管12、或是在外周缘被焊着或粘接于外侧管11的任一种，考虑放电容器13的装配工序时，最好如实施例1所示，支撑板20被固定在内侧管12上。即，放电容器13的装配在将支撑板20安装到内侧管12的状态下插入到外侧管11内，并通过在端部接合两者而进行，因此，支撑板20被固定在内侧管12上，可顺利地进行向外侧管11内的插入。(实施例3)在图3的实施例3中，在支撑板20的缺口21的下方位置，在外侧管11形成有凹处24。该凹处24，以燃烧器烘烤软化外侧管11的后、推压棒状体就可形成。这时候，凹处24是在放电空间S内朝上方、即朝外侧管11的上部内面方向抬高支撑板20般地作用，而朝外侧管11推压支撑板20。该凹处24限制支撑板20的旋转方向的动作。而且，在内侧管12形成有形成在支撑板20两侧的小突起25，限制支撑板20向内侧管12的轴向的动作。该小突起25，通过加热软化石英玻璃棒而熔敷于内侧管12就可形成。在该实施例3中，利用凹处24使得支撑板20外侧管11相抵接，因而，通过搬运时等的振动可避免支撑板20与外侧管11在其间的微小间隙相撞，可防止支撑板20、特别是外周缘的角部损伤于未然。(实施例4)在图4所示的实施例4中，光取出方向的缺口26形成比实施例1至实施例3更大的缺口，使得内侧管12的一部分从缺口26露出。如上所述，若光取出方向在下方时，缺口26被残留，以便支撑板20覆盖内侧管12的周边180度以上，可在残留支撑内侧管12的功能的范围内切除。(实施例5)对于以上的实施例1至实施例4，图5的实施例5是光取出方向在上方的例子。该实施例的情况下，支撑板20成为从下方支撑内侧管12的形态，而支撑板20的缺口结构，除了上述实施例1～4的结构之外，也可以切成在内侧管12周围的180度以下的范围内支撑。由此，缺口27可切成比实施例1～4的情形更大，在支撑板20上方空间的放电与没有支撑板的其他部分大致同样地生成，并且也可进一步减少遮光程度。此外，在这些实施例4及实施例5中，限制支撑板20的旋转方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种受激准分子灯，具有：放电容器，同轴状配置的外侧管与内侧管相互在端部焊接，并在两者间形成环状放电空间；以及外侧电极和内侧电极，分别被配设在上述外侧管的外表面和内侧管的内表面，该受激准分子灯在上述外侧管与内侧管之间配置有支撑该内侧管的支撑板，在上述放电空间内填充着生成受激准分子的放电气体，其特征在于，上述支撑板在半径方向的剖面中在光取出方向具有缺口。

【技术特征摘要】
JP 2004-6-24 186760/20041.一种受激准分子灯，具有放电容器，同轴状配置的外侧管与内侧管相互在端部焊接，并在两者间形成环状放电空间；以及外侧电极和内侧电极，分别被配设在上述外侧管的外表面和内侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：广濑贤一，清濑正秀，住友卓，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]