受激准分子灯装置制造方法及图纸

对于在电压变化的情况下的启动施加和启动稳定性来说，通过沿着放电容器的整个长度布置一对电极，本发明专利技术提供一种具有先进启动性能的受激准分子灯装置，而没有任何触发电极。紫外线发射器布置成由紫外线照射放电容器内的放电气体，并且通过暴露于来自紫外线发射器的紫外线启动受激准分子灯。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种辐射紫外线以便例如固化树脂或半导体晶片、玻璃衬底灯的表面处理和/或表面清洁的受激准分子灯装置。
技术介绍
在日本未审查专利申请出版物NO.2000-311658中披露一种包括在受激准分子灯装置内的受激准分子灯。受激准分子灯是无电极的场放电受激准分子灯，它包括其中含有放电气体并具有围绕其外侧缠绕的外部电极的放电容器。具有围绕其外侧缠绕的内部电极的高度电绝缘管大致在其中央插入放电容器内。通过将从1MHZ到100MHZ的高频施加到内部电极上经由电场放电来实现受激准分子灯照明。高度绝缘管具有触发电极和具有沿着管轴线的整个长度延伸的两个分支部分的内部电极。日本未审查专利申请出版物NO.2000-311658的段落(0013)中披露具有所述构造的受激准分子灯由于两个放电产生的重叠作用而能够快速启动一个放电是在触发电极和外部电极之间形成的放电，另一放电是在外部电极和内部电极之间的放电。因此，为了通过产生放电而快速启动，该受激准分子灯必须具有与内部电极分开的触发电极。因此，触发电极应该面向外部电极设置，其中具有容器的放电空间。由于触发电极占据的空间以及避免内部电极和相邻细槽内的触发电极之间无意放电所需的间距，内部电极的尺寸受到限制，并且不能沿着放电容器的整个空间布置，因此使其难以在放电容器内确保足够大的放电区域。
技术实现思路
本专利技术的第一目的在于提供一种受激准分子灯装置，该装置具有改进启动性能而不设置所述的触发电极。本专利技术的第二目的在于提供一种受激准分子灯装置，在不同条件下，例如如果供应到电极上的电压大小波动时，并特别是如果供应电压减小时，该装置具有稳定的启动性能。在深入研究之后，本专利技术的专利技术人发现所述的问题可以通过提供一种受激准分子灯装置来解决，该装置具有紫外线发射器，发射器将紫外线照射在放电容器内所含的放电气体上，并通过从电源施加电压到电极上，同时该紫外线发射器以紫外线照射放电气体。为了实现所述目的，本专利技术进行如下描述。(1)受激准分子灯包括具有填充放电气体的放电空间以便产生受激准分子光的放电容器，放电容器的一部分对于从放电空间中照射的受激准分子光来说是透明的；具有电极并在放电气体中放电的受激准分子灯；将电压供应到电极上的电源以及布置其中以便将紫外线照射在介电容器中填充的放电气体上的紫外线发射器，其中在紫外线发射器将紫外线照射在放电气体上时，通过将电源施加到电极上来启动受激准分子灯。(2)本专利技术可具有一种受激准分子灯，受激准分子灯在放电容器的各自外表面具有一对面对电极。(3)本专利技术还包括其中容纳受激准分子灯的灯壳体以及位于灯壳体壁一部分上的紫外线透射窗口，其中紫外线发射器位于灯壳体外部并且紫外线发射器发射的紫外线通过紫外线透射窗口，并照射放电气体。(4)本专利技术还具有紫外线透射窗口，该窗口位于受激准分子灯壁的一部分上，其中紫外线发射器发射的紫外线通过紫外线透射窗口，并照射放电气体。(5)最好是，在本专利技术中，薄膜层形成在紫外线透射窗口的表面上，该薄膜阻挡200nm以下波长的紫外线并透射200nm以上波长的紫外线。(6)本专利技术最好包括用来检测受激准分子灯发射的受激准分子光中所含光波长的光检测装置以及用于按照光检测装置的检测结果来自动断开施加到紫外线发射器上的电压的电压断开装置。(7)在本专利技术中，紫外线发射器的数量可以小于受激准分子灯的数量。采用按照以上(1)或(2)所述的受激准分子灯，当紫外线发射器照射放电气体时，通过将电压施加到受激准分子灯的电极上来启动受激准分子灯。因此，与电压施加到受激准分子灯的电极上以便启动受激准分子灯的情况相比，可以改善启动时间。同样对于稳定启动电压来说，可以改进20％。本专利技术的术语“稳定启动电压”指的是按照本专利技术受激准分子灯开始以100％可能性发射受激准分子光而不将放电气体暴露于来自紫外线发射器的紫外线的施加电压。按照以上(3)所述的本专利技术，除了方面(1)或(2)受激准分子灯装置提供的优点之外，本专利技术减小灯壳体容积并使得紫外线发射器的配置具有更大的设计灵活性，这是由于紫外线发射器放置在壳体外部，壳体具有紫外线透射到封装放电气体的放电容器的放电空间内的紫外线透射窗口。按照以上(4)所述的本专利技术，除了方面(1)或(2)受激准分子灯装置提供的优点之外，本专利技术减小包含受激准分子灯的灯壳体的尺寸，并使得紫外线发射器的配置具有更大设计灵活性，这是由于在受激准分子灯壁的一部分上，受激准分子灯具有紫外线透射到封装放电气体的放电容器的放电空间内的紫外线透射窗口。按照以上(5)所述的本专利技术，本专利技术通过在方面(2)、(3)或(4)所述的受激准分子灯装置中的紫外线透射窗口上形成薄膜来控制透射波长，并通过透射200nm以上波长的光并阻挡200nm以下波长的光来防止真空紫外线透射通过紫外线透射窗口。例如，氙气基受激准分子灯发射中心波长为172nm的紫外线。只有处理腔室被紫外线照射，这是由于紫外线透射窗口上的薄膜阻挡200nm波长以下的紫外线(此后该光称为“真空紫外线”)。接着，可以避免臭氧产生，如果真空紫外线经由紫外线透射窗口被外部空气中的氧吸收通常会出现这种情况。按照以上(6)所述的本专利技术，与其中紫外线发射器恒定照射的受激准分子灯装置相比，本专利技术提供的方面(1)、(2)、(3)、(4)或(5)所述的受激准分子灯装置中的紫外线发射器的寿命更长，这是由于只在通过使用光检测装置检测的数据来提供自动施加电压关断装置启动该装置时紫外线发射器进行照射。检测装置检测的光是从受激准分子灯发射的受激准分子光的一部分。按照以上(7)所述的本专利技术，本专利技术提供一种具有比受激准分子灯数量更少的紫外线发射器的装置；因此，可以减小紫外线发射器的数量以及启动紫外线发射器的电源的数量。附图说明图1是本专利技术第一实施例受激准分子灯装置的截面图；图2是用于本专利技术第一实施例受激准分子灯装置中的受激准分子灯的纵向截面图；图3是表示本专利技术第一实施例受激准分子灯装置中的受激准分子灯启动概率相对于受激准分子灯的施加电压的特性曲线；图4是按照本专利技术第二实施例的受激准分子灯装置的截面图；图5是沿着按照本专利技术第三实施例的受激准分子灯装置纵向轴线的截面图；图6是按照本专利技术第三实施例的受激准分子灯装置的照明控制器的方框图；图7是照明控制器中功能状态的时间图；图8是按照本专利技术第四实施例的受激准分子灯装置的截面图；图9是按照本专利技术第五实施例的受激准分子灯装置的截面图；图10是按照本专利技术第六实施例的受激准分子灯装置的截面图；图11是按照本专利技术第七实施例的受激准分子灯装置的截面图；图12是按照本专利技术第八实施例的受激准分子灯装置的截面图；图13是按照本专利技术第九实施例的受激准分子灯装置的截面图；图14是按照本专利技术具有圆柱形形状的受激准分子的截面图；图15是按照本专利技术具有大致平面形状的受激准分子的截面图；以及图16是按照本专利技术第十实施例的受激准分子灯装置的截面图。具体实施例方式本专利技术的受激准分子灯装置包括具有其中封装产生受激准分子的放电气体的放电空间的放电容器，放电容器的一部分对于从放电空气发射的受激准分子光来说是透明的；具有在放电气体中产生放电的电极的受激准分子灯；供应电压到电极上的电源；以及将紫外线照射到放电空间内填充的放电气体上的紫外线发射器。在紫外线发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种受激准分子灯装置包括：具有填充放电气体以便产生受激准分子光的放电空气的放电容器，所述放电容器的一部分对于从所述放电空间发射的所述受激准分子光来说是透明的；具有电极并在所述放电空间内的所述放电气体中产生放电的受激准分子灯；施加电压到所述电极上的电源；以及布置在所述受激准分子灯装置内以便将紫外线照射到所述放电容器内填充的所述放电气体上的紫外线发射器；其中在所述紫外线发射器将紫外线照射到所述放电气体上时，通过将电压施加到所述电极上来启动所述受激准分子灯。

【技术特征摘要】
JP 2004-6-23 212298/04;JP 2005-2-10 34978/051.一种受激准分子灯装置包括具有填充放电气体以便产生受激准分子光的放电空气的放电容器，所述放电容器的一部分对于从所述放电空间发射的所述受激准分子光来说是透明的；具有电极并在所述放电空间内的所述放电气体中产生放电的受激准分子灯；施加电压到所述电极上的电源；以及布置在所述受激准分子灯装置内以便将紫外线照射到所述放电容器内填充的所述放电气体上的紫外线发射器；其中在所述紫外线发射器将紫外线照射到所述放电气体上时，通过将电压施加到所述电极上来启动所述受激准分子灯。2.如权利要求1所述的受激准分子灯装置，其特征在于，所述受激准分子灯在所述放电容器的各自外侧表面上具有一对面对的电极。3.如权利要求1或2所述的受激准分子灯装置，其特征在于，还包括其中容纳所述受激准分子灯的灯壳体；以及位于所述灯壳体壁一部...

【专利技术属性】
技术研发人员：木暮靖男，
申请(专利权)人：豪雅冠得股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]