本实用新型专利技术涉及高纯工业气体置换技术领域，提出了一种气密抽空置换装置，包括三通接头及连接管，连接管包括第一连接管、第二连接管及第三连接管，第一连接管、第二连接管及第三连接管的一端分别连接三通接头的三个连接口，第一连接管、第二连接管及第三连接管的另一端分别用于连接真空置换机、气密检测机及高纯工业气体管束式集装箱，第一连接管与真空置换机之间设置有第一控制单元，第二连接管与气密检测机之间设置有第二控制单元，第三连接管与高纯工业气体管束式集装箱之间通过插装接头连接，解决了现有技术中气密性试验台以及抽真空机组各自有一套连接装置，需要进行反复的拆卸及连接，接口处容易造成污染的问题。接口处容易造成污染的问题。接口处容易造成污染的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种气密抽空置换装置
[0001]本技术涉及高纯工业气体置换
，尤其涉及一种气密抽空置换装置。
技术介绍
[0002]电子气体和特种气体作为高纯工业气体的重要组成部分是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的基础性支撑性原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺；介质纯度要求达到6N(99.9999％)、甚至7N(99.99999％)级；具体表现为：高纯工业气体管束式集装箱制作工艺过程中，除了有泄漏试验(气密性试验)外，还需要对设备进行抽真空处理，最大限度的降低设备内部附着的水分、颗粒物以及油分等，真空低至一定的负压后，还需充入高纯惰性气体进行多次置换，直至介质纯度满足要求；现有技术中，气密性试验台以及抽真空机组各自有一套连接装置，在整个生产操作过程中，需要进行反复的拆卸及连接，接口处容易造成污染。
[0003]因此，现阶段本领域技术人员急需设计一种气密抽空置换装置，使高纯工业气体管束式集装箱在进行气密性试验及抽真空处理时不需反复拆卸，避免了接口处的污染。
技术实现思路
[0004]本技术提出了一种气密抽空置换装置，解决了现有技术中高纯工业气体管束式集装箱接口处需要反复拆卸其他试验装置容易造成污染的问题。
[0005]本技术的技术方案如下：
[0006]一种气密抽空置换装置，包括三通接头及连接管，所述连接管包括第一连接管、第二连接管及第三连接管，所述第一连接管、第二连接管及第三连接管的一端分别连接三通接头的三个连接口，所述第一连接管、第二连接管及第三连接管的另一端分别用于连接真空置换机、气密检测机及高纯工业气体管束式集装箱，所述第一连接管与所述真空置换机之间设置有第一控制单元，所述第二连接管与所述气密检测机之间设置有第二控制单元，所述第三连接管与所述高纯工业气体管束式集装箱之间通过插装接头连接。
[0007]所述第一控制单元包括依次设置在所述第一连接管与所述真空置换机之间的第一球阀、变径管及抽空置换接头连接环，所述第一球阀的一个接口通过锥密封焊接接头与所述第一连接管连通，所述第一球阀的了另一个接口通过所述锥密封焊接接头与所述变径管连通，所述抽空置换接头连接环用于连接所述真空置换机。
[0008]所述第二控制单元包括依次设置在所述第二连接管与所述气密检测机之间的第二球阀、弯通接头及快装接头，所述第二球阀与所述第二连接管之间通过锥密封焊接接头进行连接，所述第二球阀与所述弯通接头的一端通过变径对丝连通，所述弯通接头的另一端连接所述快装接头，所述快装接头用于连接所述气密检测机。
[0009]还包括测压单元，所述测压单元与所述气密检测机连通，用于检测所述高纯工业气体管束式集装箱的气体压力检测，所述测压单元设置在所述弯通接头的侧壁上。
[0010]所述测压单元包括对丝、放气阀、压力表及压力表截止阀，所述压力表依次通过测压管与对丝连接所述弯通接头，所述测压管上设置有所述放气阀，所述放气阀用于控制所述压力表的工作状态。
[0011]所述测压单元还包括丝堵，所述对丝贯穿所述弯通接头，所述丝堵连接在所述对丝端头，所述对丝上设置有进气口，所述进气口位于所述弯通接头内部。
[0012]上述任一连接位置为过盈配合或通过密封圈配合。
[0013]本技术的工作原理及有益效果为：
[0014]本技术为一种气密抽空置换装置，包括三通接头及连接管，所述连接管包括第一连接管、第二连接管及第三连接管，所述第一连接管、第二连接管及第三连接管的一端分别连接三通接头的三个连接口，所述第一连接管、第二连接管及第三连接管的另一端分别用于连接真空置换机、气密检测机及高纯工业气体管束式集装箱，所述第一连接管与所述真空置换机之间设置有第一控制单元，所述第二连接管与所述气密检测机之间设置有第二控制单元，所述第三连接管与所述高纯工业气体管束式集装箱之间通过插装接头连接，通过三通接头和连接管将真空置换机和气密检测机组合在一起后与高纯工业气体管束式集装箱连通，对高纯工业气体管束式集装箱进行气密性试验和抽真空作业，同时第一控制单元用于控制真空置换机的工作状态，第二控制单元用于控制气密检测机的工作状态，通过调节第一控制单元与第二控制单元来完成高纯工业气体管束式集装箱进行气密性试验和抽真空作业，解决了现有技术中气密性试验台以及抽真空机组各自有一套连接装置，在整个生产操作过程中，需要进行反复的拆卸及连接，接口处容易造成污染的问题。
附图说明
[0015]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0016]图1为本技术气密抽空置换系统总体结构示意图；
[0017]图2为本技术第一控制单元结构示意图；
[0018]图3为本技术第二控制单元结构示意图；
[0019]图4为本技术测压单元结构示意图；
[0020]图中：1、三通接头，2、第一连接管，3、第二连接管，4、第三连接管，5、真空置换机，6、气密检测机，7、高纯工业气体管束式集装箱，8、第一球阀，9、变径管，10、抽空置换接头连接环，11、锥密封焊接接头，12、第二球阀，13、弯通接头，14、快装接头，15、变径对丝，16、测压单元，17、对丝，18、放气阀，19、压力表，20、压力表截止阀，21、测压管，22、丝堵，23、插装接头。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本技术保护的范围。
[0022]实施例1
[0023]如图1～图4所示，一种气密抽空置换装置，包括三通接头1及连接管，连接管包括
第一连接管2、第二连接管3及第三连接管4，第一连接管2、第二连接管3及第三连接管4的一端分别连接三通接头1的三个连接口，第一连接管2、第二连接管3及第三连接管4的另一端分别用于连接真空置换机5、气密检测机6及高纯工业气体管束式集装箱7，第一连接管2与真空置换机5之间设置有第一控制单元，第二连接管3与气密检测机6之间设置有第二控制单元，第三连接管4与高纯工业气体管束式集装箱7之间通过插装接头23连接。
[0024]本实施例中，通过三通接头1和连接管将真空置换机5和气密检测机6组合在一起后与高纯工业气体管束式集装箱7连通，对高纯工业气体管束式集装箱7进行气密性试验和抽真空作业，同时第一控制单元用于控制真空置换机5的工作状态，第二控制单元用于控制气密检测机6的工作状态，通过调节第一控制单元与第二控制单元来完成高纯工业气体管束式集装箱7进行气密性试验和抽真空作业，避免了反复拆卸影响工作效率，且有效的避免了高纯工业气体管束式集装箱7接口处被污染。
[0025]如图1～图2所示，第一控制单元包括依次设置在本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气密抽空置换装置，包括三通接头(1)及连接管，其特征在于，所述连接管包括第一连接管(2)、第二连接管(3)及第三连接管(4)，所述第一连接管(2)、第二连接管(3)及第三连接管(4)的一端分别连接三通接头(1)的三个连接口，所述第一连接管(2)、第二连接管(3)及第三连接管(4)的另一端分别用于连接真空置换机(5)、气密检测机(6)及高纯工业气体管束式集装箱(7)，所述第一连接管(2)与所述真空置换机(5)之间设置有第一控制单元，所述第二连接管(3)与所述气密检测机(6)之间设置有第二控制单元，所述第三连接管(4)与所述高纯工业气体管束式集装箱(7)之间通过插装接头(23)连接。2.根据权利要求1所述的一种气密抽空置换装置，其特征在于，所述第一控制单元包括依次设置在所述第一连接管(2)与所述真空置换机(5)之间的第一球阀(8)、变径管(9)及抽空置换接头连接环(10)，所述第一球阀(8)的一个接口通过锥密封焊接接头(11)与所述第一连接管(2)连通，所述第一球阀(8)的了另一个接口通过所述锥密封焊接接头(11)与所述变径管(9)连通，所述抽空置换接头连接环(10)用于连接所述真空置换机(5)。3.根据权利要求1所述的一种气密抽空置换装置，其特征在于，所述第二控制单元包括依次设置在所述第二连接管(3)与所述气密检测机(6)之间的第二...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔闻天，李亮亮，杨利芬，王涛岭，王颖，秦瑞，
申请(专利权)人：新兴能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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