感光性无机膏状组合物、未烘烤片状体、以及等离子显示器前面板的制造方法技术

一种能改善图案精确度使之完全满足等离子显示器对精细图案的要求的感光性无机膏状组合物，使用该组合物制造离子显示器前面板的未烘烤的片状体，以及等离子显示器前面板的制造方法。混合使用一种ＮｏｒｉｓｈＩ型光聚合引发剂和一种脱氢光聚合引发剂作为感光性无机膏状组合物中的光聚合引发剂，而该组合物至少含有一种光聚合引发剂、一种可光聚合的单体和无机粉末。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种感光性无机膏状组合物，其通过光刻具有优异的图案形状，以及使用该组合物制造等离子显示器前面板的未烘烤的片状体，还涉及制造等离子显示器前面板的方法。
技术介绍
利用电子的放电现象使大量的微小的单元发生自发光形成图像的等离子体显示器具有大面积、薄、轻和平面显示等优异的性能，这些优点是传统显示器达不到的，以及这种等离子体显示器的推广使用已经开始。传统的等离子体显示器主要由在显示器的垂直方向具有肋部的笔直结构的单元构成。然而最近几年发展起来一种栅格结构的单元，该单元不仅在垂直方向而且在水平方向都带有肋部，从而有效地将光从发光点导向等离子体显示器的前部。单元的栅格结构通过防止光从邻近的单元泄漏，从而非常有效地将光导入前部。图1是带有栅格单元的等离子体显示器的主要部件的分解立体图。该等离子体显示器带有前面板1，板上形成互相平行的组合电极11，每个组合电极包括透明电极110和总线电极112，显示器还带有后面板2，板上形成的互相平行的地址电极21还与组合电极11交错。前面板1和后面板2彼此相对，整合在一起构成一个显示器元件。前面板1具有作为显示面的透明玻璃基板10，组合电极11位于透明玻璃基板10的内侧上，即位于面对后面板2的一侧。形成一层电介质层12来覆盖组合电极11，在电介质层12上有形成图案的间隔层16，由MgO等物质制成的保护膜19在分隔层16和电介质层12之上。另外，后面板2包括基板20，基板20面对前面板1的一侧设有地址电极21。一层电介质层22覆盖地址电极21，发光部在电介质层22上形成，详见如下所述。发光部包括多个单元，每个单元都处于组合电极11与地址电极21交错的空间位置。在电介质层22上沿显示器竖直和水平方向形成的肋部24是每个单元的边界。荧光层26覆盖肋部24的侧壁以及肋部内的电介质层22的表面，即是每个单元的内壁和底壁。在等离子显示器内，一个交流电源向前面板上的组合电极施加预定的电压以形成电场使单元放电。这种放电产生紫外光，进一步造成荧光层26发光。图2是带有栅格单元的等离子显示器从后面板侧看到的前面板1的立体图。图3是带有栅格单元的等离子显示器的剖面图。如图2所示，栅格结构的等离子显示器的电介质层12上以等距线的形式设有大量的间隔层16。如图3所示，前面板1内的能隔层16接触肋部24，从而在肋部24封闭成的每个单元的上部形成缝隙X，通过缝隙X可将稀有气体导入每个单元。丝网印刷制造法是公知的制造前面板的方法。丝网印刷制造法包括在玻璃基板10上形成玻璃膏状膜，将其在400～700℃烘烤形成电介质层12，然后用丝网印刷法在电介质层12上将玻璃膏状组合物压出一定图案，然后在400～700℃第二遍烘烤形成分隔层16。然而，丝网印刷制造法需要两步烘烤，提高了生产成本。该方法的另一个问题是图案位置的精确度很差。例如，专利文件1(日本专利申请公开No.2002-150949)和专利文件2(日本专利申请公开No.2002-328467)描述了上述的公知技术。为了解决丝网印刷法存在的问题，人们提出了使用光刻法制造等离子显示器前面板的新方法。图4A到4C描述了使用光刻法的生产流程。第一，在玻璃基板10上形成含有非感光性玻璃膏状膜的未烘烤的电介质层12A和含有感光性玻璃膏状膜的感光性、未曝光、未烘烤的间隔材料层16A。用通过光掩模的紫外光等光线照射间隔材料层16A(图4A)。然后对该层显影，出现光刻图案16A′(图4B)。将产物在400～700℃烘烤，同时形成电介质层12和间隔层16(图4C)。使用光刻法的制造方法的优点在于只需进行一个烘烤步骤，就能同时烘烤出电介质层12和间隔层16。因此，生产成本就比丝网印刷法降低了。在上述制造方法中，将一种玻璃粉的感光性玻璃膏状组合物、一种光聚合引发剂、一种可光聚合的单体和一种粘合用树脂作为形成间隔材料层16A的材料。当在感光性玻璃膏状组合物中使用光聚合引发剂时，要使用一种在α碳的位置断开产生原子团的，称为Norish I型的光聚合引发剂。Norish I型光聚合引发剂的特征是具有高硬化速度和优异的内硬化性质。当使用这种具有优异的内硬化性质的Norish I型光聚合引发剂，对感光性玻璃膏状膜的硬化能充分进行到其底部，得到一种剖面略呈梯形的高度稳定的图案。然而近年来，业界对更精细的图案形成的要求不断增加，因此出现的问题是传统的感光性玻璃膏状组合物不能完全满足等离子显示器的精细图案形成的要求。例如，在图4A中，当感光性玻璃膏状膜曝光形成图案时，曝光的光线相对感光性玻璃膏状膜表面以直角进入。然而，曝光的光线被感光性玻璃膏状膜所含的玻璃粉反射，导致成晕现象，因此曝光的光线会到达更广的区域。相应地，得到的图案16A′的剖面是图5所示的梯形。因此其中的问题是由于等离子显示器要求更精细的图案形成，当图案的间距变窄时，这种梯形的效应会更严重地破坏图案的精细度。特别在上述使用光刻法的制造方法中，含有非感光性玻璃膏状膜的未烘烤的电介质层12A被排在感光性玻璃膏状膜16A之下并曝光。相应地，其中的成晕现象的影响不仅由于感光性玻璃膏状膜所含的玻璃粉反射的光，而且由于下层未烘烤的电介质层12A所含的玻璃粉反射的光而变得更加严重。因此，相对上底宽Wtop，图案的下底宽Wbtm趋向于变得很大。经过后期的烘烤处理，有图案的间隔材料层16A′和未烘烤的电介质层12A略微收缩。当图案和未烘烤的电介质层12A的接触区域(即是图案的间隔材料层16A′的底部面积)面积大时，如图6A所示，由于每个有图案的间隔材料16A′的收缩，作为下层的电介质层12A被拉伸，图案区域的电介质层12被抬高，导致电介质层12厚度不均匀。另一个问题是有图案的间隔材料16A′的收缩导致图案之间的电介质层12受到方向相反的张力，如图6B所示，图案线之间的电介质层12将破裂。尽管Norish I型光聚合引发剂内硬化性质优异，但是硬化可能被氧气抑制，这可能阻止直接接触氧气的表面区域的硬化反应。因此，如图5所示，通常发生感光的感光性玻璃膏状的表面会覆盖一层聚对苯二甲酸乙二醇酯之类的透明膜180以隔绝氧气。然而，即使表面覆盖聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，由于膜很薄，微量的氧气会穿透膜。因此，图案的表面部分在曝光后仍可能处于未硬化状态，因此被显影溶液洗掉，干扰图案表面的平整度。因此产生的问题是，当图案以这种状态烘烤时，玻璃粉成分被烘烤处理熔化掉，使表面平坦到一定程度，但是表面仍保持不平坦，使图案的厚度不均匀。本专利技术正是为了解决已有技术中的问题，本专利技术涉及感光性无机膏状组合物，将图案精细度提高到足以适用于等离子显示器要求的精细图案形成的程度，还涉及使用该组合物制造等离子显示器前面板的未烘烤的片状体，以及制造等离子显示器前面板的方法。
技术实现思路
为了解决上述问题，在做了大量研究之后，专利技术人发现在一种感光性无机膏状组合物(至少包括一种光聚合引发剂、一种可光聚的单体和无机粉末)中同时使用一种Norish I型光聚合引发剂和一种脱氢光聚合引发剂作为光聚合引发剂，能取得优异的图案形状，完全适用于等离子显示器所需要的形成精细图案。在该发现的基础上产生了本专利技术。根据本专利技术感光性无机膏状组合物的优选实施例，所用的Norish I型光聚合引发剂优选为选本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性无机膏状组合物，包括：一种光聚合引发剂、一种可光聚合的单体和无机粉末，其特征在于，所述光聚合引发剂同时含有一种ＮｏｒｉｓｈＩ型光聚合引发剂和一种脱氢光聚合引发剂。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-1-28 019629/20041.一种感光性无机膏状组合物，包括一种光聚合引发剂、一种可光聚合的单体和无机粉末，其特征在于，所述光聚合引发剂同时含有一种Norish I型光聚合引发剂和一种脱氢光聚合引发剂。2.根据权利要求1所述的感光性无机膏状组合物，其特征在于，所述Norish I型光聚合引发剂为一种化合物，所述化合物选自安息香醚化合物、苄基缩酮化合物、α-羟基苯乙酮化合物、α-胺基苯乙酮化合物、双酰基氧化膦化合物、酰基氧化膦化合物、苯基二羰基化合物和苯基酰基肟化合物、以及上述物质的混合物。3.根据权利要求1或2所述的感光性无机膏状组合物，其特征在于，所述脱氢光聚合引发剂为一种化合物，所述化合物选自芳香酮化合物、噻吨酮化合物、蒽醌化合物、含二烷基胺基的芳族化合物、烷基烷醇胺化合物、以及上述物质的混合物。4.根据权利要求1所述的感光性无机膏状组合物，其特征在于，所述Norish I型光聚合引发剂为一种苄基缩酮化合物，所述脱氢光聚合引发剂为一种噻吨酮化合物。5.根据权利要求1到4中任一项所述的感光性无机膏状组合物，其特征在于，将所述感光性无机膏状组合物中的所述Norish I型光聚合引发剂和所述脱氢光聚合引发剂两种组分的总量作为100重量份，所述Norish I型光聚合引发剂的含量是10到99重量份，所述脱氢光聚合引发剂的含量是90到1重量份。6.一种未烘烤的片状体，用于制造等离子显示器前面板，所述前面板包括一个表面形成数个电极的玻璃基板，一层形成在所述基板上的电介质层，以及形成在所述电介质层上的数层厚度均匀的间隔层，所述未烘烤体包括一层可除去的支持膜，其上设有感光性未曝光未烘烤的间隔材料层，所述间隔材料层含有光聚合引发剂、可光聚合单体和无机粉末，所述光聚合引发剂同时含有一种Norish I型光聚合引发剂和一种脱氢光聚合引发剂。7.根据权利要求6所述的制造等离子显示器前面板的未烘烤的片状体，还包括设置在所述间隔材料层上的未烘烤的电介质层，所述未烘烤的电介质层含有无机粉末和粘合用树脂。8.根据权利要求7所述的制造等离子显示器前面板的未烘烤的片状体，其特征在于，所述间隔材料层所含的无机粉...

【专利技术属性】
技术研发人员：带谷洋之，押尾公德，熊泽明，节田齐，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]