紫外线灯及紫外线照射装置制造方法及图纸

一种紫外线灯，具备形成为筒状的放电管，　　　　在所述放电管的外周壁的相互对置的位置，具备曲面部和紫外线透过用的平坦部，　　　　并且，所述曲面部形成为所述放电管的内部侧的面成为凹面。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及紫外线灯及紫外线照射装置。
技术介绍
作为清洗液晶面板用玻璃基板等的清洗装置等所使用的紫外线灯，存在双层管结构的激元灯(excimer lamp)(参照日本的特许公开公报的特开2003-257375公报及特开平9-97597号公报)。进而，同样作为清洗装置等所使用的紫外线灯，存在使用了圆柱形的放电容器的紫外线灯(参照日本的特许公开公报的特开2003-197152公报)。还有，同样作为清洗装置等所使用的紫外线灯，存在使用了方形箱型的放电容器的紫外线灯(参照国际特性申请的国际公开号WO2004/025175号公报)。但是，在日本的特许公开公报的特开2003-257375公报及特开平9-97597号公报中记载的双层管结构中，产生的紫外线从灯向全方向放射状地射出。因此，向与由紫外线清洗的对象物(机件(work)W)相反方向放射的紫外线未被用于清洗。为了解决该问题，例如，如第8图所示，在灯100的后方(与机件W相反侧)设置反射板101。这样，通过将向后方射出的光引导向机件W侧，从而能够实现照射效率的提高。而且，为了防止由灯100的周围存在的氧吸收紫外线而照射强度降低，需要对灯100和反射板101之间的空间进行密封，采用封入了氮气的密封构造的灯罩103。在该情况下，需要在灯罩103的机件W侧设置紫外线射出用的窗部102。但是，这样，在使用了灯罩103的情况下，存在装置整体大型化，进而构造上成本也增高的问题。而且，由于嵌入到反射板101、及窗部102的玻璃材通过紫外线而会经时地劣化，因此另外需要对这些部件的维护。其结果，产生运转费增大的问题。在日本的特许公开公报的特开2003-197152号所公开的例子中，在灯主体的外周面中的与光照射方向相反侧的部分安装有光线反射器(用于反射光线)。通过采用这样的结构，则不需要上述的灯罩。但是，紫外线会被空气中的氧吸收。因此，为了对机件W照射强度强的紫外线，需要使灯尽量靠近机件W。可是，在这样的例子中，由于灯形状为圆柱形，因此紫外线从灯放出之后至到达机件W的距离，因紫外线向何方向放出、及从灯的何位置放出而差异较大。因此，即便怎么使灯靠近机件W，必然一部分紫外线会通过空气中的长距离之后到达机件W。其结果，该紫外线被氧吸收的比例增高，因此产生紫外线的照射效率变低的问题。在国际特性申请的国际公开号WO2004/025175号公报所记载的例子中，放电容器是方形箱型。在该放电容器中，下面设置有紫外线能透射的网眼(mesh)电极，上面设置有反射紫外线的电极。在该例子中，由于上面设置有反射紫外线的电极，因此不需要上述那样的灯罩。另外，从说明的便利上，设WO2004/025175号公报的第4图所示的长方体的放电容器的六个面中的设置有紫外线反射电极(1b)的面为上面，设设置有紫外线能透射的网眼电极(1c)的面为下面。进而，设剩余的四个面中的面积大的一方的面为侧面，设面积小的一方的面为前后面。进一步，设从放电容器的中心部朝向上面的方向为上方向，朝向下面的方向为下方向，朝向侧面的方向为侧方向。在该WO2004/025175号公报的例子中，由于放电容器是方形箱型，因此机件W侧的面(下面)成为平面。因此，在使灯的下面靠近机件W时，无论在下面的何位置，下面都会均匀地靠近机件W。所以，与使用了上述那样的圆柱形的灯的情况比较，能够提高紫外线的照射效率。但是，这样的方形箱型的灯与圆柱形的灯比较，存在容易出现裂纹的问题。激元灯等紫外线灯的放电容器中，一般以熄灯时比大气压更低的压力封入有气体。并且，还存在点灯时的放电容器内的气压比大气压更高的紫外线灯。因此，对熄灯时的放电容器，从外部施加由大气压引起的压迫力。进而，存在通过灯而在点灯时施加由内部气体引起的膨胀力的情况。在上述那样的方形箱型的放电容器的情况下，需要使设置有反射紫外线的电极的上面、和以能透射紫外线的方式设置有网眼电极的下面为大面积。因此，由大气压引起的压迫力和由内部气体引起的膨胀力，在这些面中比其它面更大。其结果，通过施加到该上面和下面的大的压力，对侧面的部分施加大的力。其结果，放电容器在侧面容易出现裂纹。
技术实现思路
本专利技术为解决上述的问题而实现，其目的在于提供以简易的结构获得充分的照射效率，且放电容器不易出现裂纹的紫外线灯及紫外线照射装置。本专利技术的第一专利技术是具备形成为筒状的放电管的紫外线灯，该紫外线灯的特征在于，在放电管的外周壁的相互对置的位置，具备曲面部和紫外线透过用的平坦部，并且，曲面部形成为放电管的内部侧的面成为凹面(参照第2图)。另外，在本专利技术中，从说明的便利上，设第2图的上方向为放电管的上方向(即，曲面部位于的方向为上方向)，设第2图的下方向为放电管的下方向(即，紫外线透过用的平坦部位于的方向为下方向)。设第2图的左右的方向为放电管的侧方向。进而，设第2图中的垂直于纸面的方向为放电管的长度方向。根据第一专利技术，在放电管的外周壁设置有紫外线透过用的平坦部。在使该平坦部靠近机件W的情况下，由于平坦部是平坦的，因此平坦部的任何位置都均匀地靠近机件W。因此，能抑制使用了圆柱形的放电容器的现有例中产生的“必然一部分紫外线会通过空气中的长距离之后到达机件W”的问题。其结果，与使用了圆柱形的灯的情况相比，能够提高紫外线的照射效率。进而，根据第一专利技术，与使用了方形箱型的放电容器的现有例比较，能够获得放电管不易出现裂纹的效果。在第一专利技术的放电管中，与紫外线透过用的平坦部对置的外周壁，内部侧的面是成为凹面的曲面部。因此，即使对该放电管施加由大气压引起的压迫力或由内部气体引起的膨胀力，该力也不会集中在一个位置而会分散。因此，在本专利技术中，能够抑制在WO2004/025175号公报的第4图所示的长方体的放电容器的情况下产生的、力集中在侧面而侧面变得容易出现裂纹的问题。当然，第一专利技术的“平坦部”中的平坦，并非仅意味着是完全的平面。即使平坦部稍微变形，只要与对置的凹面相比是足够平坦，则可知能够获得本专利技术的效果。另外，第一专利技术中的曲面部未必仅由曲面构成。例如，如第9图所示，与紫外线透过用的平坦部201对置的曲面部，可以由两个圆弧状部203、和被夹持于这两个圆弧状部之间的、比紫外线透过用的平坦部201宽度更窄的平坦部202构成。可知在这样的情况下也能获得第一专利技术的效果。在这样的情况下，优选曲面部所包含的平坦部202的宽度在紫外线透过用的平坦部201的宽度的2/3以下，更优选在1/2以下，进一步优选在1/3以下。在平坦部202的宽度与紫外线透过用的平坦部201的宽度同等以上时，不包括在本专利技术的第一专利技术中。在这样的情况下，与使用了方形箱型的放电容器的情况相同，通过施加到对置的两个平坦部的由大气压引起的压迫力，对平坦部202的两侧的圆弧状部施加强力。其结果，该圆弧状部容易出现裂纹。因此，不能获得本专利技术中的第一专利技术的、放电管不易出现裂纹的效果。进而，第一专利技术的曲面部，如第10图所示，还可由比紫外线透过用的平坦部201宽度窄得多的多个平坦部204构成。在这样的情况下，可知也能获得第一专利技术的效果。可是，希望第一专利技术的曲面部由不包括平坦部的一个凹曲面构成。由此，更能够增强放电管的强度。而且，更优选第一专利技术的曲面部由不包括平坦部的、截面为圆弧状的一个凹曲面构成。由此，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种紫外线灯，具备形成为筒状的放电管，在所述放电管的外周壁的相互对置的位置，具备曲面部和紫外线透过用的平坦部，并且，所述曲面部形成为所述放电管的内部侧的面成为凹面。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种紫外线灯，具备形成为筒状的放电管，在所述放电管的外周壁的相互对置的位置，具备曲面部和紫外线透过用的平坦部，并且，所述曲面部形成为所述放电管的内部侧的面成为凹面。2.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中，在所述曲面部设置有紫外线反射部件，所述紫外线反射部件沿所述曲面部，比从所述放电管的一方侧部到另一方侧部的范围更广地形成，并且，在与所述放电管的长度方向垂直的所述紫外线灯的截面中，在所述紫外线反射部件中的紫外线反射面中的比所述一方侧部更靠下侧的部分的点，垂直于向所述紫外线反射面的切平面并朝向所述放电管的内部的方向比从所述一方侧部向所述另一方侧部的方向更靠向下侧。3.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中，在所述曲面部设置有紫外线反射部件，所述紫外线反射部件沿所述曲面部，比从所述放电管的一方侧部到另一方侧部的范围更广地形成，并且，所述紫外线反射部件是用于产生主放电的第一电极，所述主放电用于产生紫外线。4.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中，所述放电管的材质是石英玻璃。5.根据权利要求3所述的紫外线灯，其中，所述第一电极是接地用，所述第一电极设置在所述曲面部的外面，并且，所述放电管的内部设置有高电压连接用的第二电极。6.根据权利要求1所述的紫外线灯，其中，在所述曲面部设置有第一电极，所述第一电极沿所述曲面部，比从所述放电管的一方侧部到另一方侧部的范围更广地形成，在所述放电管的内部设置有沿所述放电管的长度方向延伸的线状的第二电极，所述第二电极设置在所述平坦部的中心部的附近，并且，构成为在所述第一电极与所述第二电极之间产生主放电。7.根据权利要求6所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：畑濑和也，金森佳宪，
申请(专利权)人：株式会社杰士汤浅，
类型：发明
国别省市：JP