基于柱面镜的激光光束像散补偿方法、装置及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及激光设备领域，公开了一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法、装置及存储介质，其方法包括：获取激光的第一质量数据；根据第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数；将像散补偿装置置入激光的光路，并根据第一设置参数设置像散补偿装置，以使激光穿过设置后的像散补偿装置；获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据；根据第二质量数据调节像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。本发明专利技术可以解决激光光路系统像差问题，提高激光光路系统输出的激光的质量。提高激光光路系统输出的激光的质量。提高激光光路系统输出的激光的质量。

【技术实现步骤摘要】
基于柱面镜的激光光束像散补偿方法、装置及存储介质


[0001]本专利技术涉及激光设备领域，尤其涉及一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法、装置及存储介质。

技术介绍

[0002]在大型激光系统中，像散是主要的像差之一。消除像散的影响是提高光束质量的一个关键途径。在激光精密加工设备的光路系统中，光学元件包括反射镜、分光镜、扩束镜、场镜、聚焦镜等，由于光学元件加工工艺的限制，导致光学元件的表面平整度或者镀膜质量无法达到理想效果；以及安装光学元件时，由于机械结构误差或者安装误差，这些因素都会给光路系统引入像散。因而，需要寻找一种可以解决激光光路系统像差问题的方法，提高激光光路系统输出的激光的质量。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法、装置及存储介质，以解决激光光路系统的像差问题，提高激光光路系统输出的激光的质量。
[0004]一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法，包括：
[0005]获取激光的第一质量数据；
[0006]根据所述第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数；
[0007]将所述像散补偿装置置入所述激光的光路，并根据所述第一设置参数设置所述像散补偿装置，以使所述激光穿过设置后的像散补偿装置；
[0008]获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据；
[0009]根据所述第二质量数据调节所述像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。/>[0010]一种基于柱面镜的激光光束像散补偿装置，所述像散补偿装置包括光学镜片组、机械结构件以及镜片调节组件；
[0011]所述光学镜片组包括至少两片柱面镜片；
[0012]所述机械结构件，用于安装所述光学镜片组；
[0013]所述镜片调节组件，用于根据第一设置参数设置所述光学镜片组的一维扩束方向；根据第二设置参数设置所述光学镜片组的扩束倍率和/或旋转角度；
[0014]其中，根据获取的激光的第一质量数据确定所述第一设置参数；
[0015]根据获取的穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据确定所述第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。
[0016]一个或多个存储有计算机可读指令的可读存储介质，所述计算机可读指令被一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器执行上述基于柱面镜的激光光束像散补偿方法。
[0017]上述激光光束像散补偿方法、装置及存储介质，通过获取激光的第一质量数据，以通过第一质量数据评估激光的质量。根据第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数，在此处，第一设置参数为像散补偿装置的粗调参数，该粗调参数与最佳参数的差距较小，有利于提高像散补偿装置的补偿效率，减少进行补偿的调节时间。将像散补偿装置置入激光的光路，并根据第一设置参数设置像散补偿装置，以使激光穿过设置后的像散补偿装置，以完成像散补偿装置的接入，并使第一设置参数生效。获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据，以通过第二质量数据评估激光补偿后的质量。根据第二质量数据调节像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求，在此处，通过第二设置参数的调节，可以使激光的光斑圆度达到最大。本专利技术可以解决激光光路系统像差问题，提高激光光路系统输出的激光的质量。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对本专利技术实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本专利技术一实施例中基于柱面镜的激光光束像散补偿方法的一流程示意图；
[0020]图2是本专利技术一实施例中激光光束穿过像散补偿装置的简易示意图；
[0021]图3是本专利技术一实施例中进行像散补偿前的光斑示意图；
[0022]图4是本专利技术一实施例中进行像散补偿后的光斑示意图；
[0023]图5是本专利技术一实施例中进行像散补偿前的光斑离焦点列图；
[0024]图6是本专利技术一实施例中进行像散补偿后的光斑离焦点列图；
[0025]图7是本专利技术一实施例中计算机设备的一示意图。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]在一实施例中，如图1所示，提供一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法，包括如下步骤S10
‑
S50。
[0028]S10、获取激光的第一质量数据。
[0029]可理解地，可通过在激光器出口附近放置光束质量分析仪，测量激光的第一质量数据。在此处，第一质量数据包括激光形成的光斑的圆度值以及形状。一般情况下，未经补偿的激光呈椭圆状。此时，第一质量数据包括了椭圆的短轴偏转角度(该角度可以是短轴与垂直线所成的角度，短轴与垂直线处于同一个垂平面内；也可以是短轴与水平线所成的角度，短轴与水平线处于同一个垂平面内)。
[0030]S20、根据第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数。
[0031]可理解地，像散补偿装置具有一维扩束功能。第一设置参数可以指像散补偿装置
的粗调参数。可以根据第一质量参数设置像散补偿装置的扩束方向。在一些情况下，若激光光斑的圆度值偏大(正圆的圆度值为0，圆度越大，长轴和短轴的比例越大)，可以适当提高像散补偿装置的扩束倍率，以降低光斑的圆度值。换句话说，第一设置参数可以只包括像散补偿装置的一维扩束方向，也可以包括散补偿装置的一维扩束方向及扩束倍率。
[0032]S30、将像散补偿装置置入激光的光路，并根据第一设置参数设置像散补偿装置，以使激光穿过设置后的像散补偿装置。
[0033]可理解地，将像散补偿装置置入激光的光路，然后根据第一设置参数设置像散补偿装置。也即是，使像散补偿装置的一维扩束方向对准光斑的短轴，实现对激光的补偿。如图2所示，激光穿过像散补偿装置中的光学镜片组，对激光进行单一维度扩束，提高激光的圆度。
[0034]S40、获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据。
[0035]可理解地，可通过在像散补偿装置的激光出口附近放置光束质量分析仪，测量激光的第二质量数据。在此处，第二质量数据包括激光形成的光斑的圆度值以及形状。
[0036]S50、根据第二质量数据调节像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。
[0037]可理解地，可以根据第二质量数据对激光的光斑的圆度进行分析，进而获得第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于柱面镜的激光光束像散补偿方法，其特征在于，包括：获取激光的第一质量数据；根据所述第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数；将所述像散补偿装置置入所述激光的光路，并根据所述第一设置参数设置所述像散补偿装置，以使所述激光穿过设置后的像散补偿装置；获取穿过设置后的像散补偿装置的激光的第二质量数据；根据所述第二质量数据调节所述像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求。2.如权利要求1所述的基于柱面镜的激光光束像散补偿方法，其特征在于，所述像散补偿装置包括光学镜片组、机械结构件以及镜片调节组件；所述光学镜片组包括至少两片柱面镜片；所述机械结构件，用于安装所述光学镜片组；所述镜片调节组件，用于分别根据所述第一设置参数、所述第二设置参数设置所述光学镜片组的工作参数；所述工作参数包括扩束倍率和/或旋转角度。3.如权利要求1所述的基于柱面镜的激光光束像散补偿方法，其特征在于，所述第一质量数据包括由所述激光形成的光斑的圆度值以及短轴偏转角度；所述根据所述第一质量数据确定像散补偿装置的第一设置参数，包括：根据所述第一质量数据中的圆度设置所述第一设置参数中的扩束倍率；根据所述第一质量数据中的短轴偏转角度设置所述第一设置参数中的旋转角度。4.如权利要求1所述的基于柱面镜的激光光束像散补偿方法，其特征在于，所述根据所述第二质量数据调节所述像散补偿装置的第二设置参数，以使与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据满足预设要求，包括：判断所述第二质量数据是否满足所述预设要求；若所述第二质量数据不满足所述预设要求，根据所述第二质量数据生成所述像散补偿装置的调节量；根据所述调节量对所述像散补偿装置的第二设置参数进行调节，并获取与经调节后的第二设置参数对应的第二质量数据；若与经调节后的第二设置参数对...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁宗森，彭建操，吕洪杰，翟学涛，杨朝辉，
申请(专利权)人：深圳市大族数控科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：