布线板、电子源以及图像显示设备的制造方法技术

本发明专利技术披露了一种制造布线板的方法，所述布线板包括：（Ａ）具有槽和与槽相邻的相邻区域的基板，以及（Ｂ）具有第一部分和从第一部分延伸的第二部分的第一布线，所述第一部分被提供在所述槽内的第一区域内，所述第二部分被提供在作为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括以下步骤：制备具有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三区域的围绕所述第二区域以及所述槽的接触角不同于第二区域的接触角；以及至少对槽的内部和相邻区域的一部分施加导电膏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及布线板的制造方法、电子源的制造方法、图像显示设 备的制造方法以及图像再现设备。
技术介绍
在使用电子发射器件的平板显示器中，电压被选择性地施加到在 排列成矩阵形式的多个布线(矩阵布线)的每个相交处或相交处附近 提供的电子发射器件上，以控制每个电子发射器件的电子发射并显示 图像。矩阵布线由被供以扫描信号的扫描布线和与扫描布线相交的并 被供以调制信号的信号布线构成。近些年来， 一直需要能够显示高精 细图像的显示器。因而，在需要形成更细的布线的同时，需要增加布 线的膜厚，以避免由于要形成更细的布线的趋势而使得布线的电阻增 加。此外， 一直需要能够更容易生产的显示器。作为对应于这些要求的一种解决方案，日本专利申请待审公开No.2002 — 203475和日本专利申请待审公开No. 2005 — 190769披露了 一种方案，其中，利用被设置在基板表面中提供的槽内的导电骨，借 助于烘焙使布线掩埋在槽内，并和被提供在槽附近的电子发射器件相 连。不过，在提供在基板表面的槽内印刷导电骨(含有布线材料的骨) 并对其烘焙而在槽内提供布线的方法中，有时由于在烘焙时布线材料 被烘焙而收缩，在布线和槽的内壁之间产生间隙。当间隙产生时，有 时在被提供在槽附近的基板表面上的电极(连接到电子发射器件的电 极或构成电子发射器件的电极)和槽内的布线之间的连接的可靠性降 低。当为了减少间隙而把槽用导电骨完全充满时，如果温度发生显著改变，有时在槽内带电的布线由于在基板材料和布线材料之间的热膨 胀系数不同而使得槽的内壁膨胀，因此在基板内产生裂缝或缝隙。需 要改善在位于槽附近的基板表面上被提供的电极和被提供在槽内的布 线之间的连接可靠性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种布线板的制造方法，其中在槽内提供 的布线和位于槽附近的基板表面上提供的电极之间的连接的可靠性被 改善。(1) 为实现上述目的，按照本专利技术的一个方面，提供一种制造布线板的方法，所述布线板包括(A)具有槽和与槽相邻的相邻 区域的基板，以及(B)具有第一部分和从第一部分延伸的第二部分 的第一布线，所述第一部分被提供在所述槽内的第一区域内，所述第 二部分被提供在作为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括 以下步骤制备具有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三 区域的围绕所述第二区域以及所述槽的接触角不同于第二区域的接触 角；以及，至少对槽的内部和与槽相邻的区域的一部分施加导电骨。(2) 按照本专利技术的另一个方面，提供一种制造布线板的方法， 所述布线板包括(A)具有槽和与槽相邻的相邻区域的基板，以及(B)具有第一部分和从第一部分延伸的第二部分的第一布线，所述 第一部分被提供在所述槽内的第一区域内，所述笫二部分被提供在作 为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括以下步骤制备具 有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三区域的夹住第二区 域的接触角不同于第二区域的接触角；以及，至少对槽的内部和与槽 相邻的区域的一部分施加导电骨。(3) 按照本专利技术的另一方面，提供一种制造电子源的方法， 所述电子源包括具有第一布线和第二布线的布线板；以及多个电子 发射器件，它们被设置在所述布线板上，并具有和第一布线相连的第 一电极以及和第二布线相连的第二电极，其中所述布线板按照上面(l)和(2)中所述的制造布线板的方法被制造。(4) 按照本专利技术的另一方面，提供一种图像显示设备的制造 方法，所述图像显示设备包括电子源和发光部件，当从所述电子源发 出的电子被辐射时，所述发光部件发光，其中所述电子源按照上面(3) 中所述的制造电子源的方法制造。(5) 按照本专利技术的另一个方面，提供一种图像再现设备，其 至少包括接收单元，用于接收广播信号和通过电通信网络的信号中至 少之一，以及包括和所述接收单元相连的图像显示单元，其中所述图 像显示单元按照上面(4)中所述的制造图像显示设备的方法被制造。因而，可以容易地以高可靠性实现在槽内提供的布线和位于槽附 近的基板表面上提供的电极之间的连接。附图说明图l是使用本专利技术的布线板和电子发射器件的电子源的例子的示 意平面图2是沿着图1的线A-A取的示意截面图3是沿着图1的线B-B取的示意截面图4A，4B是在导电骨干燥之后的示意平面图和示意截面图5A，5B是在导电骨被烘焙之后的示意平面图和示意截面图6是按照印刷方法形成的电极和布线的示意截面图7是按照印刷方法形成的电极和布线的示意截面图8是按照本专利技术的TV单元的方框图；以及图9A-9H表示本专利技术的布线板和电子源的制造过程。具体实施例方式下面参照图9说明本专利技术的布线板(具有布线的基板)的制造方 法。也将说明将所述布线板应用于电子源的例子。图9表示布线板和 电子源的制造过程。这里示出了使用表面传导电子发射器件作为电子发射器件的例有间隙的导电膜以及和所述导电膜的 两端相连的一对电极构成。电子发射器件至少具有两个电极，例如场致发射电子发射器件、MIM型电子发射器件可以用作本专利技术的电子 源。可按照本专利技术的制造方法形成的布线板可以应用于各种显示器和 显示板，例如液晶显示器、有机EL显示器和等离子体显示器。如果 任何功能器件例如上述的电子发射器件、EL器件、TFT被设置在本 专利技术的布线板上并和第一导体相连，则可以构成各种电子装置例如显 示器和电路。<布线板和电子源的制造方法> (处理l)首先，制备基板l，并在基板1的表面的预定位置形成沿X方向 延伸的多个槽2(图9A)。虽然所示的X方向是相对于图9的纸面的 左右方向，但是槽2也可以沿垂直方向(Y方向)形成。即，槽的延 伸方向可以是任何预定方向。作为基板1的材料，可以使用任何绝缘材料，特别优选的是玻璃。 当然，允许使用配备有槽2的基板。虽然已知的方法例如湿式蚀刻或千式蚀刻可以用作槽2的形成方 法，优选的是使用喷砂方法。因为利用喷砂方法形成的槽2的内壁具 有大的不平衡性，可以有效地用导电骨填充槽2。此外，还因为可以 抑制在布线4和在随后的烘焙处理中获得的槽2的内壁之间的干扰(发 生应力等)，所以该方法是优选的。 (处理2)在位于槽2旁边(邻近于槽2)的基板l的表面(区域)上，提 供成对的电极第一电极91和第二电极92 (图9B)。作为电极91、 92的材料，可以使用任何导电材料。例如，作为 电极91、 92的材料，可以使用金属材料。特别地，最好使用化学稳定 的金属材料，例如铂。作为成对电极的制造方法，可以使用公知的膜 形成方法，例如濺射方法。在处理2之前，优选由氧化硅构成的膜被提供在基板1的表面上， 至少在要设置电子发射器件的区域。可以在形成基板1的槽2的整个 表面上形成所述的膜。可以通过溅射方法等形成氧化硅膜。通过形成 氧化硅膜，可以阻止碱金属例如对形成在成对电极91、 92上的电子发 射器件有害的钠从基板l扩散。同时，可以省略形成氧化硅膜的处理。(处理3)接着，第二区域712 (其中提供从布线的主要部分(布线的第一 部分)延伸的部分(布线的第二部分)5,第二区域是和槽2相邻的区 域(第一区域711)的一部分)的接触角，被设置成和与槽2相邻的 区域的另一部分(其中不提供布线(第一部分4和第二部分5)的区 域)720的夹住第二区域712的接触角不同。更具体地说，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造布线板的方法，所述布线板包括：（Ａ）具有槽和与槽相邻的相邻区域的基板，以及（Ｂ）具有第一部分和从第一部分延伸的第二部分的第一布线，所述第一部分被提供在所述槽中的第一区域内，所述第二部分被提供在作为相邻区域的一部分的第二区域内，　 　所述方法包括以下步骤：制备具有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三区域的围绕所述第二区域以及所述槽的接触角不同于第二区域的接触角；以及至少对槽的内部和相邻区域的一部分施加导电膏。

【技术特征摘要】
JP 2006-7-10 2006-1892821.一种制造布线板的方法，所述布线板包括(A)具有槽和与槽相邻的相邻区域的基板，以及(B)具有第一部分和从第一部分延伸的第二部分的第一布线，所述第一部分被提供在所述槽中的第一区域内，所述第二部分被提供在作为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括以下步骤制备具有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三区域的围绕所述第二区域以及所述槽的接触角不同于第二区域的接触角；以及至少对槽的内部和相邻区域的一部分施加导电膏。2. —种制造布线板的方法，所述布线板包括(A)具有槽和与 槽相邻的相邻区域的基板，以及(B)具有第一部分和从第一部分延 伸的第二部分的第一布线，所述第一部分被提供在所述槽中的第一区 域内，所述第二部分被提供在作为相邻区域的一部分的第二区域内，所述方法包括以下步骤 制备具有槽的基板；使得作为相邻区域的另一部分的第三区域的夹住第二区域的接 触角不同于第二区域的接触角；以及至少对槽的内部和相邻区域的一部分施加导电骨。3. 如权利要求1或2所述的制造布线板的方法，其中所述相邻区域相对于槽是平坦的。4. 如权利要求1或2所述的制造布线板的方法，还包括在对槽的 内部和相邻区域的一部分施加导电骨之前在相邻区域中...

【专利技术属性】
技术研发人员：守屋雅文，石渡和也，铃木义勇，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]