本申请涉及一种对位检测装置及具有该装置的芯片分选装置，包括固定架，所述固定架设有转角同轴光源、吸管和相机；其中吸管具有吸气道，吸气道的一端为吸气端，且吸气端设有吸嘴，吸气道的另一端设有透光密封件，吸气道的吸嘴用于对准蓝膜上的芯片，所述吸嘴的轴心的延长线经由转角同轴光源的反光面的反射线过所述相机的镜头。本申请具有提高分选准确度的效果。效果。效果。
【技术实现步骤摘要】
一种对位检测装置及具有该装置的芯片分选装置
[0001]本申请涉及半导体生产专用设备的领域，尤其是涉及一种对位检测装置及具有该装置的芯片分选装置。
技术介绍
[0002]LED芯片在生产过程中，可能会出现不同光色差的情况，为了确保品质一定，因此需要通过芯片分选装置对不同光色差的LED芯片进行筛分。
[0003]现有的芯片分选装置包括机架、筛分架、收料架、驱动组件、转移组件，其中筛分架上固定有待处理蓝膜，待处理蓝膜上粘接依次排布的光色差不一致的芯片，收料架上固定有已处理蓝膜，已处理蓝膜上粘接有光色差一致的芯片；驱动组件用于分别带动筛分架和收料架移动，转移组件用于将待处理蓝膜上的芯片转移至已处理蓝膜上，从而确保同一色差的芯片位于同一已处理蓝膜上，从而完成芯片的分选。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为，当待处理蓝膜上的芯片的位置有偏差时，转移组件较难精确转移该芯片，从而影响后续的芯片分选。
技术实现思路
[0005]为了确保芯片的准确转移，本申请提供一种对位检测装置及具有该装置的芯片分选装置。
[0006]本申请提供的一种对位检测装置，采用如下的技术方案：一种对位检测装置，包括固定架，所述固定架设有转角同轴光源、吸管和相机；其中吸管具有吸气道，吸气道的一端为吸气端，且吸气端设有吸嘴，吸气道的另一端设有透光密封件，吸气道的吸嘴用于对准蓝膜上的芯片，所述吸嘴的轴心的延长线经由转角同轴光源的反光面的反射线过所述相机的镜头。
[0007]为了吸取效果更好和减少对芯片吸取过程中的损伤，现有的吸嘴往往采用橡胶制成，而在长期使用之后，作为易耗件的吸嘴往往受损得比较厉害，而受损的吸嘴难以对准吸取芯片，因此吸嘴需要及时更换；而橡胶材质的吸嘴则难以保证每次更换后新吸嘴相对蓝膜位置的准确性，为此，每次更换吸嘴后，需要对吸嘴位置进行重复校正，校正周期长，且采用重复调整、吸取等多次试错的方式进行校正，其效率较低。
[0008]并且发现，校正次数越多，其吸嘴的使用周期越短，即吸嘴在较短时间内易出现对位不准确的情况，需马上更换新吸嘴；经过多次对比分析，吸嘴由于加工误差以及本身的材质所限，在校正过程中(吸嘴实际与蓝膜发生碰撞或与芯片碰撞)，在吸嘴与吸管偏心的情况下，吸嘴受到外物作用力而吸嘴与吸管的连接位置形变较为厉害，并且有偏心的趋势(基于每次校正对吸嘴的情况进行解析得出)，为此哪怕校正完毕后，吸嘴已经存在不可逆或者较难发现的内部损伤，因此吸嘴的寿命则大大降低，造成芯片分选效果差，效率低等问题。
[0009]而通过采用上述技术方案，在分选芯片前进行对位检测，将新吸嘴安装至吸管上，然后确保吸管处于正对蓝膜的初始位置(吸嘴正对蓝膜)，即完成吸嘴与蓝膜的对位部位的
对位，然后转角同轴光源所射出的同轴光依次经过透光密封件、吸气道、吸嘴而射至待吸取芯片上，而从芯片反射的同轴光则原路返回并经过转角同轴光源的反光面的反射而射在相机的镜头上，使得相机采集到的图像为吸嘴的中心孔的圆点视野，此时在图像显示设备上，以圆点视野的中心为基准点，调整图像视野的虚拟十字线的位置，将虚拟十字线的中心与该基准点进行对准，从而完成吸嘴位置与采集图像中心的对位，即吸嘴、蓝膜对位部位、采集图像的中心三点一线，然后根据相机的采集图像，根据采集图像的虚拟十字线中心点与待吸取的芯片之间的距离，进行距离换算，并根据换算距离参数控制待处理蓝膜的移动方位和距离，以将待处理蓝膜的待吸取芯片以移动至采集图像的十字线中心点处，即移动至对应吸嘴的位置，进而便于吸嘴对芯片的精确吸取。
[0010]即采用校正采集图像的十字线的方式，以变相对吸嘴的位置进行修正，以避免吸嘴校正过程中的结构受损，不仅提高了准确度，同时还提高了吸嘴的使用周期，提高了分选效率和效果。
[0011]其次，并且利用吸管自身的特性，以限定同轴光的路径和范围，从而使得操作人员能够从采集图像的中部是否有芯片这一特点对吸管的对位情况进行快速且简单的判断；同时，吸管的结构还能过滤掉外部反射光源对于采集图像的影响，即采集的图像更加清晰。
[0012]并且当吸管通过外置的负压装置(如气管)成功精确吸取芯片之后，芯片将同轴光的路径遮挡掉，因此相机所采集的图像会出现黑点，即通过该黑点，操作人员即可快速对吸管吸取芯片后的状态判断，以减少漏吸或者吸歪漏气的情况发生。
[0013]可选的，所述固定架设有固定座，所述固定座设有用于安装所述吸管的安装腔，所述吸管的远离吸气端的一端为出气端；所述固定座设有气管，所述气管通过所述安装腔与所述出气端连通，所述透光密封件用于密封所述安装腔的远离所述吸气端的开口。
[0014]通过采用上述技术方案，通过固定座，其作用吸管的载体，气管产生负压，而气流则可经由吸气端、吸气道、出气端、安装腔，从而完成对于芯片的吸取；透光密封件的密封作用能够确保气压稳定，同时其透光作用能确保同轴光的照射。
[0015]可选的，所述透光密封件包括透光片和第一密封圈，第一密封圈位于所述安装腔的远离所述吸气端的开口处，所述透光片封堵所述第一密封圈的中空处。
[0016]通过采用上述技术方案，第一密封圈能够减少透光片安装过程中的间隙，以起到稳定气压的作用，而第一密封圈的中空处还能确保同轴光的照射。
[0017]可选的，所述固定座设有避让槽，所述避让槽与所述安装腔连通，所述避让槽内设有第二密封圈，且所述第二密封圈弹性套设于所述吸管的外壁。
[0018]通过采用上述技术方案，通过设置第二密封圈，能够对吸管与安装腔之间的间隙进行封堵，从而确保气压的稳定。
[0019]可选的，所述吸管的中部设有气管，所述透光密封件包括透光塞和第三密封圈，所述吸气道远离吸气端的一端设有台阶孔，所述第三密封圈位于台阶孔内，所述透光塞与所述台阶孔螺纹连接，且所述透光塞的端部顶压于所述第三密封圈上。
[0020]通过采用上述技术方案，精简结构，同时利用螺纹连接的形式便于透光塞的安装，以及通过螺纹连接所产生的顶压作用能够有效压缩第三密封圈，以减少气流外泄，确保气压稳定。
[0021]可选的，所述固定架设有转移架，吸管固定设置有支撑臂，所述支撑臂的下端与所
述转移架活动连接；所述转移架螺纹连接有第一螺杆，所述第一螺杆的端部与所述支撑臂活动连接。
[0022]通过采用上述技术方案，通过旋动第一螺杆，可带动支撑臂进行前后位移，从而对支撑臂的垂直度进行调整，以对吸管与同轴光的同轴度进行调节，以提高对位精度，并提高检测精度。
[0023]可选的，所述支撑臂开设有供所述第一螺杆穿过的第一穿孔，所述第一螺杆穿过所述第一穿孔的端部固定有限位块，所述限位块大于所述第一穿孔，所述限位块抵接于所述支撑臂的一侧面；所述转移架还设有第二杆，所述第二杆设有顶压弹簧，所述顶压弹簧抵接于所述支撑臂的背离所述限位块的侧面。
[0024]通过采用上述技术方案，通过正向旋动第一螺杆，利用限位块对于支撑臂的抵接，以实现第一方向上的位置调节，而通过反向旋动第一螺杆本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种对位检测装置，其特征在于：包括固定架(5)，所述固定架(5)设有转角同轴光源(51)、吸管(3)和相机(52)；其中吸管(3)具有吸气道(30)，吸气道(30)的一端为吸气端(301)，且吸气端(301)设有吸嘴(31)，吸气道(30)的另一端设有透光密封件(4)，吸气道(30)的吸嘴(31)用于对准蓝膜上的芯片，所述吸嘴(31)的轴心的延长线经由转角同轴光源(51)的反光面的反射线过所述相机(52)的镜头。2.根据权利要求1所述的对位检测装置，其特征在于：所述固定架(5)设有固定座(22)，所述固定座(22)设有用于安装所述吸管(3)的安装腔(221)，所述吸管(3)的远离吸气端(301)的一端为出气端(302)；所述固定座(22)设有气管(23)，所述气管(23)通过所述安装腔(221)与所述出气端(302)连通，所述透光密封件(4)用于密封所述安装腔(221)的远离所述吸气端(301)的开口。3.根据权利要求2所述的对位检测装置，其特征在于：所述透光密封件(4)包括透光片(41)和第一密封圈(42)，第一密封圈(42)位于所述安装腔(221)的远离所述吸气端(301)的开口处，所述透光片(41)封堵所述第一密封圈(42)的中空处。4.根据权利要求2所述的对位检测装置，其特征在于：所述固定座(22)设有避让槽(222)，所述避让槽(222)与所述安装腔(221)连通，所述避让槽(222)内设有第二密封圈(43)，且所述第二密封圈(43)弹性套设于所述吸管(3)的外壁。5.根据权利要求1所述的对位检测装置，其特征在于：所述吸管(3)的中部连接有气管(23)，所述透光密封件(4)包括透光塞(46)和第三密封圈(45)，所述吸气道(30)远离吸气端(301)的一端设有台阶孔(224)，所述第三密封圈(45)位于台阶孔(224)内，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄新青，刘骏，刘轩，幸刚，谭艳娥，蔡建镁，张嘉鸿，
申请(专利权)人：深圳市华腾半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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