便携式氯硅烷泄露检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了便携式氯硅烷泄露检测装置，包括相互连接的氨气存储部和控制检测部，氨气存储部远离控制检测部的一端设置有活塞推杆，控制检测部靠近氨气存储部的一端设置有磁力密封楔，控制检测部远离氨气存储部的一端设置有供含水绵纸检测试片的安装的卡接部，卡接部和磁力密封楔之间还设置有磁力密封球；含水绵纸检测试片内设置有吸引磁力密封球的吸引片。相较于现有技术中固定式有毒报警器在工艺生产装置内只能检测周围范围内是否有氯硅烷泄露，对部分管道连接处、阀门和设备口的微量泄漏无法起到及时检测的问题，本实用新型专利技术的便携式氯硅烷泄露性装置使用方便，对微量泄漏的氯硅烷或者进行管道阀门检漏时能够及时判断。判断。判断。

【技术实现步骤摘要】
便携式氯硅烷泄露检测装置


[0001]本技术涉及多晶硅生产安全领域，尤其涉及便携式氯硅烷泄露检测装置。

技术介绍

[0002]在多晶硅生产过程中，主工艺装置内的主要物料是二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅。通常情况下，氯硅烷会与外界环境中的水汽反应生成氯化氢气体，在装置区域内安装固定式有毒气体报警器可以检测氯硅烷是否泄漏，但这种氯硅烷在运行系统中微量泄漏不易察觉且难以找到泄漏部位，将会对外界环境造成污染及存在一定的安全隐患。
[0003]因此，针对上述问题，提供一种便携式氯硅烷泄露检测装置，是本领域亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种便携式氯硅烷泄露检测装置。
[0005]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0006]本技术的第一方面，提供便携式氯硅烷泄露检测装置，包括相互连接的氨气存储部和控制检测部，所述氨气存储部远离控制检测部的一端设置有活塞推杆，所述控制检测部靠近氨气存储部的一端设置有磁力密封楔，控制检测部远离氨气存储部的一端设置有供含水绵纸检测试片的安装的卡接部，所述卡接部和磁力密封楔之间还设置有磁力密封球；所述含水绵纸检测试片内设置有吸引磁力密封球的吸引片。
[0007]进一步地，所述氨气存储部为透明氨气存储部。
[0008]进一步地，所述氨气存储部外表面设置有计量刻度。
[0009]进一步地，所述氨气存储部为褶皱管，所述活塞推杆包括推动部和与褶皱管褶皱匹配的卡扣部，所述卡扣部与推动部固定连接。
[0010]进一步地，所述氨气存储部为螺纹管，所述活塞推杆包括推动部和与螺纹管螺纹匹配的螺纹部，所述螺纹部与推动部固定连接。
[0011]进一步地，所述吸引片为铁片。
[0012]进一步地，所述磁力密封楔与磁力密封球的接触面为坡面。
[0013]进一步地，所述氨气存储部和控制检测部均为圆柱体。
[0014]进一步地，所述氨气存储部的圆柱体直径大于控制检测部的圆柱体直径。
[0015]进一步地，所述含水绵纸检测试片设置有与所述卡接部匹配的卡接孔。
[0016]本技术的有益效果是：
[0017](1)在本技术的一示例性实施例中，相较于现有技术中固定式有毒报警器在工艺生产装置内只能检测周围范围内是否有氯硅烷泄露，对部分管道连接处、阀门和设备口的微量泄漏无法起到及时检测的问题；该示例性实施例的便携式氯硅烷泄露性装置使用方便，对微量泄漏的氯硅烷或者进行管道阀门检漏时能够及时判断，以降低应泄漏产生的
环境、安全、职业健康等危害。
[0018](2)在本技术的又一示例性实施例中，氨气存储部为透明设置，用于查看活塞推杆的推动程度，即不仅可以查看每次使用的用量，还可以在氨气用尽后方便查看以及后更换操作。
[0019](3)在本技术的又一示例性实施例中，氨气存储部为褶皱管，褶皱管为无法伸缩的硬质管，在利用活塞推杆推动时，每一次推动都前进至褶皱管的前一格，每次使用都只用推动一格即可达到检测的氨气量，方便用户使用。
[0020](4)在本技术的又一示例性实施例中，为了避免直接推动活塞推杆有一定困难，采用螺纹旋转的方式进行密封与推动。
附图说明
[0021]图1为本技术一示例性实施例公开的便携式氯硅烷泄露检测装置泄漏检测前的结构示意图；
[0022]图2为本技术一示例性实施例公开的便携式氯硅烷泄露检测装置泄漏检测时的结构示意图；
[0023]图3为本技术一示例性实施例公开的便携式氯硅烷泄露检测装置泄漏的氨气存储部为褶皱管的结构示意图；
[0024]图4为本技术一示例性实施例公开的便携式氯硅烷泄露检测装置泄漏的氨气存储部为螺纹管的结构示意图；
[0025]图中，1
‑
氨气存储部，2
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控制检测部，3
‑
活塞推杆，301
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推动部，302
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卡扣部，303
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螺纹部，4
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磁力密封楔，5
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含水绵纸检测试片，6
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卡接部，7
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磁力密封球，8
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吸引片，9
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计量刻度。
具体实施方式
[0026]下面结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系为基于附图所述的方向或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，属于“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，属于“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间
未构成冲突就可以相互结合。
[0030]参见图1，图1示出了本技术的一示例性实施例提供的便携式氯硅烷泄露检测装置，包括相互连接的氨气存储部1和控制检测部2，所述氨气存储部1远离控制检测部2的一端设置有活塞推杆3，所述控制检测部2靠近氨气存储部1的一端设置有磁力密封楔4，控制检测部2远离氨气存储部1的一端设置有供含水绵纸检测试片5的安装的卡接部6，所述卡接部6和磁力密封楔4之间还设置有磁力密封球7；如图2所示，所述含水绵纸检测试片5内设置有吸引磁力密封球7的吸引片8。
[0031]具体地，在该示例性实施例中，应用于多晶硅生产的运行系统：在泄漏检测开始前，便携式氯硅烷泄露检测装置的结构如图1所示，磁力密封楔4通过磁性将磁力密封球7进行吸附，与活塞推杆3，共同将氨气储存在氨气存储部1中。当进行泄漏检测时，便携式氯硅烷泄露检测装置的结构如图2所示，此时含水绵纸检测试片5通过卡接部6安装于控制检测部2上，由于含水绵纸检测试片5内的吸引片8对磁力密封球7的吸引力大于磁力密封楔4对磁力密封球7的吸引力，吸引片8会将磁力密封球7吸住，即氨气可以通过氨气存储部1靠近控制检测部2的一侧散播，此时通过活塞推杆3将部分氨气推动并经过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.便携式氯硅烷泄露检测装置，其特征在于：包括相互连接的氨气存储部和控制检测部，所述氨气存储部远离控制检测部的一端设置有活塞推杆，所述控制检测部靠近氨气存储部的一端设置有磁力密封楔，控制检测部远离氨气存储部的一端设置有供含水绵纸检测试片的安装的卡接部，所述卡接部和磁力密封楔之间还设置有磁力密封球；所述含水绵纸检测试片内设置有吸引磁力密封球的吸引片。2.根据权利要求1所述的便携式氯硅烷泄露检测装置，其特征在于：所述氨气存储部为透明氨气存储部。3.根据权利要求2所述的便携式氯硅烷泄露检测装置，其特征在于：所述氨气存储部外表面设置有计量刻度。4.根据权利要求1或2或3所述的便携式氯硅烷泄露检测装置，其特征在于：所述氨气存储部为褶皱管，所述活塞推杆包括推动部和与褶皱管褶皱匹配的卡扣部，所述卡扣部与推动部固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王丽萍，纪晓艳，宋连星，何先伟，王振荣，毛延林，张海鹏，阿得仁，
申请(专利权)人：青海亚洲硅业半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：