本实用新型专利技术涉及晶圆片生产技术领域，且公开了一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒，所述控制盒内设置有伺服电器和控制器，所述伺服电器的输出端贯穿控制盒的顶部并延伸至控制盒的外侧，所述伺服电器的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的顶部设置有夹持组件，所述夹持组件包括圆形安装盒，所述圆形安装盒内的底部中心处固定连接有固定杆。本实用新型专利技术通过夹持组件可同时调整三个夹持隔离杆之间的间距，来使其夹持不同直径的晶圆片，操作简单方便，泛用性强，夹持隔离杆上的第一限位薄片和第二限位薄片可间隔放置晶圆片，无需手动调整晶圆片之间的距离，使该设备可同时甩干多片晶圆片，提高甩干效率，减少工人劳动强度。度。度。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆片加工的甩干机
[0001]本技术涉及晶圆片生产
，具体为一种用于晶圆片加工的甩干机。
技术介绍
[0002]晶圆片是由晶棒根据设计尺寸切割，再经过车削，研磨，腐蚀等工艺加工成的。晶圆片表面经过腐蚀后表面成分复杂，有大量的金属离子和有机物，并且牢固的吸附在晶圆片上，如果不清除并被真空镀膜银层电极覆盖后，会导致晶圆片的相关产品质量不合格，废品率高。
[0003]所以要对镀膜前的晶圆片进行清洗，清洗后的晶圆片表面带有水迹，如果不进行充分的甩干或干燥，同样会对晶圆片的频率造成很大的影响，生产出来的晶体就会不合格，所以对晶圆片清洗后的干燥操作是非常重要的环节。
[0004]目前国内大多公司一般使用微波炉或者专门的烘箱对晶圆片进行干燥，其本身会对晶圆片造成污染，且用微波炉时晶圆片会跳动，可能会造成晶圆片的损伤。干燥的时间太长而且不容易掌控，微波炉使用的时间长后容易发生故障。
[0005]有些国内公司则使用甩干机，现有的甩干机存在一下问题：其一，加工的晶规格不同，现有的甩干机需要配备不同的规格的固定容器来固定晶圆片，配置成本较高，且在使用时需要频繁地更换，增加操作人员的劳动强度，容易出现更换失误，导致废品率高，生产效率低；其二，不同的规格的固定容器为了便于操作人员放入晶圆片，固定容器和晶圆片之间存在一定间隙，当甩干机做高速的离心运行时，由于惯性的特点，在启动与停止瞬间，晶圆片与固定容器内壁发生严重的碰撞，从而造成晶圆片边缘的损伤或内部出现微裂纹，更严重造成产品碎裂，从而造成直接或间接的损失或事故；其三，现有的甩干机只能固定一片晶圆片并对其进行甩干，甩干效率低，增加操作人员劳动强度，因此专利技术人设计了一种用于晶圆片加工的甩干机，解决上述问题。
技术实现思路
[0006](一)解决的技术问题
[0007]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于晶圆片加工的甩干机，解决了现有的甩干机只能固定一片晶圆片且需要配备不同的规格的固定容器来固定晶圆片，配置成本较高，需要频繁更换，固定容器和晶圆片之间存在一定间隙，在启动与停止瞬间两者会发生严重碰撞的问题。
[0008](二)技术方案
[0009]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒，所述控制盒内设置有伺服电器和控制器，所述伺服电器的输出端贯穿控制盒的顶部并延伸至控制盒的外侧，所述伺服电器的输出端固定连接有转动盘，所述转动盘的顶部设置有夹持组件，所述夹持组件包括圆形安装盒，所述圆形安装盒内的底部中心处固定连接有固定杆，所述固定杆的另一端固定连接有轴承圈，所述轴承圈的外圈固定连接有
蜗轮，所述圆形安装盒内左右对称设置有轴承座，两个所述轴承座的轴承内圈固定连接有蜗杆，所述蜗杆的一端贯穿轴承座和圆形安装盒的侧壁并固定连接有调节块，所述蜗杆和蜗轮齿轮啮合，所述蜗轮的顶部固定连接有旋转盘，所述旋转盘的顶部周向阵列有三个长条滑槽，三个所述长条滑槽均关于中心圆的切线方向设置，三个所述长条滑槽内均活动连接有第一滑动块，三个第一滑动块的顶部均固定连接有转轴杆，三个所述第一滑动块的顶部均通过转轴杆活动连接有第二滑动块，所述圆形安装盒的顶部阵列开设有三个供相对应的第二滑动块穿过的T型滑槽，三个所述第二滑动块贯穿相对应的T型滑槽并延伸至圆形安装盒的顶部外侧，三个所述第二滑动块的顶部均固定连接有夹持隔离杆；
[0010]所述夹持隔离杆包括安装框，所述安装框内的一侧竖向设置有多个转动杆，所述转动杆的下方均设置有第一限位杆和第二限位杆，所述第一限位杆和第二限位杆均与安装框的内侧壁固定连接，所述第二限位杆位于第一限位杆的上方，所述第一限位杆均位于远离圆形安装盒中心处的安装框内侧，所述第二限位杆均位于靠近圆形安装盒中心处的安装框内侧，所述转动杆、第一限位杆和第二限位杆均平行于圆形安装盒的顶部，位于安装框最下方的所述转动杆均活动连接有第一限位薄片，位于第一限位薄片上方的所述转动杆均活动连接有第二限位薄片，所述第一限位薄片靠近圆形安装盒中心处的一端均位于安装框的外侧，所述第一限位薄片远离圆形安装盒中心处的一端均位于安装框的外侧并其底部固定连接有重力块，所述第二限位薄片靠近圆形安装盒中心处的一端均位于安装框的内侧，所述第二限位薄片远离圆形安装盒中心处的一端均位于安装框的外侧并其底部通过第一活动销活动连接有连杆，所述第一限位薄片和第二限位薄片远离圆形安装盒中心处一端的上表面均固定连接有限位滑轨，所述限位滑轨均通过第二活动销与相对应的连杆活动连接，所述限位滑轨与第二活动销活动连接，所述第一限位薄片和第二限位薄片远离圆形安装盒中心处一端的下表面与第二限位杆相抵触，所述第一限位薄片和第二限位薄片位于限位滑轨处的上表面与处于垂直状态的连杆下端存在活动距离，所述安装框靠近圆形安装盒中心处的框边竖向开设有凹口，所述凹口与平行于圆形安装盒顶部的第一限位薄片和第二限位薄片的位置相对应。
[0011]优选的，所述旋转盘的顶部和环形侧面均与圆形安装盒的内侧壁存在安全间隙，通过采用上述技术方案，避免旋转盘旋转触碰圆形安装盒的内侧壁，避免其两者之间摩擦受损，延长结构使用寿命，便于操作人员旋转旋转盘，减少操作人员劳动强度，提高调节效率。
[0012]优选的，三个所述第一滑动块和相对应的长条滑槽为间隙配合，三个所述第二滑动块和相对应的T型滑槽为间隙配合，通过采用上述技术方案，便于第一滑动块和第二滑动块在相对应的长条滑槽和T型滑槽内滑动配合，同时便于操作人员安装或更换第一滑动块和第二滑动块。
[0013]优选的，所述圆形安装盒的环形侧面对称开设有嵌入槽，所述轴承座嵌入相对应的嵌入槽内侧并通过第一螺钉与圆形安装盒螺纹连接，通过采用上述技术方案，便于操作人员安装或更换轴承座，减少轴承座占用圆形安装盒内的使用空间，使结构配合协调有序。
[0014]优选的，所述圆形安装盒的环形外侧壁固定连接有三个凸耳，所述圆形安装盒通过第二螺钉贯穿相对应的凸耳与转动盘螺纹连接，通过采用上述技术方案，使圆形安装盒能稳定固定于转动盘的上表面，同时便于操作人员安装或拆卸圆形安装盒。
[0015]优选的，所述凹口的下内侧壁与处于平行状态的第一限位薄片和第二限位薄片的上表面相齐平，所述凹口从靠近圆形安装盒中心处的宽度逐渐向内减小，通过采用上述技术方案，当操作人员通过夹持组件调整三个夹持隔离杆之间间距，使三个相对应的凹口夹持位于第一限位薄片或第二限位薄片上的晶圆片时，避免晶圆片的侧壁与凹口相互抵触或碰撞，避免磨损，减少报废率，提高加工质量，凹口的开口宽度由大向内减小，使其能夹持不同厚度的晶圆片，泛用性强。
[0016]优选的，所述控制盒的顶部设置有防污盖，所述控制盒的顶部周围开设有相连通的插嵌槽，所述防污盖插入插嵌槽内与控制盒插接连接，通过采用上述技术方案，防污盖能防止晶圆片表面的清洗液或水甩出并非飞溅至周围环境或操作人员的身上，避免污染环境和对操作人员造成身体伤害，也防止周围环境的杂物掉落至晶圆片表面表面并造成污染，提高加工质量。<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆片加工的甩干机，包括控制盒(1)，其特征在于：所述控制盒(1)内设置有伺服电器(2)和控制器(3)，所述伺服电器(2)的输出端贯穿控制盒(1)的顶部并延伸至控制盒(1)的外侧，所述伺服电器(2)的输出端固定连接有转动盘(4)，所述转动盘(4)的顶部设置有夹持组件(5)，所述夹持组件(5)包括圆形安装盒(6)，所述圆形安装盒(6)内的底部中心处固定连接有固定杆(7)，所述固定杆(7)的另一端固定连接有轴承圈(8)，所述轴承圈(8)的外圈固定连接有蜗轮(9)，所述圆形安装盒(6)内左右对称设置有轴承座(10)，两个所述轴承座(10)的轴承内圈固定连接有蜗杆(11)，所述蜗杆(11)的一端贯穿轴承座(10)和圆形安装盒(6)的侧壁并固定连接有调节块(12)，所述蜗杆(11)和蜗轮(9)齿轮啮合，所述蜗轮(9)的顶部固定连接有旋转盘(13)，所述旋转盘(13)的顶部周向阵列有三个长条滑槽(14)，三个所述长条滑槽(14)均关于中心圆的切线方向设置，三个所述长条滑槽(14)内均活动连接有第一滑动块(15)，三个第一滑动块(15)的顶部均固定连接有转轴杆，三个所述第一滑动块(15)的顶部均通过转轴杆活动连接有第二滑动块(16)，所述圆形安装盒(6)的顶部阵列开设有三个供相对应的第二滑动块(16)穿过的T型滑槽(17)，三个所述第二滑动块(16)贯穿相对应的T型滑槽(17)并延伸至圆形安装盒(6)的顶部外侧，三个所述第二滑动块(16)的顶部均固定连接有夹持隔离杆(18)；所述夹持隔离杆(18)包括安装框(19)，所述安装框(19)内的一侧竖向设置有多个转动杆(20)，所述转动杆(20)的下方均设置有第一限位杆(21)和第二限位杆(32)，所述第一限位杆(21)和第二限位杆(32)均与安装框(19)的内侧壁固定连接，所述第二限位杆(32)位于第一限位杆(21)的上方，所述第一限位杆(21)均位于远离圆形安装盒(6)中心处的安装框(19)内侧，所述第二限位杆(32)均位于靠近圆形安装盒(6)中心处的安装框(19)内侧，所述转动杆(20)、第一限位杆(21)和第二限位杆(32)均平行于圆形安装盒(6)的顶部，位于安装框(19)最下方的所述转动杆(20)均活动连接有第一限位薄片(22)，位于第一限位薄片(22)上方的所述转动杆(20)均活动连接有第二限位薄片(23)，所述第一限位薄片(22)靠近圆形安装盒(6)中心处的一端均位于安装框(19)的外侧，所述第一限位薄片(22)远离圆形安装盒(6)中心处的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本晓，张海涛，刘良宏，许彬，庞博，
申请(专利权)人：无锡吴越半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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